精密エアスライダーテーブル エアースライダー＋リニアモータ 高精度な真直性、定速性、位置決めを必要とする検査機、加工機に最適です □特 徴 ○ 主要部材にグラナイト（斑レイ岩）を使用した高精度でコストパフォーマンスに優れた エアスライダーです.。 ○ 摺動抵抗が極めて小さく高い位置決め精度が可能です。 ○ スライダー、駆動部共に完全非接触（潤滑油不要）のためクリーンでメンテナンス フリーです。 ○ 軌道上を非接触で移動するため、高い真直精度が得られます。 □用 途 ○ ○ ○ ○ 半導体・液晶露光装置 半導体・液晶検査装置 高精度形状検査装置 超精密加工装置、他 ※吸着テーブルはオプションです。 □仕 様 ストローク 300ｍｍ 最高速度 500ｍｍ/sec 加速度 1ｍ/sec2 分解能 0.1μm 真直度 0.5μm ピッチング 1秒以下 ヨーイング 1秒以下 ※ご希望の仕様で製作致します。 □ 外観形状 ※仕様・外観等は予告無く変更する場合がありますのでご了承下さい。 営業・工場 〒503-2124 岐阜県不破郡垂井町宮代１０５３－１ TEL：0584-24-2021 FAX：0584-24-2022 URL:ｈｔｔｐ：//www.pgw.co.jp/ 東京営業所 〒224-0053 神奈川県横浜市都筑区池辺町4483-1 TEL：045-532-5553 FAX：045-532-5582
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