長さゲージ
2016.4
ハイデンハインの長さゲージ
差
ISO EN
2
ID 1078628-xx
目次
長さゲージ – 用途および品目
応用例
4
ハイデンハインの長さゲージ
6
長さゲージ一覧
8
技術的特徴と取付け情報
測定の原理
10
測定精度
12
取付け
16
設定
17
測定力およびプランジャー駆動
19
仕様
アブソリュート長さゲージ
HEIDENHAIN-ACANTO
± 2 µm
12 mm
30 mm
22
インクリメンタル長さゲージ
HEIDENHAIN-CERTO
± 0.1 µm; ± 0.03 µm*
± 0.1 µm; ± 0.05 µm*
25 mm
60 mm
24
インクリメンタル長さゲージ
HEIDENHAIN-METRO
± 0.2 µm
12 mm
25 mm
26
インクリメンタル長さゲージ
HEIDENHAIN-METRO
± 0.5 µm
± 1 µm
60 mm
100 mm
28
インクリメンタル長さゲージ
HEIDENHAIN-SPECTO
± 1 µm
12 mm
30 mm
30
MT 1281 (低測定力タイプ)
ST 1288 (低測定力タイプ)
± 0.2 µm
± 1 µm
12 mm
32
別売アクセサリ
34
測定プローブ、コントロールボックス、カップリング
測定スタンド、セラミックプレート、
ダイアフラム･コンプレッサー
HEIDENHAIN-CERTO
リフティングレリーズ、測定スタンド
ACANTO HEIDENHAIN-METRO
36
HEIDENHAIN-SPECTO
38
電気的接続
インターフェースユニット
40
データ処理ユニット
42
インターフェース
43
ケーブルと接続部品
47
DAkkS準拠の校正
51
サービス
*
差
応用例
計測と生産管理
95 mm
ゲージブロックの校正と
測定装置の検査
5 mm
1
差
差
10 µm
HEIDENHAIN-CERTO
± 0.1 µm/± 0.05 µm*/± 0.03 µm*
HEIDENHAIN-METRO
± 0.2 µm
HEIDENHAIN-SPECTO
*
4
差
± 1 µm
HEIDENHAIN-CERTO
± 0.1 µm/± 0.03 µm*
25 mm
± 0.1 µm/± 0.05 µm*
60 mm
マルチポイント検査装置
位置測定
X-Y
1
HEIDENHAIN-METRO
HEIDENHAIN-SPECTO
100 mm
± 1 µm
30 mm 60 mm
± 0.5 µm
HEIDENHAIN-ACANTO
HEIDENHAIN-SPECTO
± 1 µm
30 mm
± 0.2 µm
HEIDENHAIN-METRO
HEIDENHAIN-SPECTO
X-Y
公差
5
ハイデンハインの長さゲージ
広い測定範囲
30 mm 60 mm
12 mm 25 mm
100 mm
1
高精度
10 mm 100 mm
HEIDENHAIN-CERTO
堅牢設計
6
幅広い用途
アブソリュート位置値測定
12 mm
HEIDENHAIN-ACANTO
30 mm
ON
技術の信頼性
70
ワールドワイドのサービスネットワーク
100%
7
長さゲージ一覧
精度
測定範囲
アブソリュート位置値測定
± 1 µm
HEIDENHAIN-ACANTO
インクリメンタル・リニア測定
± 0.1 µm
*)
± 0.05 µm
± 0.03 µm*)
± 0.2 µm
HEIDENHAIN-METRO
± 0.5 µm
± 1 µm
HEIDENHAIN-METRO
± 1 µm
HEIDENHAIN-SPECTO
*)
MT 101
8
MT 60
CT 6000
HEIDENHAIN-CERTO
差
CT 2500
12 mm
25 mm/30 mm
60 mm
100 mm
ページ
22
AT 1218 EnDat
AT 3018 EnDat
AT 1217 EnDat
AT 3017 EnDat
24
CT 2501
11 µAPP
CT 6001
11 µAPP
CT 2502
11 µAPP
CT 6002
11 µAPP
26
MT 1271
MT 1281
TTL
1 VPP
MT 2571
MT 2581
TTL
1 VPP
MT 1287
1 VPP
MT 2587
1 VPP
28
MT 60M
11 µAPP
MT 101 M
11 µAPP
MT 60K
11 µAPP
MT 101 K
11 µAPP
30
ST 1278
ST 1288
TTL
1 VPP
ST 3078
ST 3088
TTL
1 VPP
ST 1277
ST 1287
TTL
1 VPP
ST 3077
ST 3087
TTL
1 VPP
MT 2500
MT 1200
ST 3000
ST 1200
AT 3000
AT 1200
9
測定の原理
スケール本体
測定方式
光電走査
インクリメンタル測定方式
カウント
µm
原点
1
ON
アブソリュート測定方式
長期安定性
• AURODUR:
スケール目盛
:
• METALLUR:
• DIADUR:
• 投影走査方式
20 40 µm
• 干渉走査方式
8 µm
:
20 µm
:
20 µm
:
• SUPRADUR
8 µm
:
• OPTODUR
8 µm
:
:
2 µm
40 µm
:
0.25 µm
DIADUR
DIADUR
5µ
m
10
投影走査方式
干渉走査方式
8 µm 4 µm
2
0.2 µm
HEIDENHAIN-CERTO
HEIDENHAIN-METRO MT 1200 MT 2500
2
–1 0 +1 3
+1 –1
3
公差
1
1
2
HEIDENHAIN-ACANTO
HEIDENHAIN-SPECTO
HEIDENHAIN-METRO MT 60 MT 100
–1
差
1
1
2
1
2
C
X
LED
LED
11
測定精度
測定機器に特有の誤差
•
•
•
•
•
差
差 システム精度
総誤差F
±a
差
•
•
•
•
•
•
差 1
差
誤差
全体
•
•
•
• 1
差
1
差
差
差±u
± 1%
差
1信号周期内の位置誤差
1
差
ショートレンジ精度
± 100 µm
差
1
差±u
差
1信号周期内の位置誤差 u
位置誤差
位置誤差
測定長ML全体にわたっての位置誤差a
位置
12
信号レベル
1信号周期内の位置誤差
信号周期
360 °elec.
アプリケーションに依存する誤差
熱特性
直交取付け
差
200 mm
10 µm
差
5K
8 mm固定用シャフト
平坦な取付け面
測定ルー
Y
プ
差
HEIDENHAIN-CERTO
X
機械的設計
21°C
19 °C
±0.1 K
HEIDENHAIN-CERTO
15
測定ループ:
直交取付け
熱による長さの変化:
13
HEIDENHAIN-CERTO
差
差
1
製造者発行検査証明書
検定標準
公
ISO 9001
HEIDENHAIN-METRO
HEIDENHAIN-CERTO
精度検定表
差
差
HEIDENHAIN-METRO
1
HEIDENHAIN-CERTO
2
差
HEIDENHAIN-CERTO
1
1
2
4
温度範囲
20 °C 基準温度
3
使
用温度範囲
保存温度範囲 –20 °C
2
14
60°C
5
10
DIN 32876 DKD-R 4-3
ST 1200
繰り返し性
< x + 2σ
AT 1200
0.4 µm
AT 3000
0.8 µm
CT 2500
0.02 µm
CT 6000
0.03 µm
MT 101
0.04 µm
MT 1200
0.03 µm
MT 2500
0.09 µm
MT 60
0.06 µm
ST 1200
0.25 µm
ST 3000
0.7 µm
0.25 µm
度数
•
•
•
•
シリーズ
0
0
–2σ
–σ
x
σ
2σ
繰り返し性
ST 1200:
15
取付け
アッベの測定原理
CT 6000
MT 60
MT 101
CT 2500
差
固定方法
CT 6000、MT 60
MT 101
2
MT 60
MT 101 HEIDENHAIN-METRO
MS 100
 
CT 2500 16h8
HEIDENHAIN-CERTO
MT 2500
 
 

ID 386811-01
公差
HEIDENHAIN-CERTOの駆動方向
HEIDENHAIN-CERTO
16
–
AT、ST、MT 1200
8h6

設定
アッベの測定原理
加速度
熱特性
堅牢な設計
CERTO
測定ループ
therm
Zerodur
プランジャー
Invar
therm
therm
0 K–1
1 x 10–6 K–1
M2.5
別売アクセサリ
HEIDENHAIN-ACANTO
HEIDENHAIN-SPECTO ST 1200
MT 1200
ベローズ
CT 6000、MT 60 の構造
MT 2500
ST 1200 の構造
17
プランジャーガイド
消耗品
HEIDENHAIN-ACANTO スライディ
HEIDENHAIN-METRO
HEIDENHAIN-CERTO
HEIDENHAIN-SPECTO ボールブッシュガイ
ド
•
600
*
• CT MT 60 MT 101
100
*
•
• AT
ST 1200
ングガイド
•
•
•
•
•
•
* CT MT 60M MT 101M
•
注意
DIADUR DR.JOHANNES HEIDENHAIN
GmbH, Traunreut, Germany
Zerodur Schott-Glaswerke, Mainz,
Germany
スライディングガイド
18
ボールブッシュガイド
測定力 – プランジャー駆動
測定力
•
MR:
•
MW:
•
スプリングによるプランジャー駆動
AT 1218 AT 3018 MT 12x1 MT 25x1
ST 12x8
ST 30x8
ケーブルレリーズによるプランジャー駆動
(MT 12x1、MT 25x1)
MG:
0.01 N
ST 1288 MR ST 1288 MG
MT 1281MG
MT 1281MW
ST 1288MG
測定力
•
•
•
測定物によるプランジャー駆動
20
MT 1281 ST 1288
12 mm
0.25
2.0
測定力[N]
測定力[N]
測定力[N]
0.30
MT 25x1
MT 25x1
ST 30x8
ST 30x8
AT 3018
AT 3018
MT 12x1
MT 12x1
ST 12x8
ST 12x8
AT 1218
AT 1218
MT 1281MW
MT 1281MW
MT 1281MR
MT 1281MR
ST 1288MR
ST 1288MR
0.35
25 mm/30 mm
1.8
1.6
1.4
1.2
0.20
1.0
0.15
0.8
0.10
0.6
0.05
0.4
0.00
0.2
測定範囲[mm]
測定範囲[mm]
0
5
10
15
20
25
30
測定範囲[mm]
19
注意
空気圧によるプランジャー駆動
AT 1217 AT 3017 MT 1287
MT 2587 ST 12x7
ST 30x7
ISO 8573-1
1995
•
1
0.1 µm
1 · 105 Pa
0.1 mg/m3
•
:
1
5
0.01 mg/m3
1 · 10 Pa
•
:
4
5
+3 °C
2 · 10 Pa
公差
測定力
:
圧縮空気ユニットDA 400
10 l/min
DA 400
12 mm
25 mm/30 mm
MT 12x7
MT 12x7
ST 12x7
ST 12x7
AT 1217
AT 1217
測定力[N]
2.4
測定力[N]
19
駆動方向が水平の場合
MT 2587
MT 2587
ST 30x7
ST 30x7
AT 3017
AT 3017
型式
2.0
垂直上方
AT 121x
AT 301x
– 0.12 N
– 0.18 N
0.12 N
0.18 N
1.2
MT 12xx
MT 25x1
MT 2587
– 0.13 N
– 0.17 N
– 0.19 N
0.13 N
0.17 N
0.19 N
ST 12x7
ST 12x8
ST 30xx
– 0.07 N
– 0.08 N
– 0.11 N
0.07 N
0.08 N
0.11 N
0.4
圧力[10 Pa]
20
垂直下方
1.6
0.8
5
駆動方向
0.0
0.4
0.8
1.2
1.6
2.0
2.4
2.8
圧力[105Pa]
モーターによるプランジャー駆動
CT 2501 CT 6001 MT 60M
MT 101M
CT 2501 CT 6001
測定力
CT 6001
3
MT 60M
CT 2501
MT 60M
—
SG 101V
SG 101H
—MT 101M
CT 2501
CT 6001
MT 60 M
MT 101 M
0.85 N/1 N/1.45 N
1 N/1.25 N/1.75 N
0.7 N
SG 101V
–/–/0.55 N
–/–/0.85 N
–
–/0.55 N/1 N
–/0.8 N/1.3 N
0.7 N
SG 101H
測定力
カップリングによるプランジャー駆動
CT 2502 CT 6002 MT 60K
MT 101K
MT 1200 MT 2500
ST 1288
所要
移動力
CT 2502
CT 6002
測定力
MT 60 K
1)
MT 101 K
1)
1)
MT 2571
TTL
1 VPP MT 2581
ST 1288
TTL
1 VPP
–
–
–
MT 1271
MT 1281
0.45 N
0.4 N
1.7 N
0.13 N
0.17 N
0.2 N
0.55 N
0.55 N
2N
–
–
–
0.15 N
0.15 N
0.4 N
–
–
–
1)
21
HEIDENHAIN-ACANTO
EnDatインターフェース搭載アブソリュート長さゲージ
• オンライン診断機能
• 保護等級 IP67まで
• CRC付シリアルデータ伝送
AT 1200
AT 3000
1.8 · 105Pa
公差
ML =
=
= 2 mm
22
AT 1218
AT 3018
スケール本体
DIADUR
;
システム精度
± 1 µm
機械仕様データ
AT 1217
AT 3017
± 2 µm
± 1 µm
± 2 µm
30 mm
12 mm
30 mm
プランジャー駆動方式
1
188.4 µm
± 0.7 µm
差
測定範囲
12 mm
作動圧力
–
5
0.7·10
機械的許容走査速度
80 m/min
許容横方向荷重
0.5 N
120 m/min
1.8·105Pa
80 m/min
1.1·105 1.8·105Pa
120 m/min
8h6
固定方法
振動 55 Hz
衝撃 11 ms
2
100 m/s IEC 60068-2-6
500 m/s2 IEC 60068-2-27
2000 Hz
使用温度
10
保護等級 IEC 60 529
IP67
質量
80 g
1)
40 °C;
20°C
1)
1)
IP64
IP67
IP64
100 g
80 g
100 g
368 nm
23 nm
368 nm
IP67
電気仕様
EnDat
インターフェース
EnDat 2.2
EnDat 22
23 nm
tcal
電気的接続
5 µs
8 MHz
8
M12
100 m
DC 3.6 V
3.6 V:
14 V:
14 V
550 mW
650 mW
5 V:80 mA
23
HEIDENHAIN-CERTO
精度± 0.1 µm/± 0.051) µm*/± 0.03 µm1)のインクリメンタル長さゲージ
• 超高精度用
• 低熱膨張材料を使用
• 高精度ボールベアリングガイド
CT 2500
CT 6000
公差
=
24
CT 2501
CT 6001
スケール本体
DIADUR
Zerodur
システム精度
19 °C
21 °C
± 0.1 µm
± 0.03 µm1)
± 0.1 µm
± 0.05 µm1)
機械仕様データ
CT 2502
CT 6002
プランジャー駆動方式
1
;
4 µm
± 0.1 µm
± 0.03 µm1)
± 0.1 µm
± 0.05 µm1)
± 0.02 µm
差
ショートレンジ精度
0.03 µm
原点
1
測定範囲
25 mm
1.7 mm
60 mm
25 mm
60 mm
0.5 N
許容横方向荷重
16h8
固定方法
16h8
100 m/s2 IEC 60068-2-6
1000 m/s2 IEC 60068-2-27
振動 55 2000 Hz
衝撃 11 ms
使用温度
10 °C
40 °C;
20 °C
保護等級IEC 60529
IP50
質量
520 g
700 g
480 g
640 g
電気仕様
CT 2501
CT 6001
CT 2502
CT 6002
11 µAPP
インターフェース
2 µm
24 m/min
12 m/min
•
•
電気的接続*
ND 28x
1.5m 15
1.5 m 9
D-sub
M23
30 m
DC 5 V ±0.25 V/< 170 mA
DC 5 V ±0.25 V/< 120 mA
必要な別売アクセサリ*
CT 2501 用
CT 6001 用
コントロールボックス
SG 25M
SG 60M
*
1)
2)
差
25
HEIDENHAIN-METRO
精度±0.2 µmのインクリメンタル長さゲージ
• 高い繰り返し性
• 各種測定力を用意
• 各種プランジャー駆動方式を用意
MT 1200
MT 12x1
MT 1287
L1
18.5
22.0
L2
10.1
6.2
L3
8.1
4.2
MT 2500
MT 25x1
MT 2587
L1
37.0
41.0
L2
10.1
6.2
L3
8.1
4.2
MT 1287
MT 2587
公差
26
=
=
=
= 2 mm
TTL MT 1287
1 VPP
TTL MT 2571
1 VPP MT 2581
MT 1271
MT 1281
機械仕様データ
1 VPP MT 2587
1 VPP
プランジャー駆動方式
スケール本体
DIADUR
システム精度
± 0.2 µm
1
Zerodur
;
± 0.02 µm
差
0.03 µm
ショートレンジ精度
0.04 µm
0.03 µm
0.04 µm
12 mm
25 mm
1.7 mm
原点位置
測定範囲
12 mm
作動圧力
–
25 mm
5
0.9 · 10 Pa
1.4 · 105Pa
0.8 N
許容横方向荷重
8h6
固定方法
:
;
振動 55 Hz
衝撃 11 ms
: 4 µm
100 m/s2 IEC 60068-2-6
1000 m/s2 IEC 60068-2-27
2 000 Hz
使用温度
10
40°C;
保護等級IEC 60529
IP50
質量
100 g
電気仕様
MT 1271
MT 2571
20°C
IP67
180 g
110 g
MT 128x
MT 258x
TTL
インターフェース
*
190 g
1 VPP
5
10
–
0.4 µm
0.2 µm
2 µm
–
–
30 m/min
機械的許容走査速度
エッジ間隔 a
1)
走査周波数*/走査速度の時
200 kHz
24 m/min
100 kHz
12 m/min
50 kHz
6 m/min
25 kHz
3 m/min
–
0.23 µs
0.48 µs
0.98 µs
1.5m 15
電気的接続*
0.23 µs
0.48 µs
0.98 µs
D-sub
• 15
• 12
1.5 m
D-sub
M23
30 m
DC 5 V± 0.5 V/< 160 mA
*
DC 5 V ±0.25 V/< 130 mA
1)
27
HEIDENHAIN-METRO
精度 ± 0.5 µm/± 1 µm のインクリメンタル長さゲージ
• 広い測定範囲
• モータもしくはカップリングによるプランジャー駆動
• ボールブッシュガイドプランジャー
MT 60 M
MT 60
MT 101 M
MT 101
公差
28
=
MT 60 M
MT 101 M
スケール本体
DIADUR
;
システム精度
± 0.5 µm
機械仕様データ
MT 60 K
MT 101 K
プランジャー駆動方式
1
10 µm
± 1 µm
± 0.5 µm
± 1 µm
1.7 mm
10 mm
1.7 mm
10 mm
60 mm
100 mm
60 mm
100 mm
± 0.1 µm
差
原点位置
測定範囲
0.5 N
横方向荷重
2N
0.5 N
2N
固定方法
SG 101V
SG 101H
2
100 m/s IEC 60068-2-6
2
1000 m/s IEC 60068-2-27
振動 55Hz 2000 Hz
衝撃 11 ms
使用温度
10 °C
40 °C;
20 °C
保護等級IEC 60529
IP50
質量
700 g
1400 g
600 g
1200 g
電気仕様
MT 60 M
MT 101 M
MT 60 K
MT 101 K
11 µAPP
インターフェース
10 µm
18 m/min
1.5 m 15
電気的接続*
60 m/min
D-sub
18 m/min
9
60 m/min
M23
30 m
DC 5 V±0.25 V
< 120 mA
必要な別売アクセサリ*
MT 60M用
コントロールボックス
SG 60M
電源ユニット
–
< 70 mA
MT 101M用
SG 101 V
SG 101 H
*
1)
29
HEIDENHAIN-SPECTO
精度±1 µmのインクリメンタル長さゲージ
• コンパクトな形状
• 保護等級 IP67まで
• 耐久性に優れたボールブッシュガイド
ST 1200



 
– 
ST 12x7
ST 30x7

ST 3000







公差
=
=
=
= 2 mm
30
TTL
1 VPP
ST 1278
ST 1288
機械仕様データ
TTL
1 VPP
ST 3078
ST 3088
TTL
1 VPP
ST 1277
ST 1287
ST 3077
ST 3087
TTL
1 VPP
プランジャー駆動方式
スケール本体
DIADUR
システム精度
± 1 µm
1
20 µm
± 0.2 µm
差
ショートレンジ精度
;
0.3 µm
5 mm
原点位置
測定範囲
12 mm
作動圧力
–
30 mm
12 mm
30 mm
5
2.5·105Pa
0.7·10
0.8·105 2.5·105Pa
0.8 N
許容横方向荷重
8h6
固定方法
2
100 m/s IEC 60068-2-6
2
1000 m/s IEC 60068-2-27
振動 55Hz 2000 Hz
衝撃 11 ms
使用温度
10 °C
保護等級IEC 60529
IP67/IP64
IP64
質量
40 g
50 g
電気仕様
ST 127x
ST 307x
20 °C
40 g
50 g
ST 128x
ST 308x
TTL
インターフェース
*
40 °C;
1 VPP
5
10
–
4 µm
2 µm
20 µm
エッジ間隔 a
走査周波数*/走査速度の時2)
100 kHz
72 m/min1)
50 kHz
60 m/min
25 kHz
30 m/min
0.48 µs
0.98 µs
1.98 µs
電気的接続*
15
0.23 µs
0.48 µs
0.98 µs
–
1.5m
D-sub
• 15
• 12
1.5 m
D-sub
M23
*
30 m
DC 5 V ± 0.5 V
< 195 mA
*
1)
< 55 mA
2)
31
MT 1281、ST 1288 (低測定力タイプ)
インクリメンタル長さゲージ
• ボールブッシュガイドプランジャー
• 標準製品と基本性能は同等
MT 1281
MT 1281
L1
18.5
L2
10.1
L3
8.1
*
ST 1288
公差
=
=
=
= 2 mm
32
MT 1281
機械仕様データ
ST 1288
プランジャー駆動方式
DIADUR
スケール本体
Zerodur
4 µm
; DIADUR
システム精度
± 0.2 µm
± 1 µm
ショートレンジ精度
0.03 µm
0.3 µm
測定範囲
12 mm
8h6
固定方法
保護等級IEC 60529
IP50
IP50
1 VPP
インターフェース
2 µm
20 µm
•
1.20
•
測定力[N]
1.10
1.00
ST1288
0.90
ST 1288
0.80
MT1281
0.70
MT 1281
0.60
ST 1288MR
•
MR:
MW:
MG:
0.01 N
ST 1288MR
0.50
MT 1281MR
0.40
MT 1281MR
0.30
MT 1281MW
0.20
MT 1281MW
0.10
0.00
;
20 µm
0
2
4
6
8
10
12
測定範囲[mm]
33
別売アクセサリ
球面タイプ
円筒半球面タイプ
ID 202504-01
ID 202504-02
ID 202504-03
ピンタイプ
平面タイプ
ID 229232-01
ID 270922-01
ID 202506-01
ナイフエッジタイプ
ID 202505-01
ID 202503-01
公差
ローラータイプ
調整式タイプ
ID 202502-03
ID 202502-04
34
ID 202507-01
ID 202508-01
CT 2501、CT 6001、MT 60M、MT 101M用
コントロールボックス
2
3
SG 25M
SG 60M
SG 25 M
ID 317436-01
SG 60 M
ID 317436-02
SG 101 V1)
MT 101M
ID 361140-01
SG 101 H1)
MT 101M
ID 361140-02
コネクタ(メス)、3ピン
ID 340646-05
1)
SG 101V/H用 電源アダプタ
MT 101M
AC100
240 V
差
ID 648029-01
カップリング
MT 60K
MT 101K
ID 206310-01
公差
35
別売アクセサリ
HEIDENHAIN-CERTO
測定スタンドCS 200
CT 2501*
CT 6001
ID 221310-01
350 mm
250 mm
58 mm
15 kg
*)
CS 200
CS 200 用ホルダー
16 mm
ID 324391-01
公差
36
CT 2501
セラミックプレート
ID 223100-01
1
2
—
T
—
3m
ダイアフラム･コンプレッサー
ID 754220-01
ID 754220-02
20 W
2.3 kg
AC230 V/50 Hz
AC115 V/60 Hz
公差
37
別売アクセサリ
HEIDENHAIN-ACANTO HEIDENHAIN-METRO
HEIDENHAIN-SPECTO
リフティングレリーズ
MT 1200
MT 2500
ID 257790-01
測定スタンドMS 200
AT1)
ST1)
MT 12001)
MT 25001)
MT 60 M
MT 101 M
ID 244154-01
346 mm
250 mm
58 mm
18 kg
1)
MS 200 用ホルダー
8 mm
AT ST MT 1200
MT 2500
ID 324391-02
固定用スリーブ
AT ST
MT 1200
MT 2500
8h6
:
ID 386811-01 1
ID 386811-02 10
公差
38
測定スタンドMS 45
AT
ST
MT 1200
MT 2500
ID 202162-02
196.5 mm
49 mm
22 mm
2.2 kg
測定スタンドMS 100
AT
ST
MT 1200
MT 2500
MT 60 M1)
MT 101 M1)
ID 202164-02
385 mm
100 mm x 115 mm
50 mm
18 kg
1)
MS 100 用ホルダー
MT 60M
ID 207479-01
MT 101M
ID 206260-01
公差
39
インターフェースユニット
インターフェースユニットの入力信号
11 µAPP
EnDat
ボックスタイプ
1 VPP
SSI
インターフェースユニットの出力信号
•
•
•
•
•
•
•
•
TTL
EnDat 2.2
DRIVE-CLiQ
コネクタタイプ
PROFIBUS
Profinet
正弦波入力信号の内挿分割
位置値の生成
組込み基板タイプ
DINレール取付けタイプ
40
出力
形状タイプ - 保護等級
入力
インターフェース
TTL
軸数 インターフェース
軸数
1
1
1 VPP
– IP 65
内挿分割1)
型式
5/10
IBV 101
20/25/50/100
IBV 102
IBV 600
– IP 40
– IP 00
11 µAPP
1
– IP 65
25/50/100/200/400
IBV 660 B
5/10/20/25/50/100
APE 371
5/10
IDP 181
20/25/50/100
IDP 182
5/10
EXE 101
20/25/50/100
EXE 102
/5
– IP 00
TTL/
1 VPP
2
1
1 VPP
– IP 65
EXE 602 E
25/50/100/200/400
EXE 660 B
5
IDP 101
2
IBV 6072
5/10
IBV 6172
5/10
EnDat 2.2
DRIVE-CLiQ
1
1 VPP
IBV 6272
– IP 65
16 384
EIB 192
– IP 40
16 384
EIB 392
2
– IP 65
16 384
EIB 1512
1
EnDat 2.2
1
– IP 65
1
1 VPP
1
– IP 65
16 384
EIB 192 F
– IP 40
16 384
EIB 392 F
2
– IP 65
16 384
EIB 1592 F
1
– IP 65
16 384
EIB 192 M
– IP 40
16 384
EIB 392 M
2
– IP 65
16 384
EIB 1592 M
1
– IP 40
1
1 VPP
1
EnDat 2.22)
PROFIBUS-DP
1
EnDat 2.1
PROFINET
1
EnDat 2.1
1)
1
20/25/50/100
2)
EnDat 2.2
5nm LIC 4100
–
EIB 2391 S
–
EIB 3391 Y
1
DIN
–
PROFIBUS
ゲートウェイ
1
DIN
–
PROFINET
ゲートウェイ
50 nm 100 nm LIC 2100
10 nm LC
41
データ処理ユニット
ハイデンハインのデータ処理ユニット
2
/3
www.heidenhain.co.jp
マニュアル工作機械用のハイデンハイン製デ
ジタル表示カウンタは、
PC
www.heidenhain.co.jp
–
表示画面搭載
ND 2100G GAGE-CHEK
機能
入力
内挿分割
インター
フェース
–
ND 200
•
•
•
•
SPC
SPC
MSE 1000
•
•
EIB 700
•
•
•
1)
ND 287
42
/差
2
•
100
•
• 公差
•
ND 2100 G
GAGE-CHEK
•
•
•
公差
SPC
SPC
•
•
•
型式
インター
フェース
1 VPP
1
11 µAPP
2
EnDat
4096
RS-232-C/V-24 ND 280
USB
1)
ND 287
1 VPP
TTL
EnDat
4
10
1 VPP
RS-232-C/V-24 ND 2104 G
USB
ND 2108 G
1 VPP
TTL
EnDat
250
4096
MSE 1000
4
4096
EIB 741
EIB 742
1)
公差
8
SPC
•
•
•
•
•
•
•
•
•
軸数
出力
LVDT
HBT
50 kHz
250 000
1 VPP
インターフェース
11 µAPP
11 µAPP
EXE
360° elec.
ND
I2
11 µAPP
インクリメンタル信号I1
差90°elec.
I2 I1
原点信号I0
ID 1078628-xx
ピン配列
9ピンハイデンハインコネクタ
3
15ピンD-subコネクタ
ND 28x/PWM 20
4
9
1
2
5
6
7
8
6
1
9
3
11
14
7
外部
シールド
内部
シールド
I1+
I1–
I2+
I2–
I0+
I0–
–
/
ハウジング
UP =
4
2
UP
0V
シールド
43
インターフェース
1 VPP
1 VPP
360° elec.
インクリメンタル信号A B
90°elec.
差
1 VPP
B
A
原点信号R
ID 1078628-xx
A B R
差
ピン配列
12ピンM23カップリング
12ピンM23コネクタ
12
2
10
11
5
6
8
1
3
4
9
7
/
4
12
2
10
1
9
3
11
14
7
5/6/8/15
13
/
UP
センサ
UP
0V
センサ
0V
A+
A–
B+
B–
R+
R–
空き
空き
空き
/
シールド
センサ:
44
15ピンD-subコネクタ
ND 28x/PWM 20
/
;UP=
/
TTL
TTL
インクリメンタル信号
原点信号 1
異常発生時
360° elec.
90° elec.
Ua1 Ua2
差
4逓倍評価後の
測定分解能
Ua0
反転信号
Ua2
Ua1
アラーム信号
ID 1078628-xx
1 2
4
Ua1 Ua2
測定分解能
2
ピン配列
15ピンD-subコネクタ
12ピンハイデンハインコネクタ
12
2
10
11
5
6
8
1
3
4
7
/
9
4
12
2
10
1
9
3
11
14
7
13
5/6/8
15
UP
センサ
UP
0V
センサ
0V
Ua1
¢
Ua2
£
Ua0
¤
/
シールド
センサ:
1)
ERO 14xx:
/
1)
¥
空き
2)
空き
–
;UP=
2)
オープンタイプリニアエンコーダ:PWT
TTL/11 µAPP
45
インターフェース
EnDat
双方向
位置値
シリアル伝
送方式
4本の信号線
同
期
EnDat 2.2
区分
コマンドセット
EnDat01
EnDat 2.1
インクリメンタル信号
EnDat 2.2
EnDat21
EnDat02
EnDat 2.2
EnDat22
EnDat 2.2
EnDat
アブソリュートエンコーダ
後続電子部
1 VPP A*)
*)
PP
B*)
EnDat

ID 1078628-xx
OEM
EnDat 2.1
*)
EnDat 2.2
ピン配列
8ピン M12カップリング
8
2
5
1
3
4
7
6
4
12
2
10
5
13
8
15
UP
センサ UP
0V
センサ0 V
DATA
DATA
CLOCK
CLOCK
/
46
15ピンD-subコネクタ (オス)
IK 215/PWM 20
/
ケーブルと接続部品
:
コネクタ
:
カップリング
M23
M12
M12
中央留め具付き
組込み型カップリング
M23
フランジ付
組込み型カップリング
M23
M12 直角コネクタ
フランジソケット:
M23
D-subコネクタ:
M23
ピン
IK
番号
フランジソケットおよび
M23組込み型カップリング用アクセサリ(別売)
埃よけキャップ
ID 219926-01
M12接続部品用アクセサリ(別売)
絶縁スペーサ
ID 596495-01
D-sub
保護等級 IP67
:IP50; IEC 60529
1)
47
ケーブルと接続部品
15ピン
接続ケーブルのコネクタ
エンコーダケーブルのコネクタへ接続用
8 mm
D-subコネクタ(メス)
315650-14
12ピン
9ピン
接続ケーブルのコネクタ
カップリング(メス)
エンコーダケーブルのカップリングへの接続用
8 mm
291698-02
291698-01
ケーブル用コネクタ
コネクタ(オス)
8 mm
291697-08
291697-04
接続ケーブル用カップリング
カップリング(オス)
8 mm
291698-04
291698-24
フランジソケット
フランジソケット(メス)
315892-08
315892-06
取付け用カップリング
フランジ付(メス)
8 mm
291698-07
291698-06
フランジ付(オス)
8 mm
291698-31
–
中央留め具付
(オス)
6 10 mm
741045-01
–
364914-01
–
1 VPP/11 µAPP
1 VPP
11 µAPP
12 M23
アダプタコネクタ
9
48
M23
1 VPP TTL 11 µAPP
12
M23
9
M23
1 VPP、TTL
11 µAPP
PUR 被覆接続ケーブル [3(2 x 0.14 mm2) + (2 x 1 mm2)]; AP = 1 mm2
PUR 被覆接続ケーブル [6(2 x 0.19 mm2)]; AP = 0.19 mm2
PUR 被覆接続ケーブル [4(2 x 0.14 mm2) + (4 x 0.5 mm2)]; AP = 0.5 mm2
6 mm1)
8 mm
8 mm
両側
D-sub
M23
331693-xx
355215-xx
–
片側
15 D-sub
332433-xx
355209-xx
–
両側
15 D-sub
15 D-sub
ND 28x, EIB 741 ;
1 VPP
:ND 11xx ND 12xx
335074-xx
355186-xx
–
両側
15 Dsub
15 Dsub
ND 780 PT 880 IK 220
335077-xx
349687-xx
–
未結線
816317-xx
816323-xx
–
両側
M23
15 D-sub
ND 28x EIB 741 ;
1 VPP
:ND 11xx ND 12xx
309784-xx
–
653231-xx
両側
M23
19 D-sub
ND 11xx ND 12xx 1 VPP
617513-xx
–
716905-xx
両側
M23
15 Dsub
ND 780 PT 880 IK 220
309783-xx
–
368172-xx
片側
M23
298402-xx
–
309780-xx
両側
M23
M23
298400-xx
–
309774-xx
1)
AP:
9m
49
ケーブルと接続部品
EnDat
8
M12
EnDat用
PUR 被覆接続ケーブル
[4 × (2 × 0.09 mm2)]; AP = 0.09 mm2
PUR 被覆接続ケーブル
[(4 × 0.14 mm2) + (4 × 0.34 mm2)]; AP = 0.34 mm2
6 mm
3.7 mm
1)
両側
368330-xx
801142-xx
両側
373289-xx
801149-xx1)
両側
533627-xx
–
524599-xx
801129-xx1)
722025-xx
801140-xx1)
片側
634265-xx
–
片側
606317-xx
–
15
D-sub
両側
15 D-sub
IK 215 PWM 20 EIB 741
両側
15 D-sub
IK 215 PWM 20 EIB 741
1)
AP:
50
6m
DAkkS準拠の校正
DAkkS
ISO 9001
ILAC
SI
•
AT CT MT ST
ND 28x EXE IBV
•
LC LF LIDA LIP LS
•
ECN ROC ROD RON
EA
1994
長さゲージ
ハイデンハインの校正室
DIN EN ISO/IEC 17025
SI
ISO 9001
DAkkS
ハイデンハインの校正証明書
公
SI
デジタル式のリニアエンコーダ
エンコーダ
角度
•
•
• 5
差
差
Ͳ<ͲϭϵϬϱϳͲϬϭͲϬϬ
51
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本社
名古屋営業所
102-0083
3-2
9F
 (03) 3234-7781
 (03) 3262-2539
460-0002
3-23-20
HF
10F
 (052) 959-4677
 (052) 962-1381
大阪営業所
九州営業所
532-0011
802-0005
6-1-1
16F
 (06) 6885-3501
 (06) 6885-3502
1-2-16
6F
 (093) 511-6696
 (093) 551-1617
ドイツ本社
DE
CZ
HEIDENHAIN s.r.o.
102 00 Praha 10, Czech Republic
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HEIDENHAIN Scandinavia AB
7300 Orkanger, Norway
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TP TEKNIK A/S
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FARRESA ELECTRONICA S.A.
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Machinebanks` Corporation
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02-384 Warszawa, Poland
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PT
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12681 Berlin, Deutschland
 030 54705-240
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FARRESA ELECTRÓNICA, LDA.
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Croatia  SL
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