機械加工で生じる超硬質切粉を処理
SOS と呼ばれるシリコンオンサファイア（Silicon on Sapphire）
は、今後の半導体業界に於いて一般化される技術の一つです。
その工程は、まず機械加工で大きなサファイアの単結晶からウェ
ハーを切り出し、その上に薄いシリコンの層を「成長」させま
す。その結果として得られる「チップ」は、バルクシリコン製の
ものより高速化、低消費電力化され、絶縁性が向上します。
サファイアの硬度はダイヤモンドとほぼ同じ（MOH 9.0）であるた
め、切り出し加工で発生する切粉は、厳しいろ過精度が要求され
るクーラントポンプやダイナミックシールを持つクーラントポン
プの摩耗の原因となります。
この対策として、米国のある大手ウェハーメーカーは精密ろ過を
試みましたが、従来ポンプの磨耗の問題は解決できませんでし
た。そこで、シールレス構造により磨耗性の高い液にも問題無く
対応できる Hydra-Cell 高圧クーラントポンプに変えたところ、磨
耗の問題は解消され、マイクロエレクトロニクスの微細化がさら
に進みました。
www.sanko-ltd.co.jp
研磨粉も難なく処理

（株）山寿セラミックス

受験申込書（PDF：206KB）

「旭区徘徊 SOS ネットワークシステム 」」 あさひ安全・安心かわら版が

修 士 論 文 の 和 文 要 旨 中空格子フォトニック結晶ファイバーを用いた

シンガポールにおけるジカウイルス感染症の報告 - Embassy of Japan in

西区徘徊 SOS ネット みまもん 登録届

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パパイヤ養液土耕栽培の汎用化技術の開発 1 中核機関・研究総括者

ジカウイルス感染症に関する注意喚起について

第29号 - ケイ素化学協会

（ジカ熱国内感染41例を確認）

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スライド 1 - 石川県ホームページ

守恒 SOS ネットワーク会議より案内

SAPPHIRE NOW Leaflet 1

原子力機構 敦賀事業本部

臨床実践能力評価表・レベルⅡ（一人前）

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ジカウィルス感染症に関する参考情報（青字は 2 月 3 日追加

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