DIAVAC LIMITED 高精度デジタル隔膜真空計 F-Tron High Accuracy Digital Capacitance Manometer システム概要 System Outline 一般的な隔膜真空計 General Type DIAVAC LIMITED F-ton New Technology Analog Architecture Pressure-Analog output Transducer Noise Analog signal (0-10V) Display unit Analog-Digital Converter Digital Architecture Pressure-PIM Transducer Display unit Pulse signal Pulse Interval Counter / MPU センサの非線形性・温度依存性を アナログで補正（不正確） デジタル回路との整合性に優れたPIM (Pulse Interval Modulation)を採用 アナログ-デジタル変換により 精度・分解能が悪化 センサの非線形性、温度依存性をデジタル 演算により完全に補正 センサケーブルなどから電磁ノイズ 混入 パルス信号伝送のためノイズ耐性飛躍的 向上 校正に手間と時間がかかる （高コスト） 全自動・短時間校正が可能 センサ概要 Sensor Outline Pressure = f (Cap) DIAVAC LIMITED Silicon Fixed Electrode SiO2 SiO2 Getter Measurement Pressure Silicon Diaphragm Reference Pressure 特 長 Features DIAVAC LIMITED 高分解能 High Resolution 表示分解能：1/1000000 高精度 High Accuracy 精度：0.1% of Reading FTR-1 F-133K 高ノイズ耐性 High Noise Resistance パルス信号伝送方式→ノイズ耐性向上 デジタル整合性 Excellent Compatibility with Digital Network 高速データ通信(RS-485)標準装備 コンパクト Compact 小型シリコンダイアフラム採用→容積1/2以下 システム構成 System configuration DIAVAC LIMITED RS-485 コネクタ シリアル通信 アナログ出力 ACCESSORY コネクタ セットポイント出力 リモートZERO入力 センサ校正情報メモリ 測定ケーブル 供給電源 DC24V 表示器 FTR-1 センサ F-133K 仕 様 形式 Specifications DIAVAC LIMITED FTR-1 (Display) + F-133K (Sensor) Model フルスケールレンジ Full Scale Range 1000Torr (133kPa) 測定分解能（表示分解能） 0.01% of F.S. (1ppm of F.S.) Measurement Resolution (Display Resolution) 精度 0.1% of Reading Accuracy 温度係数 Temp. Coefficients ゼロ Zero 0.0004% of F.S./deg. スパン Span 0.002% of Reading/deg. アナログ出力 Analog output 0 to +10 VDC into > 10k Ohm セットポイント出力 Set Points 3 open collector transistors rated 50mA @ 30VDC インターフェース Interface RS-485 4wire full duplex 供給電源 Power Supply 24VDC @ 0.2A 運転温度 Operating Temperature Range 10 to 50 deg. 真空部材質 継手 Fittings Materials exposed to Vacuum Silicon, SiO2, SUS304, Viton 8VCR, NW16 DIAVAC LIMITED 5.0% Spec. 4.0% 1st 3.0% 2nd 2.0% 3rd 1.0% 0.0% -1.0% 0.1 1 10 100 1000 -2.0% -3.0% -4.0% -5.0% Reference Pressure [Torr] 0.20% 0.15% 0.10% Error [%] Error [%] 繰返特性@23℃ Repeatability 0.05% 0.00% -0.05% 0 200 400 600 800 1000 -0.10% Spec. -0.15% 1st -0.20% 2nd Reference Pressure [Torr] 3rd 温度特性 Thermal error 5.0% 4.0% 3.0% 1.0% 0.0% Spec. 10℃ 18℃ 23℃ 34℃ 42℃ 50℃ -1.0% 0.1 1 10 100 1000 -2.0% -3.0% -4.0% -5.0% Reference Pressure [Torr] 0.50% 0.40% 0.30% 0.20% Error [%] Error [%] 2.0% DIAVAC LIMITED 0.10% 0.00% -0.10% 0 200 400 600 800 1000 -0.20% -0.30% -0.40% -0.50% Reference Pressure [Torr] Spec. 18℃ 34℃ 50℃ 10℃ 23℃ 42℃ 校正システム Calibration System N2 inlet vent ccm1 Mass Flow Controllers ccm2 DIAVAC LIMITED Temperature/ Humidity Control chamber slm Vacuum chamber manifold rough main TMP slow cut1 Ref1 cut2 Ref2 Ref3 Reference Vacuum Gauges F-Tron F-Tron F-Tron F-Tron F-Tron back DP PCで全て制御、データ収集 校正データ生成 性能評価
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