２００８年４月
日本フィジテック
GENTLE MILL IV5 仕様書
《低エネルギーイオンソース》
¥
¥
¥
¥
¥
イオン銃
加速電圧
イオンビーム電流
イオンビーム電流密度
ビーム径（FWHM）
冷陰極式
100V～2kV
MAX 90µA
10mA/cm2
*
¥ レート（Ｓｉ、入射角：30°）
750〜1200µm
2.5µm/h 500V
28µm/h 2kV
《試料ステージ》
¥
¥
¥
¥
¥
¥
試料サイズ
試料回転機能
試料反復機能
試料反転機能
ビーム入射角度
試料出し入れ
3mmΦメッシュ & FIB各種メッシュ
スピード可変
0~120°、スピード可変
180°反転（表・裏）
0~45°
ロードロックシステム
《制御系》
¥ ビルトインＰＣ
¥ 専用制御ソフトウェア
Windows XP
Gentle Mill Control Software (Gemics)®　ver.4
（１）　イオンソース操作設定：手動
（２）　真空システム制御
《観察系》
¥ ＣＣＤカメラ
×60　固定CCDカメラ
《真空系》
¥ 真空ポンプ
¥ 真空計
¥ 到達真空度
ダイヤフラムポンプ（粗引き：外置き）、ターボ分子ポンプ
全圧計 （ピラニ、ペニング）
5x10-6Torr以下
《寸法・重量》
¥ 寸法
¥ 重量
520(W)×720(D)×650(H)mm
約60kg
《ユーティリティ》
¥ 温度
¥ 湿度
¥ 電源
¥ Arガス
15℃~25℃
60％　ＲＨ以下
単相ＡＣ100V、3A（3Pコンセント）、50/60Ｈｚ
※コード長：　2m以内
純度：99.999％
絶対圧力：0.13-0.17MPa
※二次圧：0.1～0.5MPaのレギュレータをご準備願います。
継手：スエジロック（外径6mm）
装置側接続：スエジロック（外径6mm）
《インターロック》
¥
¥
¥
¥
停電時装置は自動停止します。通電後は真空系のみ自動排気作業を行います。
高圧（～2kV）真空度5×10－4Torr以下にならなければ高圧が入りません。
装置内温度冷却水不足等により装置内温度が40℃以上になった場合、警告ブザーがなります。
警報システム
ブザー式の警報　（冷却水システム）
* 検収対象外項目
以上