エッジ計測センサ PBZ フィルムやウエハ、ガラス基板などのエッジ位置計測に。シリーズ ■FDNアルゴリズム搭載。＊1 高精度に安定したエッジ計測が可能です。安定検出の大敵、検出面の汚れへの対策を充実させました。透明体も安定した計測が可能です。 ■リニアイメージセンサ方式・光量減衰検知機能。 ■透明体検出用アルゴリズム搭載。 ■標準2ch入力コントローラ。（配線工数削減、省スペース、2計測値の演算）が可能です。 ■通信（RS-485）機能…（PBC-201VN2／PBC-203VN2） PLCやタッチパネルへのデータ伝送が可能。フィルムの突起物対策に…ノイズキャンセル機能＊2 ガラス基板アライメントに…θ演算機能＊3 ガラス基板の欠け検出に…位置変化検出機能＊3 ■多彩な機能を搭載。＊1：繰返し精度PBZ-CL007V ±1μｍ、PBZ-CL030□ ±5μｍ以下＊2：PBC-201VN□のみ＊3：PBC-203VN2のみ特長検出面の汚れによる精度悪化軽減繰返し精度±1μm ※ 真のエッジ位置を高精度に計測受光部にリニアイメージセンサ方式を採用し、検出面の汚れの影響を軽減します。また、メンテナンス時期を知らせる光量減衰検知機能も搭載しています。従来（PD）方式独自のFDNアルゴリズムにより、任意のWDで真のエッジ位置を高精度に計測できます。 ※PBZ-CL007Vは±1μm、PBZ-CL030H/Vは±5μmとなります。計測条件はB-007の仕様をご覧ください。遮光による受光量の減少がPDのリニア出力の変化となる従来（PD）方式では、レンズ面の汚れ（又は検出体の透明度）によって受光量が減衰すると、出力値が変化してしまいます。れ防止のためのエアパージなども必要です。 ※WD（ワークディスタンス）：計測対象であるフィルムと受光器間距離弊社リニアイメージセンサ方式リニアイメージセンサ各画素の明暗情報を元に、エッジ位置を計測。全体的に受光量が減衰しても、各画素の入光状態も一律に変化し、計測に直接的に影響しません。汚れにより受光量が減衰したレベル計測原理測定内容フレネル回折 FDNアルゴリズムとはエッジ位置計測投光部遮光幅計測隙間計測（透明体・不透明体）フィルム等検出体受光部：リニアイメージセンサコントローラ形番 WD 受光強度フレネル回折 25% 光はナイフやフィルムなど薄い物体のエッジで回折します。また、受光部における回折光の強度分布は、ワークと受光部間の距離WDに依存します。全受光強度の25％位置が真のエッジ位置となります。 7mmセンサヘッド用 PBC-201VN0 ○ − − 7mmセンサヘッド用 PBC-201VN2 ○ ○ ○ 30mmセンサヘッド用 PBC-203VN2 ○ − − 計測・検出可否は計測対象の状態や設置環境等にも依存します。事前に実機にて動作確認、評価を十分に行なってお使いください。 1 アプリケーション事例ウェハの偏芯とノッチ位置計測位置［mm］透明度の高いガラスウエハやガリウムヒ素ウエハも高精度に安定して計測可能です。リニアイメージセンサの採用により、ビューポート越しの計測も可能です。 7000 6500 6000 5500 5000 4500 4000 3500 3000 2500 2000 1500 1000 500 0 偏芯による変動 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 時間［ms］ノッチ検出時の変動フィルム、シート材の厚み計測フィルムの蛇行計測コントローラには2つのセンサが接続でき、複数箇所の計算やロール、シート材の同時計測による高精度計測が可能です。センサヘッド2対で、センサヘッド間の演算機能を使用する事により、蛇行計測とフィルム幅計測を同時に実現できます。センサヘッド2対で、ロールの偏芯や振動による計測誤差を相殺することができます。フィルム、シート材のバリ、欠け検出計測箇所センサ1 センサ2 センサ1：ロール表面を計測・・・・X センサ2：シート材表面を計測・・・Y ロールシート材センサ1 例えば振動が起こった際、X、Yが同様の挙動を示すため、相殺演算することで、影響を軽減できることになります。センサ2 X 蛇行するフィルム、シート材のバリ、欠けの検出が同一センサで可能です。設定は500us単位設定が可能です。例えば、PBC-201VN2では 50m/minで送られているシート材で、約0.4mm周期での計測が可能になります。検出できる大きさは、数10μm以上が目安になります。 Y 計測値を厚みとして算出する「四則演算機能」を活用し、センサ1、2の計測値からシート材の厚み：t を算出することができます。欠け設定値以上バリシート材の厚み t=X-Y イベント出力ガラス基板の欠け・ひび検出ガラス基板のXYΘ計測位置変化検出機能により、搬送時にガラスエッジの欠けが検出できます。センサヘッド3対で、それぞれのエッジ計測値を演算することにより、ガラス基板のX、Y計測に加え、Θ計測も内部演算により可能です。欠け、角欠けいずれの検出も可能です。 1,2でセンサを実施 Θ演算角欠け欠け 2 センサ 1 センサひび計測などに応用できる機能を追加した機種もラインナップしました。 3 センサ ※ひび計測ご要望の際は弊社販売員、または販売店にお問い合わせください。計測・検出可否は計測対象の状態や設置環境等にも依存します。事前に実機にて動作確認、評価を十分に行なってお使いください。 2 形番一覧表センサヘッドコントローラ検出方式・形状計測距離計測範囲組合せセンサヘッド仕様形番 PBZ-CL007V PBZ-CL007V DC24V電源、センサヘッド2ch接続 AO：2点、DO：4点、DI：2点 PBC-201VN0 PBZ-CL030H PBZ-CL007V PBZ-CL030V PBZ-CL030H PBZ-CL030V 繰返し精度 10∼300mm 7mm ±1um 10∼500mm 30mm ±5um 形状形番 DC24V電源、センサヘッド2ch接続 AO：2点、DO：4点、DI：2点 RS-485通信機能付き PBC-201VN2 PBC-203VN2 仕様センサヘッドコントローラ形番 PBZ-CL007V PBZ-CL030H 形番 PBZ-CL030V 形状接続方式材質質量 PBC-203VN2 形状 PBC-201VN0 PBC-201VN2 接続コントローラ検出方式測定距離 WD ※1 測定範囲光源標準検出物体繰返し精度移動精度温度特性表示灯使用温度範囲保存温度範囲使用周囲湿度耐振動保護構造 PBC-201VN0 PBC-201VN2 接続センサ PBC-203VN2 透過形 10∼300mm 10∼500mm 10∼290mm 10∼490mm 7mm 30mm 赤色半導体レーザ（発光ピーク670nm） JIS Class1 不透明体ナイフ・エッジ ±1um以下※2 ±5um以下 ※4 ±20um以下 ※3 ±50um以下 ※5 0.1%F.S./℃ − 動作表示灯緑色LED 0∼50℃ -20∼70℃（氷結なきこと） 30∼85%RH（結露なきこと） 9.8m/s2（10∼55Hz） ,X,Y,Z各方向2時間 IP40 （IEC規格）表示最小表示単位表示範囲出力更新周期アナログ出力コネクタコード 2.4m （5mまで延長可能）ケース：PPS 計測窓：ガラスコネクタコード 20cm（20mまで延長可能）ケース：アルミ計測窓：ガラス投受光器：それぞれ100g以下（コネクタコード含む）投光器：300g以下（コネクタコード含む）受光器：270g以下（コネクタコード含む） ※1 ＷＤ（ワークディスタンス）：計測対象と受光器間距離各精度仕様は周囲温度23±2℃で、下記条件となります。 ※2 投受器間距離＝20mm、WD＝10ｍｍ、検出体位置=測定幅中心位置の3.5ｍｍで32回 ※3 投受光間距離＝20ｍｍ、WD＝10ｍｍ、検出体位置=測定幅中心位置から0.5ｍｍ移動時 ※4 投受器間距離＝100mm、WD＝50ｍｍ、検出体位置=測定幅中心位置の15ｍｍで32回 ※5 投受光間距離＝100ｍｍ、WD＝50ｍｍ、検出体位置=測定幅中心位置から0.5ｍｍ移動時 PBZ-CL030H PBZ-CL030V PBZ-CL007V 1um 1um 0∼7mm 0∼30mm ±3.5mm ±15mm いずれかの選択いずれかの選択 500us 10ms 2点、電圧出力 DC1∼5V、またはDC±5V デジタル出力 4点、トランジスタ出力、DC21.6∼26.4V 50mA以下判定出力、ホールド出力、汚れ出力オフディレイ、オフディレイ設定：0∼70ms（10ms単位）（PBC-201VN2、PBC-203VN2）デジタル入力 2点、無電圧、またはオープンコレクタ入力 PBC-201VN0：スタート入力 PBC-201VN2：スタート入力、ボトムホールド、レーザON/OFF、センター調整いずれかの選択 PBC-203VN2：レーザON/OFF（端子番号④）センター調整（端子番号⑤）通信機能電源電圧消費電力使用温度範囲保存温度範囲使用周囲湿度耐振動保護回路材質質量 RS-485、伝送速度：9600/19200/38400/115.2k bps DC21.6∼26.4V 6W以下 12W以下 0∼45℃（密着取付の場合、0∼35℃） -20∼70℃（氷結なきこと） 30∼85%RH（結露なきこと） 2m/s2（10∼55Hz）,X,Y,Z各方向2時間電源逆接続保護ケース：ポリカーボネイト（PC）約350g センサヘッド単位：ｍｍ ■ PBZ-CL007V（センサヘッド） ■ PBZ-CBL02R（PBZ-CL007V用延長コード、耐屈曲タイプ） 4 （9）受光範囲 10.3 （9）投光範囲シリアルNo 表示 3-φ3.2穴コードコネクタ 8 8 8.8 100 2400 + 0 8 10 13.2 20 5.8 センサヘッド側熱収縮チューブ 2000 13.2 コネクタ 100 2400 +100 0 コード 3-φ3.2穴 8 コントローラ側 ×××× 3.4 28.3 50 8.8 3.4 シリアルNo 表示（3）受光範囲受光面 10.3 （3）投光範囲投光面 ×××× 受光器 φ7.0 4 50 投光器 28.3 動作表示灯（緑色LED） 18 20 5.8 3 熱収縮チューブ 50 ■ PBZ-CL030V（センサヘッド）投光器受光器プリワイヤコネクタコード：約200mm 150 110 30 24 光軸中心 35 15 70 50 3-φ5.5穴 34 有効受光幅 10 35 10 34 有効ビーム幅 70 50 8 有効ビーム幅 15 3-φ5.5穴 0.6 有効受光幅 24 光軸中心 110 プリワイヤコネクタコード：約200mm 150 30 ■ PBZ-CL030H（センサヘッド）受光器 8 有効ビーム幅投光器 110 30 0.6 有効受光幅 24 3-φ5.5穴 150 30 ■ PBZ-CBL□□S-E（PBZ-CL030□用延長コード／投光器用） ■ PBZ-CBL□□S-R（PBZ-CL030□用延長コード／受光器用）コントローラ側センサヘッド側 20 熱収縮チューブ φ6 熱収縮チューブ 50 センサヘッド側 20 20 50 20 8 L 50 20 φ7.4 コントローラ側 8 12.8 12.8 110 プリワイヤコネクタコード：約200mm 光軸中心 34 有効受光幅 35 70 50 10 70 50 35 10 3-φ5.5穴 34 有効ビーム幅 24 150 プリワイヤコネクタコード：約200mm 熱収縮チューブ熱収縮チューブ 50 L 20 ※□□はコード長を表わします。（3m=03、5m=05、7m=07、10m=10、20m=20があります。）例：コード長3mの場合 PBZ-CBL03S-□ コントローラ単位：ｍｍ ■ PBC-2□□VN□ 48 100 端子ねじM3.5 プリワイヤコネクタコード：220mm 端子配列 PV 1 10 2 11 3 12 SP OUT AT DISP OK/READY SP/EV ENT LOADER 5 14 91.5×44.5 OT 96 4 13 EV1 EV2 PARA プリワイヤコネクタコード：270mm 6 15 7 16 8 17 9 18 19 端子番号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 信号電源 DC24V 電源 0V FG デジタル入力デジタル入力デジタル出力1 デジタル出力2 デジタル出力3 デジタル出力4 端子番号 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 信号 CH1コネクタコード CH2コネクタコード RS-485 SDA RS-485 SDB RS-485 RDA RS-485 RDB RS-485 SG CH1アナログ出力 CH2アナログ出力アナログ GND ※PBC-201VN0ではCH1、CH2のスタート入力、PBC-201VN2では更にボトムホールド、レーザON/OFF、センター調整が選択できます。PBC-203VN2 ではCh1、2共通で端子番号4がレーザON/OFF、5がセンター調整に固定されています。 4 印刷：2013年 3月( Vol.1)-SK CP-GC-1003