von ardenne rüstet fraunhofer ipms mit cluster-system

PRESSEMITTEILUNG
Dresden, 15. September 2016
VON ARDENNE RÜSTET FRAUNHOFER IPMS MIT CLUSTER-SYSTEM FÜR DIE
FERTIGUNG VON MEMS AUS
Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS hat der VON ARDENNE GmbH den Auftrag
über eine neue Sputter-Clusteranlage CS400S für die Abscheidung dünner Schichten erteilt. Die
Anschaffung ist Teil der Reinraumerweiterung des Dresdner Forschungsinstituts auf die 200-mm-WaferTechnologie. Das Fraunhofer IPMS und VON ARDENNE wollen mit der Installation der CS400S sowohl die
Entwicklung als auch die Pilotfertigung von hochreflektierenden Schichtsystemen für sogenannte MEMS
und MOEMS (mikro-(opto)-elektro-mechanische Systeme) vorantreiben. Bei den hergestellten MEMS
handelt es sich z.B. um Mikrospiegelarrays für die Halbleiter-Lithografie und um Scannerspiegel, die
maßgeschneiderte Lösungen für industrielle Anwendungen darstellen.
Die Anlage ist eines der größten bislang von der VON ARDENNE GmbH gebauten Cluster-Systeme, sie
besteht aus zwei Magazinladekammern, einer Vorbehandlungskammer und fünf Prozesskammern. Die
Kammern sind um einen Zentralhandler gruppiert, in dem eine Kühl- und Alignmentstation integriert ist.
Die Cluster-Bauweise ermöglicht es, mehrere aufeinander folgende Schichten in situ abzuscheiden, ohne
dass das Substrat das Vakuum verlassen muss.
VON ARDENNE konnte sich im Rahmen der Ausschreibung gegen namhafte Konkurrenz durchsetzen.
„Ausschlaggebend waren dafür zwei wesentliche Punkte“, sagt Dr. Matthias Schulze, Abteilungsleiter
Engineering des Fraunhofer IPMS. „Zum einen betreiben wir bereits VON ARDENNE-Anlagen zur
Beschichtung von 150-mm-Wafern. Die langjährige gute Zusammenarbeit und die gesammelten
Erfahrungen verbinden wir mit der Erwartung, mit der CS400S über eine erstklassige Anlage zu verfügen.
Zum anderen bietet uns das System größtmögliche Flexibilität bei der Entwicklung neuer Prozesse für
MEMS und MOEMS-Anwendungen“, so Dr. Schulze weiter. „Die neue Anlagen-Plattform verbunden
mit der strategischen Zusammenarbeit mit VON ARDENNE sind wesentliche Erfolgsfaktoren für den
weiteren, nachhaltigen Ausbau unserer F&E- und Pilotfertigungsaktivitäten “, sagt Prof. Dr. Harald Schenk,
Institutsleiter des Fraunhofer IPMS.
Die hohe Flexibilität der Prozessmodule ist einer der Vorteile der Anlage. In den Kammern können
DC-, gepulste DC- und RF-Sputterprozesse gefahren werden, um bestmögliche Schichteigenschaften
für MEMS zu erzielen. Die VON ARDENNE-Prozesskammern gewährleisten eine schnelle
Prozessstabilisierung bei den reaktiven Verfahren. Um die Stabilität des Prozesses langfristig aufrecht
zu erhalten und eine hohe Schichthomogenität zu erzielen, ist der Target-Substrat-Abstand in weiten
Grenzen variabel einstellbar. Die anlagenspezifische PID-Sputterdruckregelung ist ein weiterer Garant für
die Qualitätsschichten.
Fraunhofer IPMS und VON ARDENNE planen eine enge Kooperation, in der beide Seiten gemeinsam oder
mit Kunden weitere Anwendungen für den industriellen Einsatz entwickeln und zur Marktreife führen
können. Durch die Kompetenz der beteiligten Partner und die Flexibilität des Systems sind notwendige
Anpassungen problemlos möglich.
„Für VON ARDENNE ist die enge Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer IPMS sehr wichtig“, sagt Thomas
Krischke, CEO des Unternehmens. „Das Fraunhofer IPMS ist weltweit führend in der Entwicklung von
MEMS und hilft uns, zukünftige Geschäftsfelder in der Halbleiterindustrie zu erschließen.“
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VON ARDENNE GmbH I Plattleite 19/29, 01324 Dresden I Germany I Phone +49 351 2637 300 I Fax +49 351 2637 308 I [email protected] I www.vonardenne.biz
Managing Directors: Thomas Krischke (CEO/CFO) I Hans-Christian Hecht (CTO)
Fraunhofer IPMS I Maria-Reiche-Str. 2 I 01109 Dresden I Germany I Phone +49 351 88 23-0 I Fax +49 351 88 23-266 I [email protected] I www.ipms.fraunhofer.de
Executive Director: Prof. Hubert Karl Lakner I Director: Prof. Harald Schenk
PRESSEMITTEILUNG
Dresden, 15. September 2016
ÜBER FRAUNHOFER-INSTITUT FÜR PHOTONISCHE MIKROSYSTEME IPMS
Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS mit Sitz in Dresden ist Forschungsund Servicepartner auf dem Gebiet optischer Sensoren und Aktuatoren, ASICs, Mikrosysteme
(MEMS / MOEMS) sowie Nanoelektronik.
Als eine von gegenwärtig 67 eigenständigen Einrichtungen der Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung
der angewandten Forschung e.V., der europaweit führenden Organisation für industrienahe Forschung,
arbeitet das Fraunhofer IPMS mit rund 280 Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern gemeinsam mit Industrieund Dienstleistungsunternehmen sowie der öffentlichen Hand an Projekten zum direkten Nutzen für
Unternehmen und zum Vorteil der Gesellschaft. Das Fraunhofer IPMS ist Teil des Fraunhofer-Verbundes
Mikroelektronik VµE und engagiert sich in zahlreichen regionalen und internationalen Netzwerken der
Mikro- und Nanoelektronik und Mikrosystemtechnik.
Das Fraunhofer IPMS führt in seinem eigenen 1500 m2 Reinraum (Klasse 4 nach ISO 14644-1) Forschungsund Entwicklungsprojekte im Bereich der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik durch. Es bietet
außerdem Dienstleistungen für ausgewählte Prozessschritte bzw. Prozessmodule sowie komplette
Technologien an, die auf der Kompetenz des Instituts in der Oberflächen- und Bulk-Mikromechanik
basieren. Kombiniert mit dem HV-CMOS-Prozess stellt das Fraunhofer IPMS integrierte Aktuator-Systeme
her.
ÜBER DIE VON ARDENNE GMBH
VON ARDENNE entwickelt und fertigt Anlagen für die industrielle Vakuumbeschichtung von Materialien
wie Glas, Wafer, Metallband oder Kunststofffolie. Je nach Anwendung sind diese Schichten einen
Nanometer bis wenige Mikrometer dünn und verleihen den Oberflächen neue funktionale Eigenschaften.
Die beschichteten Materialien sind die Basis für Produkte wie Architekturglas, Solarmodule oder TouchScreens.
VON ARDENNE ist ein führender Anbieter von Architekturglas-Beschichtungsanlagen und
Beschichtungssystemen für die Dünnschicht-Photovoltaik. Das Familienunternehmen beschäftigt rund
650 Mitarbeiter und hat seinen Sitz in Dresden. Als global tätiges Unternehmen mit Niederlassungen in
China, Japan, Malaysia, Taiwan und den USA setzt VON ARDENNE auf Kundennähe, um idealen Vor-OrtService zu bieten. VON ARDENNE-Anlagen sind in mehr als 50 Ländern im Einsatz.
PRESSEKONTAKT
Fraunhofer-Institut für Photonische
Mikrosysteme IPMS
Dr. Michael Scholles
Phone: +49 (0)351 8823 201
E-Mail: [email protected]
VON ARDENNE GmbH
Ingo Bauer
Phone.: +49 (0)351 2637 9000
E-Mail: [email protected]
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VON ARDENNE Sputter-Cluster-System CS400S
Bildrechte: © VON ARDENNE Corporate Archive
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