Fein- und Feinstreinigung

Fein- und Feinstreinigung
mitRestschmutzanalyse
�
Garantiertes
Reinigungsergebnisnach
VACOM®PurityClasses
�In-housePrüfungder
Bauteilsauberkeitdurch
Restgasanalyse(RGA)
�AlleProzessein
ReinräumenderKlassen
ISO-7,ISO-6undISO-5
www.vacom.de
DE
Feinstreinigung mit Restschmutzanalyse
� IndustrielleFeinstreinigungfürhöchsteAnsprüche
� EntfernungfilmischerVerunreinigungendurchNass-&Trockenreinigung
� FlexibleVerfahrenundoptimierteProzesskettenmitverschiedenenReinigungsverfahren
� B
auteilebeliebigerGeometrienmiteinermax.Größevon1100x700x700mmund
einemGewichtbis150kg
� P
rüfungdesReinigungsergebnissesmithochempfindlichenNachweismethodenfürpartikuläreund
filmischeVerunreinigungen
� KonservierungderBauteilsauberkeitdurchreinraumtauglicheVerpackung
� WissenschaftlicheBegleitungundOptimierungderProzesse
� KurzeDurchlaufzeitendurchoptimalePlanungundeffizienteLogistik
� P
rozessesindISO9001:2008zertifiziertundmitdemZIM-PreisdesBundesministeriumsfürWirtschaftund
Technologieausgezeichnet
� O
ptimiertesReinigungsergebnisfüreinbreitesSpektrumanWerkstoffenwiez.B.:Edelstahl,Aluminium,
Buntmetallen,Titan,VitonundElastomeren
Edelstahl,
Titan,
Nickel
Aluminium,
Kupfer
Ausgasung
(für einfache Geometrien)
Akkumulierte molekulare
Kontamination*
Class S
Purity
Class 1
Purity
Class 2
Purity
Class 3
Purity
Class 4
<1E-5
<2E-8
<7E-9
<5E-9
<5E-9
H2O
[mbar · l / (s · cm2)]
k.A.
k.A.
<2E-9
<4E-10
<4E-10
CxHy (45…100)
[mbar · l / (s · cm2)]
k.A.
k.A.
<5E-12
<4E-12
<4E-12
CxHy (101…200)
[mbar · l / (s · cm2)]
k.A.
k.A.
<6E-13
<3E-13
<3E-13
H2O
[mbar · l/(s · cm²)]
k.A.
k.A.
<2E-9
<1E-9
<1E-9
CxHy (45…100)
[mbar · l/(s · cm²)]
k.A.
k.A.
<5E-12
<6E-12
<6E-12
CxHy (101…200)
[mbar · l/(s · cm²)]
k.A.
k.A.
<6E-13
<4,6E-13
<4,6E-13
Nein
Nein
Optional
Optional
Ja
k.A.
k.A.
k.A.
k.A.
<0,1
ORK100
ORK10
ORK1
ORK1
ORK1
-
ISO7
ISO5
ISO5
ISO5
nein
ja
ja
ja
ja
„öl-und
fettfrei“
reinraumtauglich
vakuumtauglich
ausgas-&
partikelarm
Halbleiter-
anwendungen
[g /cm2]
RGA-Zertifikat
Schwermetalle
Partikel **
[at% der Oberfläche]
[Oberflächenreinheitsklasse]
Empfohlen für den Einsatz
in Reinraum Klasse ***
Reinraumtauglich (doppelt) verpackt
Kommentar
* Kohlenwasserstoffe
** PurityClass1–4:ORK1bzw.ORK0,1aufKundenwunsch
***ReinraumtauglichkeitbesseralsISO5aufKundenwunsch
VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH � In den Brückenäckern 3 � 07751 Großlöbichau � Germany
Tel. +49 3641 4275-0 � Fax +49 3641 4275-82 � [email protected] � www.vacom.de � www.vacom-shop.de
201605
VACOM® Purity Classes:

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