カタログ：Anric ATOzone

Anric Technologies社製オゾン発生機
ATOzone
O 3 %vsO 2 Flow
O3 Concentration (%w)
14
12
10
8
6
4
2
0
0
500
1000
1500
2000
2500
3000
3500
O2 Flow
オゾン発生機 Model: ATOzone ALDやCVD用プロセスガスとして高濃度オゾンを供給生成方式：コロナプラズマ放電流量範囲：　Max. 3000sccm オゾン濃度：　12wt%@250sccm, 6wt%@2500sccm 冷却方式：空冷寸法： 26.1cm x 19cm x 50.8cm 重量： 6.8Kg 電源： 100V, 2.4A,、50/60Hz　（トランス使用）その他：オゾン分解ユニット付き輸入総代理店： ALDジャパン株式会社〒183-‐0056 東京都府中市寿町1-‐3-‐10-‐401 Phone&Fax: 042-‐360-‐3152 E-‐mail: [email protected] www.aldjapan.com

Download Report