Position Gerät Hersteller Typ Stückzahl 1

Position
Gerät
Hersteller
Typ
Stückzahl
1
Turbovakuumpumpe
BOC Edwards
EXT70
1
2
Turbovakuumpumpe
BOC Edwards
EXT255HI
1
3
Turbovakuumpumpe
BOC Edwards
StD Exch EXT255HI
DN100
1
4
Turbovakuumpumpe
BOC Edwards
EXT255H ISO100
1
5
Versorgungseinheit zur
Turbovakuumpumpe
Edwards
EXC 100 Turbo Pump
Controller, D39622000
4
6
ICP Generator
Seren
I2000
3
7
mass flow controller
Tylan / Millipore
FC-260
7
8
mass flow controller
Tylan / Millipore
FC-261
3
9
Programmable Logic Controller
Mitsubishi
Melsec FX-48MR
3
10
Programmable Logic Controller
Mitsubishi
Melsec FX-48ET
3
11
Programmable Logic Controller
Mitsubishi
FX-2DA
18
12
Programmable Logic Controller
Mitsubishi
FX-4AD
3
13
Programmable Logic Controller
Mitsubishi
FX-1PG
4
14
Hochspannungsnetzteil
Applied Kilovolts HP5N/124
2
15
Hochspannungsnetzteil
Applied Kilovolts HP5N/93
1
16
Hochspannungsnetzteil
Applied Kilovolts HP2*5P
2
17
Hochspannungsnetzteil
Applied Kilovolts HPIN/123
2
18
Hochspannungsnetzteil
Applied Kilovolts KI/37
2
19
Netzteil
Lambda
Alpha 400W
1
20
Netzteil
Weir Lambda
HSS 100
5
21
Netzteil
Weir Lambda
SHS 100/24
3
22
Netzteil
Fox Industries
Ltd.
F5211/1
1

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