分析用高純度ルツボ JX日鉱日石金属株式会社分析用高純度ルツボ製品種類外観純度容量肉厚 Ni 5N5 約30ml 2mm Zr 4N5 約30ml 1～2mm Niルツボ中の不純物量ＧＤＭＳ法 2,500 他社品当社品含有量（ppm） 2,000 1,500 当社品：全て＜0.1ppm 1,000 500 0 Mn Al Si Mg Co Ti Cu Mo Fe Cr 当社品：ルツボ中の不純物の含有量が極微量 Zrルツボ中の不純物量ＧＤＭＳ法 200 他社品当社品含有量（ppm） 150 100 50 0 Fe Cr Hf Ni Al Mn Si Ti Cu Ga Mo Pb 当社品：ルツボ中の不純物の含有量が微量Ｚｒルツボからの溶出不純物 1. ：使用した融剤：ＮａＮａ２２ＯＯ２２過酸化ナトリウム溶出量（mg）従来のZｒるつぼ（2N5）高純度のZｒるつぼ（4N5）高純度ルツボ：定量下限値を下げることが可能Ｚｒルツボからの溶出不純物 2. 300 汚染量（μｇ） 250 200 4N5るつぼ中のFe 2N5るつぼ中のFe 150 4N5るつぼ中のCr 2N5るつぼ中のCr 100 50 0 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 4.0 5.0 6.0 分低純度Zrるつぼ:短時間で不純物の溶出高純度Zrるつぼ:不純物の溶出なしＺｒルツボの耐久性比較規格による使用回数 (回 ) の一元配置分析 60 検討方法：アルカリ溶融法使用回数(回) 50 使用材料 40 ⇒Pt系+酸化物 30 使用した融剤 20 ⇒Ｎａ２Ｏ２： 5 g 10 0 市販品当社品（過酸化ナトリウム）規格市販品（n=6）当社品（n=14）当社品：耐久性良好まとめ高純度ルツボを用いた場合のメリット ①定量下限値の低減 ②分析値の信頼性向上 ③耐久性の向上分析品質の向上、コスト削減高純度ルツボ使用の引用文献環境と測定技術 vol.34 No.12(2007) 高純度るつぼの適用によるセラミックス試料中不純物成分の定量下限値の低減第57回全国鉱山・精錬所現場担当者会議講演集 • お問い合わせ先： JX日鉱日石金属株式会社電材加工事業本部薄膜材料事業部化合物半導体ユニット〒100-8164 東京都千代田区大手町2-6-3 JXﾋﾞﾙ8F TEL:03-5299-7286 FAX:03-5299-7349