【施設共用募集対象装置の設備仕様】 No. 1 2 設備・装置の種類 装置の概要・条件 マイクロトロン加速器施設 電子ビーム加速器 エネルギー:150 MeV パルス幅:10 ps(FWHM) 電荷量:~50 pC エミッタンス:6πmm mrad 繰り返し:10 Hz X線レーザー実験装置 プラズマ軟X線レーザー 波長:13.9nmのみ パルスエネルギー:~1μJ パルス幅:約10ps 繰り返し:0.1Hz(最大) 担当者・連絡先 小瀧 秀行 TEL: 0774-71-3381 (木津) 実験棟 C101号室 長谷川 登 TEL: 0774-71-3345 (木津) 実験棟 C104号室 村上 洋 TEL: 0774-71-3368 (木津) 実験棟 C202-1号室 フェムト秒レーザー(CLARK社:CPA10) 波長:800nm パルスエネルギー:5mJ(最大) パルス幅:約100fs 繰り返し:10Hz 3 フェムト秒レーザーシステム(CPA10) 非線形波長変換システム 70μJ@266nm、500 μJ@400 nm (パルスエネルギー@波長) フェムト秒過渡吸収分光システム 観測波長域450-750 nm 備考 フェムト秒レーザー(CLARK社:CPA1000) 波長:800nm パルスエネルギー:0.4mJ(最大) パルス幅:約150fs 繰り返し:1kHz 4 フェムト秒レーザーシステム(CPA1000) 時間分解蛍光分光システム 1)up-conversion法(分解能:150fs) 2)時間相関単一光子計数法 (分解能:数百ps) 及びストリークカメラ (分解能:数十ps) 村上 洋 TEL: 0774-71-3368 (木津) 実験棟 C222号室 テラヘルツ時間領域分光システム ・(波長:数cm-1から百cm-1程度) 5 6 試料調製・分析機器 1. 紫外・可視・近赤外分光光度計 (SHIMADZU:UV-3101PC) 測定温度:100K~室温 2. 紫外線・可視蛍光分光計 (HITACHI:F-2500) 測定温度:100K~室温 3. 真空グローブボックス 4. スピンコーター(薄膜形成器) J-KAREN(高強度場生成T3) レーザー装置 高出力・超短パルスレーザー 1) パワーアンプモード 中心波長:810nm パルスエネルギー:1J パルス幅:30fs 繰り返し:10Hz(最大) (1Hz、シングルショットも可能) 2) ブースターアンプモード(J-KAREN-P) 中心波長:810nm パルスエネルギー:~30J(最大) パルス幅:30fs 繰り返し:10秒/shot(最大) (シングルショットも可能) 村上 洋 TEL: 0774-71-3368 (木津) 実験棟 C220号室 金沢 修平 TEL: 0774-71-3385 (木津) 実験棟 C103号室 7 8 kHzチタンサファイアレーザー X線回折装置 高繰り返しレーザー 波長:800nm パルスエネルギー:1mJ パルス幅:60fs 繰り返し:1kHz X線回折装置(リガク:SLX2000) 1) ターゲット:Cu (真空封止型(最大3kW)) 2) 高精度ゴニオメータ搭載 3) 小角X線散乱測定による多層膜等の薄膜評価 4) 各種解析ソフト搭載(GXRR等) 板倉 隆二 TEL: 0774-71-3489 (木津) 実験棟 C102号室 今園 孝志 TEL: 0774-71-3372 (木津) 実験棟 C128号室 成膜装置(㈱大阪真空) 1) ターゲット数:4元(5インチ角) 2) 成膜プロセス: シーケンサによる自動成膜(手動も可) 3) 膜厚制御法: シャッターによる時間制御(分解能0.1s) 4) 基板: ø50mm × 12mmt(最大)、2個、自公転式 9 10 11 軟X線平面結像型回折格子評価装置 電子衝突型軟X線源による平面結像型回析格子の評価装置 1) 回折格子の溝本数:1200、2400本/mm 2) 光源:B、C、Mg、Al、Si、Pt、W等の特性X線 3) 検出器:CCD ナノ秒レーザー照射装置 YAGレーザー(コンティニアム社) 波長:1064nm パルスエネルギー:1J パルス幅:5~9ns 繰り返し:20Hz QUADRA-Tレーザーシステム QUADRA-Tレーザーシステム 波長:1030nm パルスエネルギー:10mJ パルス幅:1ps 繰り返し:1kHz 今園 孝志 TEL: 0774-71-3372 圓山 桃子 TEL: 0774-71-3344 越智 義浩 TEL: 0774-71-3350 (木津) 実験棟 C127号室 (木津) 実験棟 C203号室 (木津) 実験棟 C102号室
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