超純水水質需求(節錄)

超純水要求水質
半導体
項
目
液晶
位
記憶材
ｼﾘｺﾝｳｪﾊｰ
LSI
個半
M･cm at
25 o C
>18～18.2
>17.5
TFT
ｶﾗｰﾌｨﾙﾀｰ
GLASS
HD
HDD
>18～18.2
>18
>18
>17～18
>18
>16.5～18
比
抵
微
> 0.2μm
Pcs/ 
-----
< 20～100
-----
<～20
<～５0
< 10～100
-----
-----
粒
> 0.1μm
Pcs/ 
0～10
-----
０～10
< 10～
-----
-----
< 5～10
< 10～
子
> 0.05μm
Pcs/ 
< 1～2
-----
< 1～2
-----
-----
-----
-----
-----
TOC
ppb
< 0.5～1
< 50～100
< １～３
< 50～100
< 100
< 100
<～50
< 25～
SiO2
ppb
< 0.1
<～２0
< 1～ 5
< 1～
< 3～
< 1～10
< 1～10
< 1～
溶存酸素
ppb
< 3～10
-----
< １～10
< 10～
-----
-----
< 10
< 500～
CFU／
<～0.01
< 0.1～1
<～0.01
< 0.1
< 0.5～
< 0.1～2
<～0.1
< 0.001～
生
抗
単
菌
水
圧
水
温
MPa
o
C

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