SPEZIELLE MATERIALIEN FÜR DIE ELEKTRONIK: NANOKOMPOSITE UND KERAMIKEN Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS Dr. Thomas Hoyer Dr. Stefan Barth www.ikts.fraunhofer.de © Fraunhofer Stand: Oktober 2014 Erfurt-Südost DDR-Mikroelektronikstandort Planarisierungsschichten 1990 © Fraunhofer Sol-Gel-Chemie zur Herstellung von Spin-On-Glass (aufgeschleuderte Planarisierungsschichten) Hydrolyse und Kondensation Tetraethoxysilan Hydrolyse und Kondensation Dimethyldiethoxysilan © Fraunhofer Sol-Gel-Chemie zur Herstellung von Spin-On-Glass (aufgeschleuderte Planarisierungsschichten) rein anorganisch: dickere Schichten reißen © Fraunhofer Sol-Gel-Chemie zur Herstellung von Nanokompositschichten: Vielfalt der Monomere © Fraunhofer Die Rohstoffe sind flüssig ... die Produkte auch © Fraunhofer Nasschemische Beschichtungstechniken © Fraunhofer Kratzschutzbeschichtung für Kunststoffe und (weiche) Metalle inoCOAT HC Primerfreie Beschichtungen auf unterschiedlichen Kunststoffen PMMA-Oberfläche mit (links) und ohne (rechts) Nanokompositbeschichtung nach Stahlwolle-Kratztest © Fraunhofer Beschichtungen für Betonwerksteine und Natursteine 11 µm 30 µm reaktiv mit Stein verbunden diffusionsoffen © Fraunhofer fleckresistent Projekt Terrazzo, gefördert durch BMWI, Reg.-Nr. 309/01 Korrosionsschutz für ... ... Aluminium ... PTC-Keramik ... Gold & Silber © Fraunhofer ... Kupfer Korrosionsschutz für Aluminium beschichtet + Korr.Test unbeschichtet unbeschichtet + Korr.Test Nanokompositbeschichtete Aluminiumoberfläche nach Korrosionstest (80 °C, 7 d, NaCl-Lsg., pH 8,5) © Fraunhofer (60 °C, 3 d, NaCl-Lsg., pH 3,3) Korrosionsschutz für Gold & Silber Auf Leiterplatten können, Gold, Silber, Kupfer ... vorkommen. 26 500 Zyklen T-Schock -40 ... +150 °C Korrosionsschutz vor allem gegen schwefelhaltige organische Verbindungen © Fraunhofer Für Edelstahl Antihaftschichten bis 300 °C Problem: PTFE zersetzt sich Randw inkel (Wasser) in ° nach 48 h Temperung bei 350 °C oberhalb 260 °C Sol-Generation 0 © Fraunhofer 50 150 100 1 2000 2 2003 3 2007 4 2009 Für Edelstahl: © Fraunhofer Anlaufschutzschichten bis 450 °C Korrosionsschutz für Kupfer Oxidationsschutz für Kupfer 16 h , 250 °C beschichtet unbeschichtet nicht gegen Wasser beständig © Fraunhofer gegen Wasser beständig Das Fraunhofer IKTS im Profil Aktuelle Forschungsprojekte © Fraunhofer Atmosphärisches Plasmaspritzen - Verfahren und Materialien 22 – 45 µm Vers chleißs chutz: NiCrBSi, Stellite Cr2C3, WC/Co, WC/CrC/Ni, Cr2O3, Al2O3 biom edizinis che S chichten: Ti, Hydroxylapatit Form körperhers tellung: Al2O3, Cr2O3 Korros ions s chutz: Al, Zn Antihaft: Al2O3/TiO2, Al2TiO5 © Fraunhofer Wärm ebarrieren: ZrO2/CaO, ZrO2/Y2O3, ZrO2/MgO el. Is olation: Al2O3 PLASMAGEL = Plasmaspritzschicht + Nanokompositversiegelung Oxide, Carbide anorganisch-organische Hybridpolymere, Metalle ggf. mit Nanopartikeln Nanokompositversiegelung durch atmosphärisches Plasmaspritzen abgeschiedene, poröse Schicht Substrat z. B. Stahl © Fraunhofer PLASMAGEL Anwendungen Fadenführer: Verschleißschutz + Antihafteffekt Chirurgische Instrumente: elektrische Isolation + Antihafteffekt+ Verschleißschutz Maschinenteile: elektrische Isolation + Verschleißschutz + Korrosionsbeständigkeit Transportwalzen: Verschleißschutz + Antihafteffekt © Fraunhofer
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