走査型電子顕微鏡
先端機器分析センター
仕様
JSM-5610LV
型名
日本電子株式会社
加速電圧
30 kV
分解能, 倍率
3 nm, 18 ~ 300000 倍
観察像
二次電子像、反射電子像
・エネルギー分散型分析装置：測定可能元素 6B ~ 92U
エネルギー分解能 144 keV
付属装置
・低真空対応：1 ~ 270 Pa
・温度可変装置
201 室