低真空 ポンプ ドライ真空ポンプ【CR シリーズ Ver.B】 CR シリーズ Ver.B は、国際規格(CE,cTUVus)を取得した、空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。 排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。 350 300 CR300B 排気速度 [m3/hr] 250 200 CR300B 150 CR60B CR16B 100 50 0 0 1.E+00気1.E+01 1.E+04 排 速 1.E+02 度 1.E+03 曲 線 圧力 [Pa] 60 DCキャンドモータの搭載により省エネ、気密性、軽量化を実現 40 ガスバラスト機構により水蒸気排気が可能 30 適合規格:CE,cTUVus CR30B 20 CR16B 用 0 1.E+00 1.E+01 1.E+02 1.E+03 圧力 [Pa] 1.E+04 1.E+05 スパッタリング、蒸着などの真空装置 300 CR300B 250 200 150 100 50 0 60 エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気 真空乾燥などの水蒸気排気 (ガスバラスト使用が必要) 350 0 1.E+00 1.E+01 1.E+02 1.E+03 1.E+04 圧力 [Pa] 1.E+05 途 低真空ポンプ 冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与 10 排気速度 [m3/hr] 長 排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能 CR60B 50 排気速度 [m3/hr] 特 1.E+05 ドライ真空ポンプ【CR シリーズ Ver.B】 仕 様 型 式 CR16B 16 280 CR60B 55 920 CR300B 300 5000 ≦ 0.5 (単相) (単相) (3相) 100V 200V 200V (単相)(3相) 200V 200V (3相) 200V 0.72 KF25 KF25 35 1.5 KF40 3 KF50 m3/h L/min Pa 最大排気速度 到達圧力 *1 最大吸気口圧力 最大排気口圧力 電源 *2 モータ定格 吸気口 排気口 質量 適合規格 冷却方式 ガスバラスト機構 *3 最大水蒸気処理量 *4 標準付属品 kW kg g /h 外 形 寸 法 図 CR30B 30 500 ≦3 大気圧 大気圧 48 CE, cTUVus 空冷 有り KF40 単位:mm CR300B 100 <300 <500 電源用コネクタ、信号用コネクタ、取扱説明書、エアーフィルター、ガード *1 到達圧力は、 ガスバラストガス無しの時の値です。 *2 使用電源、 電圧を上記よりお選びいただき、 ご注文時にお知らせください。 *3 ガスバラスト用バルブは、 オプションになります。 *4 ガスバラスト使用時の最大水蒸気処理量です。水蒸気排気時は必ずガスバラストを使用ください。 本体オプション ガスバラスト機能 ゴム脚 仕様 CR16B 手動(ニードルバルブ) ◯ 電磁弁+手動(ニードルバルブ) ◯ ー ◯ CR30B ◯ ◯ ◯ CR60B CR300B ◯ ◯ ◯ ◯ ◯ ー CR30B ◯ ー ー ◯ ー ◯ ◯ CR60B CR300B ー ー ◯ ー ー ◯ ー ー ◯ ◯ ◯ ー ◯ ◯ アクセサリ サイレンサー 簡易型サイレンサー *1 防音カバー 電源互換BOX 仕様 RS-01+キットD RS-01+キットA RS-01+キットC EFS-11-NW25/2/2516 EFS-19-NW40/1 *2 ー Ver.A→Ver.Bの電源互換 CR16B ◯ ー ー ◯ ー ◯ ◯ *1 エレメントタイプのため交換メンテナンスが必要です。 *2 ダクトへの接続は出来ません。 (開放型) CR16B, 30B CR60B 株式会社アルバック 規格品事業部 国内販売: アルバック販売株式会社 ■東日本営業統括部 TEL 03-5218-6011 (代) ■西日本営業統括部 TEL 06-6397-2281 (代) w w w. u l va c. c o. j p お問い合わせ 海外販売: 株式会社アルバック ■規格品事業部 TEL +81-467-89-2261 当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。 1048N-2/2016122000SP
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