第5回大賞（日立国際電気）

第５回富山県ものづくり大賞『大賞』
ナノ技術対応
最先端サーマルプロセス装置の開発
【受賞者】
㈱日立国際電気富山事業所
執行役専務電子機械事業部長兼富山事業所長
金井史幸
（富山市八尾町保内2丁目1番地）
資本金： 10,058 百万円
従業員数： 2,483人（2016年9月現在）
営業品目：半導体製造装置
連絡先：富山総務部長村川盛雄
076-455-9120
＜受賞技術・製品の内容＞
半導体の処理速度を早くするなどの高性能化のために、ナノメー
トルレベルの微細な回路を製造する装置を開発した。これにより、
従来の技術では微細化は限界を迎えたとされていたが、更に高性能
な半導体の製造を実現した。
＜受賞理由＞
半導体分野でのこれまでの技術開発動向としては、半導体上に配
置された回路の幅を細くする方向で集積度を上げてきたが、これ以
上細くすると電流を制御（絶縁や誘電）することができなくなると
いう技術的な限界を迎えていた。そこで、最近の動向では、回路を
縦方向の深い溝状に加工して断面を確保する方向で技術開発が進め
られている。
日立国際電気では、こうした動向に対応し、電流を制御（絶縁や
誘電）するために必要な極薄膜を、半導体の細く深い溝の奥まで均
一な厚さで形成（サーマルプロセス）すること、更に、こうした半
導体を一度に多く製造できる最先端技術を駆使した装置を開発した。
同種の装置では世界トップシェアを誇り、さらなるシェア拡大が
期待できる。

Download Report