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プラズマドライクリーナー
ダイジェスト
イントロ
ダクション
科学・
産業機器
Gas Plasma Dry Cleaners
PDC200/210/510
高周波出力
恒温・乾燥器/
恒温恒湿器
300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）
ステージ寸法
250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）
高温炉・
パージガス
産業機器
小型タイプでR＆Dに最適
プラズマ装置
プラズマを使用した表面処理装置。
“使いやすく簡単”を
ポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ
取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応し
ます。
恒温培養器
凍結乾燥・
冷却トラップ
滅菌器
純水製造
装置
■用途
恒温液槽
●CSP、BGA、COB基板のプラズマ処理
●有機膜、金属酸化膜の除去
●プリント基板のドライクリーニング
●界面活性処理
●LED組み立て
D Pモード（ P D C 2 0 0 / 2 1 0オプション）
（PDC510標準装備）
加熱器
濃縮器
電子
酸素分子
■特徴
二酸化炭素
酸素原子
（イオン）
●DPモード（PDC510標準装備・PDC200/210オプション）
●RIEモード
●プラズマ均一性に優れた電極構造
●操作が簡単なタッチパネル方式
●ゼロ点安定性真空計を搭載しています。
減圧・加圧
ポンプ
乳化・撹拌・
振とう器
灰化物
ウエーハ等
石英架台
RIE
DP
造粒
乾燥装置
洗浄器
マッチング
BOX
送液ポンプ
切替器
圧倒的なゼロ点安定性!!
キャパシタンスゲージM-342DG-1N
フィルター
分析・計測・
試験機器
●MD342DGは、従来の金属/セラミックス製ダイヤフラム
を用いたキャパシスタンスゲージには無い、優れた特徴
を多数有しております。
内槽
恒温水
循環装置
PDC210型
天秤
構成図
pH 計
D Pモード（ P D C 2 0 0 / 2 1 0オプション）
表面観察
装置
R I Eモード
（PDC510標準装備）
内部観察
装置
分光・発光・
蛍光装置
電子
液体／ガス
クロマトグラフ
電子
酸素分子
二酸化炭素
酸素原子
（イオン）
物性計測
装置
Arイオン
無機物
灰化物
ウエーハ等
細胞関連
装置
石英架台
Si ウエーハ等
RIE
マッチング
BOX
DP
切替器
遠心
分離機
冷凍庫・
冷蔵庫
マッチング
BOX
切替器
環境・プロセス
関連装置
合成・
前処理装置
■仕様
商品コード
328210
328211
215054
型式
PDC200
PDC210
PDC510
プラズマモード
電極構造
高周波出力
発振周波数
制御・表示
（計器）
チャンバー寸法
ステージ寸法
チャンバー材質
反応ガス
パージガス
反応ガス流量制御
真空ポンプ
ガス導入口
外形寸法・重さ
電源
RIE（DPモードオプション）
平行平板（電極間固定）
MAX 300W
13.56MHz　水晶発振
液晶タッチパネル
幅400×奥行250×高さ150mm
幅250×奥行170mm
アルミ製
2系統（アルゴン、酸素）
電子
窒素、またはドライエア
フローメータ
Arイオン
別途ご用意ください※
無機物
反応ガス2個、パージ1個
幅540×奥行600×高さ600mm・約100kg
単相　AC100V　50/60Hz　10A（15A）
価格
¥6,600,000
試験機器
電池・半導体・
LED 関連装置
RIE/DP
計測機器
MAX 500W
R I Eモード
研究施設
幅500×奥行300×高さ200mm
幅400×奥行200mm
システム
エンジニアリング
ヒューム
フード
粉体封じ込め
システム
マスフローコントローラ
ロータリー真空ポンプ（約345L/分）標準装備
ロータリー真空ポンプ（約500L/分）標準装備
幅540×奥行600×高さ600mm・約105kg
Si ウエーハ等
三相　AC200V　50/60Hz　6A（16A）
幅700×奥行700×高さ1,285mm・約180kg
三相　AC200V　8A（16A）
¥8,000,000
マッチング
切替器
（注）上記の価格には、消費税は含まれておりません。●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます。 BOX
電源プラグは付属しません。電源欄の
（　）
はブレーカ容量および電源設備容量です。※詳細につきましてはお問い合せ下さい。
¥9,900,000
給排気
システム
実験台
保管・カート・
実験台用付属器具
環境制御・
実験施設
●仕様および外観は改良のため予告なく変更することがありますのでご了承下さい。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。
www.yamato-net.co.jp
0120-405-525
PDC200/210/510
ヤマト科学
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