64-2800シリーズ

64-2800シリーズ
圧力調整弁 - 減圧弁
D64281743XJP2
仕様
本カタログに記載されていない材質や特注品については、TESCOM製品販売
店までお問い合わせください。
操作パラメータ
ANSI/ASME B31.3を基準とする
最大入口圧力
6.89または24.1 MPa / 1000または3500 psig
出口圧力範囲
0.21、0.41、0.69、1.03 MPa / 30、60、100、150 psig
設計耐圧圧力
最大出口圧力の150%
設計上の破裂圧力
最大出口圧力の400%
インボードリークレート
内部: バブルタイト
外部: 1 x 10-9 Pa-m3/sec He (ASTM試験E499)
使用温度
PCTFE: -40°F to 140°F / -40°C to 60°C
Vespel®: -40°F to 350°F / -40°C to 176°C
TESCOM 64-2800シリーズ高純度ダイアフラム連結型
減圧レギュレーターは、10 Raマイクロインチ / 0.25マ
イクロメートルの表面処理を施したステンレス鋼組成
で、エレクトロニクス用洗浄が施されています。入口圧
力は6.89または24.1 MPa / 1000または3500 psig、出
口圧力は最大1.03 MPa / 150 psigです。
流量係数
24.1 MPa / 3500 psigモデル: Cv = 0.06
6.89 MPa / 1000 psigモデル: Cv = 0.15
元圧変動特性
Cv = 0.06: 0.69 MPaごとに5.52 kPa / 100 psigごとに0.8
Cv = 0.15: 0.69 MPaごとに0.01 / 100 psigごとに1.6
用途
流体接触部の材質
ボディ
316Lステンレス鋼電解研磨または316L VARステンレス
鋼電解研磨
• 1/4"ユースポイント
• ガスキャビネット
バルブシート
PCTFE
• 特殊ガスの調整
• 結晶成長
ダイアフラム、
ステム、
スプリング
316ステンレス、Hastelloy®
• 拡散炉
特長と利点
その他
内部表面処理
10 Raマイクロインチ / 0.25マイクロメートル
• 正のポジティブシャットオフがクリープを最小限に
抑える
接続
接液部の雌型または雄型VCR®
スタッブ管
高純度内部接続 (H.P.I.C.)
(内部スタイルはVCR®、VCR®雄型スイベルに対応)
• メタルダイアフラムが本体をシールし、優れたリー
ク完全性を実現
洗浄仕様
内部電解研磨モデルは、エレクトロニクス用脱イオン水で洗浄
され、
ES 500粒子認定付き
• 10 Raマイクロインチ / 0.25 マイクロメートルの内
部表面処理
• Hastelloy®トリムオプションを選択可能
• 取り込み型ボンネット
内部容積
5.75 cc
重量
2 lbs / 0.9 kg
Vespel®はE.I. du Pont de Nemours and Companyの登録商標です。
Hastelloy® はHaynes International, Inc.の登録商標です。
VCR®はCajon Co.の登録商標です。
www.tescom.com
64-2800シリーズ減圧弁図面
増
出口
入口
減
面間寸法
FIGURE
(NO GAUGES)
図AA(ゲージなし)
出口ゲート
1/8-27 NPTF (位置
調整可能)
入口ゲート
増
出口
入口
減
面間寸法
FIGURE
B (2 GAUGES)
図B (ゲージ2基)
出口ゲート
出口
入口
増
出口
入口
減
面間寸法
M5 X.258 (2X)が#10-32
完全ねじ部に適合
FIGURE
C (1 GAUGE)
図C (ゲージ1基)
出口ゲート
増
出口
入口
減
取付情報
出口ゲート
面間寸法
図D (出口側ゲージ2基)
FIGURE
D (2 OUT GAUGES)
すべての寸法は参照用の公称数値です。
括弧内がメートル法 [mm] に換算した数値を表します。
2
64-2800シリーズ減圧弁流量曲線図
流量曲線図の使い方に関する詳細は、TESCOMカタログまたは www.tescom.com に掲載されている
『流量曲線と計算説明書』
(debul2007xjp2)をご覧ください。
Model No. 64-2862KRT20
100
0.69
[100]
[6.9]
1.
90
0.62
[90]
[6.2]
- MPa
[psig]
OUTLET出口圧力
PRESSURE
- psig
[bar]
80
0.55
[5.5]
[80]
70
0.48
[70]
[4.8]
60
0.41
[60]
[4.1]
2.
3.
4.
1.
Inlet: 6.89
1000MPa
psig [1000
[69.0 bar]
1.入口:
psig]
2.
Inlet: 5.17
750 psig
2.入口:
MPa[51.7
[750 bar]
psig]
3.
Inlet: 3.45
500 psig
3.入口:
MPa[34.5
[500 bar]
psig]
4.
Inlet: 1.38
200 psig
4.入口:
MPa[13.8
[200 bar]
psig]
1.
50
0.34
[50]
[3.4]
4.
40
0.28
[40]
[2.8]
30
0.21
[2.1]
[30]
1.
20
0.14
[20]
[1.4]
2.
3.
4.
10
0.07
[0.69]
[10]
0
2.
3.
0.71
[20]
1.41
[40]
2.12
[60]
2.83
[80]
3.53
[100]
- SCFM
FLOW 流量
RATE
- SCFM[SLPM]
[SLPM]窒素
Nitrogen
3
64-2800シリーズ減圧弁機種選定表
本製品向けのリペアキット、
アクセサリ、特注仕様につきましては、TESCOM製品販売店までお問い合わせ下さい。
部品番号の選択例:
64-28
6
2
K
基本
ボディの材質/表面処理出口圧力範囲シート材質
シリーズ
64-28
4 – 316Lステンレス電解 0 – 0.21 MPa K – PCTFE
研磨: 10 Ra1
30 psig
6 – 316L VARステンレス 1 – 0.41 MPa
電解研磨: 10 Ra2
60 psig
2 – 0.69 MPa
100 psig
3 – 1.03 MPa
150 psig
A4
1
出入口ポートサイズおよび
タイプ
'A'
± .06"
A4 – 1/4" H.P.I.C.
RK – 1/2"雄型スイベル
RL – 1/2"雌型スイベル
RM – 1/4"雄型スイベル
RT – 1/4"雌型スイベル
RU – 入口ポート: 1/4"雄型、
出口ポート:1/4"雌型
RV – 入口ポート: 1/4"雌型、
出口ポート: 1/4"雄型
T4 – 1/4"スタッブ管
1.09"
4.75"
4.75"
3.70"
3.70"
3.70"
1. ASTM B 912に準拠
2. SEMI F19、HP
グレードに準拠
3.70"
3.00"
最大入口圧力
1 – 24.1 MPa
3500 psig
2 – 6.89 MPa
1000 psig
3 – 6.89 MPa
1000 psig
Hastelloy®ト
リム
0
ゲージポート
オプション
ゲージポート
数(図)
0 – なし
1 – 1/4" H.P.I.C.
2 – 1/4" H.P.I.C.
3 – 1/4" H.P.I.C.
4 – 1/4"雄型スイベル
5 – 1/4"雄型スイベル
6 – 1/4"雄型スイベル
7 – 1/4"雌型スイベル
8 – 1/4"雌型スイベル
9 – 1/4"雌型スイベル
S – 1/4"雄型固定
T – 1/4"雄型固定
U – 1/4"雄型固定
0 (図A)
1 (図C)
2 (図B)
2 (図D)
2 (図D)
1 (図C)
2 (図D)
2 (図D)
1 (図C)
2 (図B)
2 (図B)
1 (図C)
2 (図D)
警告！「TESCOMの安全性、設置および運用に関する諸注意」を読んで完全に理解するまで、本製品を選択、設置、使用または保守点検しないでく
ださい。
D64281743XJP2 © 2012 Emerson Process Management Regulator Technologies, Inc. All rights reserved. 2012年5月
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するいずれかの会社のマークです。その他のマークはすべて各所有者に帰属します。
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4

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