報道関係者各位 PRESS RELEASE 2016年 12月 12日(月) 業界初！描画材料で培った、サクラクレパス独自の色彩技術を応用 PLAZMARK® から “ウエハ型”セラミックタイプを新発売！ 株式会社 サクラクレパス（本社：大阪市中央区森ノ宮中央1-6-20 代表取締役社長：西村彦四郎 以下「サク ラクレパス」）は、プラズマインジケータTM PLAZMARK® 『ウエハ型』（セラミックタイプ）を発売いたしま すので、ご案内させていただきます。 商品概要 プラズマインジケータ™PLAZMARK®は、プラズマの処理効果を可視化する評価ツールとして、2014年の発 売以来、お客さまの用途に応じて商品ラインナップを拡充して参りました。この度、ご要望の多かったウエハプ ロセス向け商品の第1弾として、PLAZMARK®“ウエハ型”セラミックタイプを発売します。ウエハ型インジケー タは、電子デバイスのエッチングやアッシングなど、ウエハプロセスの面内分布等の評価にご使用いただけます。 なお本商品の開発は、国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の助成事業により 推進しました。 企画背景 PLAZMARK®の特長の一つが、面内分布を簡単に評価できることです。これまで面内分布評価用に「シート 型」をラインナップしておりましたが、基材がフィルムでまた形状も長方形であったため、ウエハプロセス用と しては不向きでした。この度、ユーザーがお使いのウエハサイズと同一形状のインジケータを商品化することに より、普段と同じハンドリングで簡単に、プラズマ処理効果の面内分布を評価することができます。 商品特長 ■新規色材の開発 またプラズマ処理時の変色も数値化できるため、 面内分布の評価も簡単にできます。 新発売のPLAZMARK®ウエハ型は、新たに開発した無 機色材をシリコン基板またはサファイア基板の表面に形 成しております。セラミック膜を形成させるため、従来 商品にない高い耐熱性（400℃）を実現しております。 変色色差の マッピングデータ 酸素プラズマ処理時のインジケータの変色 ■仕様 商品名 タイプ 感度 耐熱性 PLAZMARK® ウエハ型 セラミック タイプ １種類 400℃ 構成 基板材質 サイズ ４インチ シリコン単結晶 ６インチ インジケータ層（10μm）/基板 ４インチ サファイア ６インチ ※価格は製品詳細仕様により異なります。 発売日 ■2017年1月 サンプル出荷開始 ■2017年4月 量産開始 ※半導体製造装置・材料の国際展示会『セミコンジャパン2016』に出展及びセミナーを実施する予定。 （添付資料１ご参照） 添付資料１ セミコンジャパン2016について SEMICON Japan （セミコン・ジャパン）は、半導体製造装置・材料の国際展示会です。昨年の入場者数は 延べ6万名と、関連技術展示会の中では国内最大級の展示会となります。 ■会期 ■開催時間 ■会場 ■主催 ■展示会HP ：2017年12月14日(水)～16日(金) ：10:00～17:00 ：東京ビッグサイト 東展示場 ：SEMI ：http://www.semiconjapan.org/ 弊社出展内容について 弊社は下記内容にて、PLAZMARK商品の実物展示、及び色差測定のデモを実施します。また出展者セミナー （無料）にて、ウエハ型インジケータの技術説明を実施する予定です。 ■出展ブース ：東1ホール 小間No.1315 ■出展内容 ①PLAZMARK®商品ラインナップ実物展示 ・O2/Arクリーニング用 ：汎用(減圧)プロセス向け、後工程向け ・耐熱性 ：高温プロセス向け ・大気圧ﾌプラズマ用 ：洗浄、表面改質向け ・ウエハ型 《新製品》 ：ウエハプロセス向け ※紹介ページ http://expo.semi.org/japan2016/Public/eBooth.aspx?IndexInList=12&FromPage=Exhibitors.aspx&Pa rentBoothID=&ListByBooth=true&BoothID=334485 ②プラズマインジケータ評価システム（大塚電子㈱製） ■出展者セミナー（無料） ・日時 ： 12月16日(金) 15:00～15:30 ・会場 ： Tech Spot West（東1ホール内） ・タイトル ： 新製品『ウエハ型プラズマインジケータ』の御紹介 ※講演者は開発担当者を予定しております。 ＜本件に関する報道関係のお問い合わせ先＞ 株式会社サクラクレパス 住所：〒540-8508 大阪市中央区森ノ宮中央1-6-20 TEL：06-6910-8816 FAX：080-6206-6679 オフィシャルサイト：http://www.craypas.com/ マーケティング部 井上 さゆり [email protected] ＜商品に関するお問い合わせ先＞ 株式会社サクラクレパス PI事業部 TEL：072-873-5507 E-mail： [email protected]
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