チューニングが必要な工程を利用する場合 装置番号 施設名称 設置場所 装置分類 共用施設等 技術補助費 技術代行費 使用料 （円/時間） （円/時間） （円/時間） CRAVITY001i線ステッパー CR1 イエロールーム リソグラフィー装置 8,000 13,000 13,000 CRAVITY002コータデベロッパー CR1 イエロールーム リソグラフィー装置 7,000 12,000 12,000 CRAVITY003セミオートデベロッパー CR1 イエロールーム リソグラフィー装置 5,000 10,000 10,000 CRAVITY004ウェハー洗浄装置 CR1 イエロールーム ウェット処理装置 7,000 12,000 12,000 CRAVITY005有機洗浄装置A CR1 イエロールーム ウェット処理装置 6,000 11,000 11,000 CRAVITY006有機洗浄装置B Nb-Alジョセフソン接合作製装 CRAVITY007 置[In-situ分析器&オゾン酸化 器付] Nb-Alジョセフソン接合作製装 CRAVITY008 置[標準型] CR1 イエロールーム ウェット処理装置 6,000 11,000 11,000 CR1 クリーンルーム 成膜装置 7,000 12,000 12,000 CR1 クリーンルーム 成膜装置 7,000 12,000 12,000 CRAVITY009NbNジョセフソン素子作製装置 CR1 クリーンルーム 成膜装置 7,000 12,000 12,000 マルチターゲット(六源)スパッタ CRAVITY010 装置 CR1 クリーンルーム 成膜装置 7,000 12,000 12,000 CRAVITY011絶縁膜作製装置 CR1 クリーンルーム 成膜装置 7,000 12,000 12,000 CRAVITY012TEOS-CVD CR1 クリーンルーム 成膜装置 8,000 13,000 13,000 CRAVITY013 反応性イオンエッチング装置 Samco-I CR1 クリーンルーム 成膜装置 6,000 11,000 11,000 CRAVITY014 反応性イオンエッチング装置 Samco-II CR1 クリーンルーム 成膜装置 6,000 11,000 11,000 CRAVITY015 反応性イオンエッチング装置 Samco-III CR1 クリーンルーム エッチング装置 5,000 10,000 10,000 CRAVITY016 反応性イオンエッチング装置 (Ulvac) CR1 クリーンルーム エッチング装置 6,000 11,000 11,000 CRAVITY017 ICP型反応性イオンエッチング 装置 CR1 クリーンルーム エッチング装置 6,000 11,000 11,000 CRAVITY018アッシング装置 CR1 クリーンルーム 表面処理装置 4,000 9,000 9,000 CRAVITY019イオンミリング装置 CR1 クリーンルーム ミリング装置 6,000 11,000 11,000 CRAVITY020高温熱処理装置(RTA) CR1 クリーンルーム 熱処理装置 6,000 11,000 11,000 CRAVITY021オートプローバ CR1 クリーンルーム 測定装置 5,000 10,000 10,000 CRAVITY022マニュアルプローバ CR1 クリーンルーム 測定装置 3,000 8,000 8,000 CRAVITY023シート抵抗測定装置 CR1 クリーンルーム 測定装置 3,000 8,000 8,000 CRAVITY024ナノサーチ顕微鏡 CR1 クリーンルーム 測定装置 5,000 10,000 10,000 CRAVITY025レーザー顕微鏡 CR1 クリーンルーム 測定装置 4,000 9,000 9,000 CRAVITY026段差計 CRAVITY027CMP1 CRAVITY028CMP2 CR1 クリーンルーム CR1 一般実験室 CR1 一般実験室 測定装置 表面処理装置 表面処理装置 3,000 5,000 5,000 8,000 10,000 10,000 8,000 10,000 10,000 CR1 一般実験室 加工装置 4,000 9,000 9,000 CRAVITY029ダイシングソー 標準レシピを利用する場合 装置番号 施設名称 設置場所 装置分類 CRAVITY001 CRAVITY002 CRAVITY003 CRAVITY004 CRAVITY005 CRAVITY006 i線ステッパー コータデベロッパー セミオートデベロッパー ウェハー洗浄装置 有機洗浄装置A 有機洗浄装置B Nb-Alジョセフソン接合 作製装置[In-situ分析 器&オゾン酸化器付] Nb-Alジョセフソン接合 作製装置[標準型] NbNジョセフソン素子作 製装置 マルチターゲット(六源) スパッタ装置 絶縁膜作製装置 TEOS-CVD 反応性イオンエッチン グ装置Samco-I 反応性イオンエッチン グ装置Samco-II 反応性イオンエッチン グ装置Samco-III 反応性イオンエッチン グ装置(Ulvac) ICP型反応性イオンエッ チング装置 アッシング装置 イオンミリング装置 高温熱処理装置(RTA) オートプローバ マニュアルプローバ シート抵抗測定装置 ナノサーチ顕微鏡 レーザー顕微鏡 段差計 CMP1 CMP2 ダイシングソー CR1 イエロールーム CR1 イエロールーム CR1 イエロールーム CR1 イエロールーム CR1 イエロールーム CR1 イエロールーム リソグラフィー装置 リソグラフィー装置 リソグラフィー装置 ウェット処理装置 ウェット処理装置 ウェット処理装置 CR1 クリーンルーム 成膜装置 CR1 クリーンルーム 成膜装置 CR1 クリーンルーム 成膜装置 CR1 クリーンルーム CRAVITY007 CRAVITY008 CRAVITY009 CRAVITY010 CRAVITY011 CRAVITY012 CRAVITY013 CRAVITY014 CRAVITY015 CRAVITY016 CRAVITY017 CRAVITY018 CRAVITY019 CRAVITY020 CRAVITY021 CRAVITY022 CRAVITY023 CRAVITY024 CRAVITY025 CRAVITY026 CRAVITY027 CRAVITY028 CRAVITY029 共用施設等 技術補助費 技術代行費 使用料 （円/枚） 3,200 2,800 （円/枚） 5,200 4,800 （円/枚） 5,200 4,800 2,800 4,800 4,800 2,400 4,400 4,400 5,600 9,600 9,600 成膜装置 5,600 9,600 9,600 CR1 クリーンルーム CR1 クリーンルーム 成膜装置 成膜装置 6,400 10,400 10,400 CR1 クリーンルーム 成膜装置 CR1 クリーンルーム 成膜装置 2,400 4,400 4,400 CR1 クリーンルーム エッチング装置 CR1 クリーンルーム エッチング装置 2,400 4,400 4,400 CR1 クリーンルーム エッチング装置 2,400 4,400 4,400 CR1 クリーンルーム CR1 クリーンルーム CR1 クリーンルーム CR1 クリーンルーム CR1 クリーンルーム CR1 クリーンルーム CR1 クリーンルーム CR1 クリーンルーム CR1 クリーンルーム CR1 一般実験室 CR1 一般実験室 CR1 一般実験室 表面処理装置 ミリング装置 熱処理装置 測定装置 測定装置 測定装置 測定装置 測定装置 測定装置 表面処理装置 表面処理装置 加工装置 1,600 2,400 3,600 4,400 3,600 4,400 2,000 600 4,000 1,600 4,000 1,600 1,600 3,600 3,600
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