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工学研究科 Graduate School of Engineering
電気電子工学専攻
Course of Electrical and Electronic Engineering
光記録材料の開発と光工学への応用
Development of the optical recording material and its
applications
教授渋谷猛久
Prof. Takehisa SHIBUYA
Background and motivation
どのような研究課題に取り組むのか
光を研究の柱として、主に、１．ホログラフィ
ック干渉法を利用した高密度情報記録および光
学学デバイスの開発、２．光計測として偏光解析
法、３．プラズマ物理をベースとした（光学）薄
膜作製法の開発と応用ならびに膜成長過程の解
明を行っている。
どのような点が新しいか
カルコゲナイドガラスと貴金属の多層膜にお
けるフォトドーピングを利用し、ホログラフィッ
クな光情報記録、光学デバイスの開発を行ってい
る。
ウエットプロセスを用いて、多孔質構造を持つ
膜の表面に金属ナノ粒子を分散させ、これを用い
た高感度光センサーの開発を進めている。
ドライプロセスによる成膜においては、本学で
開発した酸素イオンガンを用いた IAD 法により
高性能の薄膜を作製する研究も進めている。
ホログラム作製
Keyword：ホログラフィック干渉、光学計測、プラズマ物理
Topics: Holographic interference, Optical sensing, and
Plasma physics
I am engaged in research on the method of preparing
high-performance optical thin films, development of
ion sources for preparation of such thin films, and
optical measurement. In preparing thin films, the
IAD method (vapor deposition of ions and electrons in
the substrate by applying them to it) is used. By
using this method whereby energy of applied ion
beams is controlled, it becomes possible to form thin
films of good quality without causing little or no
damage to the substrate.
In this case, surface
changes of a specimen can be measured precisely by
analyzing polarization of light, which reflects off the
surface of a specimen. Our research laboratory
proceeds with research on the initial process of thin
films prepared by the IAD method while measuring
the growth process of deposited films on a real-time
basis by using ellipsometer, which can be used in the
measuring environment such as vacuum and plasma
irrespective of the ambiance around the specimen.
Publication
T. Shibuya, Materials for Optical Thin Films’, Optical
Materials and Applications, CRC press, Chap.6, P199,
(2013)
M. Wakaki, K. Kudo, and T. Shibuya, Physical
Properties and Data of Optical Materials, CRC press,
(2007)
SERS 用光センサー
◆リンクページ(Link)：http://www.u-tokai.ac.jp/academics/graduate/engineering/
http://www.u-tokai.ac.jp/english/index.html
◆電子メール（address）：shibuya＠tokai.ac.jp
フォトドーピングプロセ

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