ドライ真空ポンプ【CR シリーズ Ver.B】

低真空
ポンプ
ドライ真空ポンプ【CR シリーズ Ver.B】
CR シリーズ Ver.B は、国際規格(CE,cTUVus)を取得した、空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。
排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。
350
300
CR300B
排気速度 [m3/hr]
250
200
CR300B
150
CR60B
CR16B
100
50
0
0
1.E+00気1.E+01
1.E+04
排
速 1.E+02
度 1.E+03
曲 線
圧力 [Pa]
60
DCキャンドモータの搭載により省エネ、気密性、軽量化を実現
40
ガスバラスト機構により水蒸気排気が可能
30
適合規格:CE,cTUVus
CR30B
20
CR16B
用
0
1.E+00
1.E+01
1.E+02
1.E+03
圧力 [Pa]
1.E+04
1.E+05
スパッタリング、蒸着などの真空装置
300
CR300B
250
200
150
100
50
0
60
エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気
真空乾燥などの水蒸気排気
(ガスバラスト使用が必要)
350
0
1.E+00
1.E+01
1.E+02 1.E+03 1.E+04
圧力 [Pa]
1.E+05
途
低真空ポンプ
冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与
10
排気速度 [m3/hr]
長
排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能
CR60B
50
排気速度 [m3/hr]
特
1.E+05
ドライ真空ポンプ【CR シリーズ Ver.B】
仕 様
型 式
CR16B
16
280
CR60B
55
920
CR300B
300
5000
≦ 0.5
(単相) (単相) (3相)
100V 200V 200V
(単相)(3相)
200V 200V
(3相)
200V
0.72
KF25
KF25
35
1.5
KF40
3
KF50
m3/h
L/min
Pa
最大排気速度
到達圧力 *1
最大吸気口圧力
最大排気口圧力
電源 *2
モータ定格
吸気口
排気口
質量
適合規格
冷却方式
ガスバラスト機構 *3
最大水蒸気処理量 *4
標準付属品
kW
kg
g /h
外 形 寸 法 図
CR30B
30
500
≦3
大気圧
大気圧
48
CE, cTUVus
空冷
有り
KF40
単位:mm
CR300B
100
<300
<500
電源用コネクタ、信号用コネクタ、取扱説明書、エアーフィルター、ガード
*1 到達圧力は、
ガスバラストガス無しの時の値です。
*2 使用電源、
電圧を上記よりお選びいただき、
ご注文時にお知らせください。
*3 ガスバラスト用バルブは、
オプションになります。
*4 ガスバラスト使用時の最大水蒸気処理量です。水蒸気排気時は必ずガスバラストを使用ください。
本体オプション
ガスバラスト機能
ゴム脚
仕様
CR16B
手動(ニードルバルブ)
◯
電磁弁+手動(ニードルバルブ)
◯
ー
◯
CR30B
◯
◯
◯
CR60B CR300B
◯
◯
◯
◯
◯
ー
CR30B
◯
ー
ー
◯
ー
◯
◯
CR60B CR300B
ー
ー
◯
ー
ー
◯
ー
ー
◯
◯
◯
ー
◯
◯
アクセサリ
サイレンサー
簡易型サイレンサー *1
防音カバー
電源互換BOX
仕様
RS-01+キットD
RS-01+キットA
RS-01+キットC
EFS-11-NW25/2/2516
EFS-19-NW40/1 *2
ー
Ver.A→Ver.Bの電源互換
CR16B
◯
ー
ー
◯
ー
◯
◯
*1 エレメントタイプのため交換メンテナンスが必要です。
*2 ダクトへの接続は出来ません。
(開放型)
CR16B, 30B
CR60B
株式会社アルバック 規格品事業部
国内販売: アルバック販売株式会社
■東日本営業統括部
TEL 03-5218-6011
(代)
■西日本営業統括部
TEL 06-6397-2281
(代)
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海外販売: 株式会社アルバック
■規格品事業部
TEL +81-467-89-2261
当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。 1048N-2/2016122000SP