Benutzer-handbuch

Benutzer-handbuch
CEM
Flüssigkeitsdosiersystem
mit geregelter Verdampfung
Doc. no.: 9.19.010I Date: 08-06-2015
ACHTUNG
Es wird empfohlen, vorliegendes Benutzer-Handbuch vor dem Einbau
und vor der Inbetriebnahme des Produktes sorgfältig zu lesen.
Die nichtbeachtung der Anleitung kann Personenschäden
und/oder Beschädigungen der Anlage zur Folge haben.
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9.19.010
BRONKHORST HIGH-TECH
Auch wenn die Informationen und Inhalte in diesem Manual nach
bestem technischen Wissen und Gewissen erstellt worden sind,
so können wir keine Verantwortung für Inhalte,
Missverständnisse, Fehler, Ungenauigkeiten der Angaben oder
ähnliches übernehmen. Der Verwendungszweck dieser
Anleitung hat rein informativen Zweck und die Inhalte können
ohne Ankündigung jederzeit geändert werden.
Bronkhorst HIGH-TECH B.V.
Juli 2011
Garantiebedingungen
Die Garantie der Produkte von Bronkhorst High-Tech BV
bezieht sich auf den bestimmungsgemäßen Gebrauch und
auf Material- und Verarbeitungsfehler. Die Garantiezeit
beträgt 36 Monate – beginnend vom Versanddatum des
Werks. Voraussetzung ist der Betrieb innerhalb der
bestellten und bestätigten Spezifikationen sowie dem
Einhalten der Anwendungs- und Installationsinstruktionen
aus dem Betriebshandbuch. Schäden bedingt durch
physikalische Einflüsse oder Kontamination sind
ausgeschlossen.Geräte, die nicht einwandfrei arbeiten,
können während der Garantiefrist kostenlos repariert oder
ausgetauscht werden. Für Reparaturen gilt in der Regel
eine Garantiefrist von einem Jahr, es sei denn, die restliche
Garantiefrist ist länger. Es gilt also immer die für den
Kunden günstigere Frist. Siehe auch Paragraph 9 von die
Allgemeine Lieferbedingungen.
Die Garantie gilt für alle offenen und versteckten Mängel,
Zufallsfehler und nicht bestimmbare Ursachen.
Ausgeschlossen sind hingegen alle Störungen und
Schäden, die vom Verwender verursacht wurden, wie z.B.
Kontamination, fehlerhafter elektrischer Anschluß,
mechanische Beschädigungen, usw.
Für die Wiederherstellung von Geräten, die zur
Garantiereparatur eingesandt wurden, bei denen ein
Garantieanspruch aber nicht oder nur teilweise besteht,
werden die Reparaturkosten entsprechend in Rechnung
gestellt.
Bronkhorst HIGH-TECH B.V. trägt die Versandkosten für
ausgehende Sendungen mit Geräten und Teilen, die
ausschließlich Garantieleistungen darstellen, wenn nichts
anderes im voraus vereinbart wurde.
Wenn jedoch die Anlieferung bei Bronkhorst HIGH-TECH
B.V. unfrei erfolgt war, werden die Kosten dafür den
Reparaturkosten zugeschlagen. Import- und/oder
Exportabgaben sowie Kosten Dritter trägt der Kunde.
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BRONKHORST HIGH-TECH
Bedienungsanleitung in Kurzform
Bevor Sie Ihr CEM-System installieren, lesen Sie bitte das
Typenschild und prüfen Sie:
*
*
*
*
*
Meßbereich
zu regelndes / zu verdampfendes Fluid
Vor- und Hinterdruck
Ausgangssignale
Heizungstemperatur
Beachten Sie den roten Aufkleber und versichern Sie sich,
daß der Testdruck mit den normalen Sicherheitsfaktoren für
Ihre Anwendung übereinstimmt.
Überprüfen Sie, ob das Rohrsystem sauber ist. Für
absolute Sauberkeit müssen immer Filter installiert sein, um
einen fremdkörperfreien Flüssigkeitsstrom sicherzustellen.
Installieren Sie das CEM-System und befestigen Sie die
Anschlüsse gemäß Herstelleranweisung.
Bitte Überprüfen Sie immer das System nach
Undichtigkeiten bevor es mit Mediumsdruck beaufschlagt
wird. Dies gilt besonders, wenn toxische, gefährliche
Medien verwendet werden.
In Systemen mit korrosiven oder reaktiven Fluids ist das
Spülen mit einem Inertgas bevor Gebrauch absolut
notwendig. Nach Gebrauch ist vollständiges Spülen auch
erforderlich bevor das System der Luft ausgesetzt wird.
Nach dem Einschalten der Spannungsversorgung benötigt
das Gerät eine Aufwärm- und Stabilisierungszeit von ca. 30
Minuten. Dies muß ohne Flüssigkeitsstrom vorgenommen
werden.
Nun ist Ihr CEM-System betriebsbereit.
Versichern Sie sich, daß Ihr Flüssigkeitssystem frei von
Gasblasen ist. Falls notwendig, entfernen Sie zur Entlüftung
die Entlüftungsschraube auf der Oberseite des CEMRegelventils.
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9.19.010
BRONKHORST HIGH-TECH
INHALTSVERZEICHNIS
1
Einführung
1.1
Allgemeine Beschreibung ................................................................................... Seite 7
1.2..... Funktionsweise ................................................................................................... Seite 7
1.3
CEM-Aufbau ....................................................................................................... Seite 7
2
Installierung
2.1
2.2
2.3
2.4
2.5
2.6
2.7
2.8
2.9
2.10
2.11
2.12
Eingang der Sendung ......................................................................................... Seite
Rücksendung ...................................................................................................... Seite
Service ................................................................................................................ Seite
Einbaulage .......................................................................................................... Seite
Einfüllen der Flüssigkeit ..................................................................................... Seite
In-Line-Filter ....................................................................................................... Seite
Flüssigkeitsanschlüsse ....................................................................................... Seite
Elektrische Anschlüsse....................................................................................... Seite
Sicherheitshinweise ............................................................................................ Seite
Betriebsdruck ...................................................................................................... Seite
Reinigung des Systems ...................................................................................... Seite
Dichtungen ......................................................................................................... Seite
3
Betrieb
3.1
3.2
3.3
Allgemein ............................................................................................................ Seite 10
Spannungsversorgung und Aufwärmen ............................................................. Seite 10
Starten / Ausschalten ......................................................................................... Seite 10
4
Kabel
4.1
EMC und Kabel .................................................................................................. Seite 12
8
8
8
8
8
8
9
9
9
9
9
9
Anhang
Empfehlungen für die Anwendung des DLI (CEM) Systems
von Bronkhorst High-Tech
A. Vakuum-System
B. Überdruck-System
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BRONKHORST HIGH-TECH
Seite 6
9.19.010
BRONKHORST HIGH-TECH
1
Einführung
1.1
Allgemeines
Mit dem CEM-System von Bronkhorst High-Tech können
Massendurchflußregelungen von Dämpfen und Gemischen, die bis zu
1000 g/h Dampf enthalten, durchgeführt werden.
Das komplette System ist eine Kombination aus Mischventil, Heizung,
Flüssigkeitsmesser mit Regelfunktion und Massendurchflußregler für
das Trägergas. Der Flüssigkeitsfluß durch den Flüssigkeitsmesser wird
durch das Mischventil geregelt. Ein vollständiges System beinhaltet
außerdem eine Auswerte-/Regeleinheit mit Spannungsversorgung für
den Betrieb der verschiedenen Geräte des CEM-Systems.
1.2
Funktionsweise
Die Abkürzung „CEM“ steht für:
„C“ die Regelung des Flusses einer Gasmischung, eines Gases, einer Flüssigkeit oder
Flüssigkeits-/Gasmischung,
„E“ die Verdampfung des Flusses einer Flüssigkeits-/Gasmischung durch eine
temperaturgeregelte Heizung,
„M“ die Mischung eines Gases und einer Flüssigkeit (Dampf).
Bei Raumtemperatur wird die Flüssigkeit, z.B. Wasser oder TEOS, aus einem Vorratsbehälter mit Inertgas-Polster
oder einer Membrane abgezogen und von einem Massendurchflußmesser für Flüssigkeiten der Modellreihen µFLOW* oder LIQUI-FLOW*gemessen. Die Regelung des Durchflusses auf den Sollwert erfolgt durch ein Regelventil,
das ein integrierter Bestandteil des „CEM“-Systems ist.
Ein von einem Massendurchflußregler* geregeltes Trägergas wird verwendet, um den Verdampfungsprozess als
Mischkomponente anzuregen und außerdem, um den Dampf weiterzuleiten.
Der Vorgang zeichnet sich durch hohe Reproduzierbarkeit und Genauigkeit aus.
Die völlige Verdampfung der Flüssigkeit erfolgt im Verdampfer.
* Bitte beachten Sie die entsprechenden Bedienungsanleitungen für diese Geräte.
1.3
CEM-Aufbau
Das „CEM“-System besteht aus drei verschiedenen Teilen; einem
Regelventil, einem Mischgerät und einem Wärmetauscher, in dem der
Flüssigkeitsmischung zur Verdampfung und zur Verhinderung von
Kondensation Wärme zugefügt wird. Die Temperatur des
Wärmetauschers wird durch einen Temperaturregler geregelt, der in der
Auswerte- und Regeleinheit enthalten ist.
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BRONKHORST HIGH-TECH
2
INSTALLATION
2.1
Eingang, Auspacken, Kontrolle der Sendung
Verpackung auf äußere, vom Transport herrührende Schäden untersuchen.
Sind solche vorhanden, muß das Transportunternehmen verständigt werden, um diese zu begutachten. Gleichzeitig
sollte der Lieferant verständigt werden.
Paket mit Lieferschein und Geräten vorsichtig auspacken. Den Inhalt anhand des Lieferschein auf Vollständigkeit
und auf evtl. Schäden kontrollieren. Kleinteile nicht mit dem Verpackungsmaterial wegwerfen.
2.2
Rücksendungen
Sofern Sie Geräte zurücksenden, teilen Sie in einem Begleitschreiben mit, was Sie zu beanstanden haben.
Bitte teilen Sie dabei unbedingt mit, ob mit dem Gerät giftige oder gefährliche Fluids gemessen wurden. Ist dies der
Fall, muß das Gerät vorher vom Anwender sachkundig und sorgfältig gereinigt werden.
Verpacken Sie das Gerät sorgfältig, wenn möglich in der Originalverpackung; es muß in einer Plastikhülle
verschlossen sein.
Kontaminierte Geräte müssen mit einer vollständig ausgefüllten „Erklärung über die Art der Kontaminierung“
versandt werden, sofern es nicht möglich ist, diese vorher zu reinigen. Kontaminierte Geräte ohne diese Erklärung
werden nicht angenommen.
Dies ist unbedingt notwendig, um die Gesundheit unserer Mitarbeiter in der Serviceabteilung zu schützen.
Wichtig:
Notieren Sie auf dem Paket deutlich die Verzollungskundennummer von Bronkhorst High-Tech B.V.:
NL801989978B01
2.3
Service
Wenn die Geräte nicht sachgemäß gewartet werden, muß mit Gefahr für das Bedienungspersonal und Schäden an
den Geräten gerechnet werden. Es ist daher wichtig, daß die Wartung von ausgebildetem und qualifiziertem
Servicepersonal ausgeführt wird.
Nehmen Sie ggf. unseren Werksservice in Anspruch.
2.4
Einbaulage
Das CEM-System sollte in vertikaler Position montiert werden, wobei das Regelventil nach oben und der
Dampfausgang nach unten ausgerichtet sein muß. Das System sollte nicht in der Nähe einer starken Wärmequelle
installiert werden und der die Stelle muß frei von mechanischen Erschütterungen bzw. Vibrationen sein.
2.5
Einfüllen der Flüssigkeit
Mit dem Spülanschluß kann Luft aus dem Flüssigkeitssystem entfernt werden. Falls erforderlich, entfernen Sie die
Luft aus dem Ventil und dem Flüssigkeitsmesser mittels Vakuum, bevor Sie die Flüssigkeit einfüllen.
2.6
In-Line-Filter
Obwohl Flüssigkeiten und Verrohrung absolut schmutzfrei sein müssen, empfiehlt sich der Einbau eines In-LineFilters vor dem Meßgerät.
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BRONKHORST HIGH-TECH
2.7
Fluidanschlüsse
Beachten Sie beim Anschluß des Flüssigkeitsmessers die entsprechende Bedienungsanleitung.
Der Ausgang dieses Meßgerätes sollte am Flüssigkeitseingangsport des CEM-Ventils angeschlossen werden. Das
CEM-Ventil wird vom Reglerteil des Flüssigkeitsmessers geregelt. Elektrische Anschlüsse müssen entsprechend der
Kundensystembeschreibung ausgeführt werden.
Der Ausgang des Gasflußreglers muß am Gaseingangsport des CEM-Ventils angeschlossen werden.
Der Dampfauslaß des CEM sollte direkt an den Prozess angeschlossen sein. Die Temperatur in diesem Rohr sollte
höher sein als in der Heizung, um eine Kondensation des Dampfes in dieser Rohrleitung zu verhindern. Vermeiden
Sie Kältebrücken am Auslaß.
Anmerkung:
Überprüfen Sie das System bevor es mit Mediumsdruck beaufschlagt wird.
2.8
Elektrische Anschlüsse
Bronkhorst High-Tech B.V. empfiehlt die Verwendung ihrer Standardkabel, die mit dem System zusammen getestet
wurden. Diese Kabel haben die richtigen Anschlüsse. Falls lose Enden verwendet werden, werden diese markiert,
um ein falsches Anschließen zu verhindern.
2.9
Vorsichtsmaßnahmen
Jedes System wird geprüft mit mindestens 1,5-fachem Betriebsdruck unter den vom Kunden angegebenen
Betriebsbedingungen und mit einem Mindestdruck von 8 bar.
Dieser Testdruck wird auf dem CEM-Ventil auf einem roten Aufkleber angegeben.
Prüfen Sie den Testdruck, bevor Sie das Gerät installieren.
Wenn der Aufkleber nicht vorhanden ist oder der Testdruck nicht richtig ist, sollte das Gerät nicht installiert, sondern
ans Werk zurückgesandt werden.
Jedes Gerät ist mit mindestens 210-9 mbar l/s Helium nach außen leckgetestet.
2.10
Versorgungsdruck
Bevor die elektrischen Anschlüsse hergestellt sind, darf das Gerät nicht unter Druck gesetzt werden. Wenn Sie dem
Gerät Druck zuführen, achten Sie darauf, Druckstöße im System zu vermeiden, und erhöhen Sie den Druck
stufenweise. Versichern Sie sich, daß dabei alle Sollwerte auf 0 sind.
2.11
Reinigung des Systems
Falls korrosive oder explosive Fluids verwendet werden, ist das Spülen mit einem Inertgas absolut notwendig, denn
wenn die Rohre der Luft ausgesetzt werden, entsteht eine chemische Reaktion mit Luft oder Luftfeuchte, die zum
Korrodieren oder Verschmutzen des Systems führt.
Vollständiges Spülen ist auch erforderlich, um derartige Fluids zu entfernen, bevor das System der Luft ausgesetzt
wird. Das System sollte nicht mit Luft in Berührung kommen, wenn mit solchen korrosiven Fluids gearbeitet wird.
Kreislaufspülung und Evakuierung sind zu bevorzugen.
2.12
Dichtungen
Bronkhorst High-Tech hat eine Liste beständiger Dichtungswerkstoffe aus verschiedenen Quellen
zusammengetragen.
Es handelt sich jedoch nur um eine allgemeine Empfehlung, deren Zuverlässigkeit erheblich von den
Betriebsbedingungen abhängt. Daher kann Bronkhorst High-Tech keine Haftung übernehmen für Schäden, die
durch Beschädigungen von Dichtungen entstehen. Der Kunde muß für seinen speziellen Anwendungsfall die
Zuverlässigkeit des verwendeten Dichtungsmaterials überprüfen. Versichern Sie sich daher, ob die Dichtungen für
den Prozess geeignet sind. Das CEM-System hat jedoch für alle Anschlüsse Metalldichtungen. Nur der Ventilkegel
ist eine elastomere Dichtung.
9.19.010
Seite 9
BRONKHORST HIGH-TECH
3
Betrieb
3.1
Allgemeines
Das „CEM“-System von Bronkhorst High-Tech ist so konstruiert, daß es die Anforderungen des Anwenders in
größtmöglicher Weise erfüllt. Um gute Ergebnisse zu erzielen, beachten Sie bitte die in den folgenden Abschnitten
aufgeführten Richtlinien.
3.2
Einschalten und Aufwärmen
Bevor Sie die Stromzufuhr einschalten, prüfen Sie, ob alle Anschlüsse entsprechend der Systembeschreibung
und/oder dem Anschlußplan durchgeführt sind. Prüfen Sie die Flüssigkeits- und Gasanschlüsse auf Dichtigkeit.
Wenn Sie nun die Stromzufuhr einschalten, warten Sie mindestens 30 Minuten, damit sich das Gerät thermisch
stabilisieren kann. Starten Sie den Flüssigkeitsregler, wie in der entsprechenden Bedienungsanleitung beschrieben.
Während der Aufwärmphase kann der Wärmetauscher auf Betriebstemperatur gebracht werden.
3.3
Anfahren / Herunterfahren
Versichern Sie sich, daß die Temperatur des Wärmetauschers den jeweiligen Prozessbedingungen entspricht.
Außerdem sollten alle Drücke die richtigen Werte aufweisen.
Danach muß der Trägergasfluß richtig eingestellt werden. Wenn dieser Fluß stabilisiert ist, kann der Flüssigkeitsfluß
im System gestartet werden, indem der Sollwert des Flüssigkeitsreglers langsam erhöht wird. Jetzt ist Ihr „CEM“System in Betrieb.
Beim Herunterfahren des Systems verfahren Sie in umgekehrter Reihenfolge.
Zuerst muß der Flüssigkeitsfluß und dann der Gasfluß gestoppt werden.
Anmerkung:
Versichern Sie sich, daß bei Flüssigkeitsfluß immer auch Gasfluß vorhanden ist.
Betriebsbeispiel:
Anwendung: Erzeugung von feuchtem Gas
Das CEM-System kann zur Erzeugung einer bestimmten Feuchte in einem Gasfluß verwendet werden. Der Gasfluß
wird durch den Gasflußregler F-201 geregelt und die Feuchte, das Wasser, wird durch den LIQUI-FLOW-Regler
geregelt. Das Wasser wird mit dem Gas vermischt und danach verdampft. Die Feuchte entspricht bei einer
bestimmten Temperatur einem bestimmten Verhältnis von Gas und Wasser; dieses Verhältnis kann mit dem
Durchflußregler festgelegt werden.
Beispiel:
Bei atmosphärischem Druck und bei 80°C sollen 2 ln/min Luft befeuchtet werden. Welcher Wasserfluß wird benötigt
für eine relative Feuchte von 50 % ?
Der Dampfdruck von Wasser bei 80°C ist 473.3 mbar (siehe Graphik).
Bei 100 % relativer Feuchte ist das Mol-Verhältnis zwischen Gas und Wasser:
473.3
 0.876
(1013.25  473.3)
Das Mol-Verhältnis: X 
Daher ist in einem Gasfluß von 2 ln/min der gesättigte Wassergehalt (100% r.F.):
 water  X   gas  0.876  2  1.752 [ln/min]
und in [g/h]
g
ln
1.752[ min
]  18[ mol ]  60[ min
]
h
ln
22.4[ mol
]
Seite 10
 83.5 [g/h]
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BRONKHORST HIGH-TECH
Bei 50 % relativer Feuchte ist das Mol-Verhältnis zwischen Gas und Wasser:
r.h.% 
e
 100
esat
Das Mol-Verhältnis: X 
e
50  473.3
 236.6 [mbar]
100
236.6
 0.305
(1013.25  236.6)
Daher ist in einem Gasfluß von 2 ln/min der gesättigte Wassergehalt (50% r.F.):
 water  X   gas  0.305  2  0.61 [ln/min]
und in [g/h]
ln
0.61[ min
]  18[ mol ]  60[ min
]
h
 29.41 [g/h]
ln
22.4[ mol ]
g
Ergebnis: bei 50% relativer Feuchte, dem Gasfluß ist 29.41 g/h.
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BRONKHORST HIGH-TECH
4
Kabel
Die Verwendung von Bronkhorst High-Tech Standardkabeln wird empfohlen.
4.1
EMC und Kabel
Alle in diesem Handbuch beschriebenen Geräte tragen das CE-Zeichen.
Sie müssen daher den EMC-Anforderungen für diese Ausrüstungen entsprechen.
Jedoch ist die Übereinstimmung mit den EMC-Anforderungen nur möglich unter Verwendung der richtigen
Kabel und Anschlüsse.
Um ein gutes EMC-Verhalten zu erreichen, sollten die Abschirmungen vorsichtig an beiden Kabelenden mit dem
Metallgehäuse des Anschlußsteckers verbunden werden.
Für Sensoren und Ventile beachten Sie bitte die Hinweise in den entsprechenden Handbüchern.
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ANHANG
Empfehlungen für die Anwendung des
CEM-Systems
von Bronkhorst High-Tech
Vakuum-System
Überdruck-System
Vakuum-System
Inertgassupply
Vacuum
2
7
8
1
6
4
Vacuum
9
LFM
MFC
Liquid
3
Carrier
Processgas
Gas
5
CEM
Heated
line
Liquid
Valve
10
Process
11
Vacuum
A) Füllen des Systems:
Vorgang:Vorgehensweise:
A1) Evakuieren der Vakuum-Rohrleitungen.
A2) Evakuieren aller Rohrleitungen
A3) Spülen der Rohrleitung zwischen
Inertgasquelle und Ventil 2
A4) Spülen der Rohrleitung zwischen Prozeß
Gasquelle und Gas MFC
A5) Evakuieren von Flüssigkeits dämpfen.
A6) Flüssigkeitsversorgung unter Druck setzen.
A7) Füllen von Flüssigkeit in das System(1).
A8) Optional: Entgasung des Mischventils
Vorgehensweise:
Pumpen starten
Schließen: 2, 3, 5, 10 und 9.
Inertgas an den Trägergaseinlaß anschließen.
Öffnen: 1, 4, 7, 11.
Sollwert für Gas- und Flüssigkeitsregelung setzen
(Regelventile 6 und 8 offen).
Längere Zeit pumpen.
Hinweis: wenn das System nicht völlig trocken ist, verfahren
Sie wie unter E3, E4 (E5) angegeben
Schließen: 4.
Öffnen Sie Ventil 2 kurz für einige Sekunden.
Geben Sie dem Flüssigkeitsmesser Sollwert 0
(6 schließt).
Öffnen Sie Ventil 9 kurz für einige Sekunden.
3 kurz öffnen und wieder schließen.
Schließen Sie 1, geben Sie der InertgasVersorgung den richtigen Druck. Öffnen Sie 2,
öffnen Sie 3 kurz.
Während des Füllens des System lassen
in das Trägergasrohr fließen.
Schließen Sie 7.
Öffnen Sie 5 kurz, lassen Sie das
Mischventil auffüllen.
Öffnen Sie 7. Um zu verhindern, daß zu viel Flüssigkeit
weggepumpt wird, eignet sich am besten ein Nadelventil.
A9) Das System ist nun betriebsbereit.
Anlage, Seite 3
B) Aufstart des Prozesses:
Vorgang:
B1) Einstellen der CEM-Heizung auf die richtige
Temperatur
B2) Starten des Gasflusses. (1)
B3) Starten des Flüssigkeitsflusses.
B4) Verbindung mit dem Prozeß.
C) Beenden des Prozesses
Vorgang:
C1) Prozeß abschließen.
C2) Flüssigkeitsfluß stoppen.
C3) Optional: Gasfluß stoppen. (1)
Vorgehensweise:
Geben Sie dem Temperaturregler einen Sollwert,
warten Sie, bis die Temperatur erreicht ist.
Öffnen Sie 9. Geben Sie dem Gas-MFC einen Sollwert..
Geben Sie dem Flüssigkeitsregler einen Sollwert, warten Sie
bis zur Stabilisierung.
Öffnen Sie 10, schließen Sie 11.
Vorgehensweise:
Öffnen Sie 11, schließen Sie 10.
Geben Sie dem Flüssigkeitsregler den Sollwert 0.
Geben Sie dem Gas-MFC den Sollwert 0.
D) Einstellung des Systems über Nacht:
Vorgang:
Vorgehensweise:
Schließen Sie 2, schließen Sie 5 und öffnen Sie 1 für einige
D1: Versorgungsdruck von Flüssigkeits-zufuhr
und Rohrleitungen nehmen.
D2) Das System wird nicht benutzt.
D3) Vor dem Start setzen Sie die
Flüssigkeitsversorgung unter Druck
D4) Das System ist betriebsbereit.
Sekunden.Nehmen Sie den Druck vor der Inertgasversorgung,
öffnen Sie 2.
Schließen Sie 3. Pumpen Sie vor allem die Rohrleitungen ab,
schließen Sie 2, öffnen Sie 1.
Schließen Sie 1 und öffnen Sie 2.
Öffnen Sie 3 und 5.
Verfahren Sie wie unter B).
E) Leeren und Spülen des Systems: (3,4)
Vorgang:
Vorgehensweise:
E1) Befolgen Sie die Anweisungen„Einstellung
des Systems über Nacht“ bis „Das System
wird nicht benutzt“.
E2) Spülen der Flüssigkeit aus den
Rohrleitungen
E3) Spülen der Rohre mit Inertgas.
E4) Evakuieren des Flüssigkeitssystems
E5) Optional: Mehrmalige Wiederholung der
letzten 2 Schritte.
1
2
3
4
Siehe D1 und D2.
Öffnen Sie 4 und 7.
Schließen Sie 1.
Öffnen Sie 2 für kurze Zeit.
Schließen Sie 2, öffnen Sie 1. (wiederholen).
Versichern Sie sich, daß bei Flüssigkeitsfluß immer auch Trägergasfluß vorhanden ist. Lassen Sie vorzugsweise
immer Gasfluß im Trägergasrohr, wenn das System mit Flüssigkeit befüllt wird.
Schließen Sie während des Vorgangs den Versorgungsdruck im Flüssigkeitsbehälter. Der Druckregler
der Inertgas-Versorgung kann die Stabilität des Flüssigkeitsreglers beeinflussen.
Bei explosiven oder aggressiven Flüssigkeiten lassen Sie vorsichtshalber Luft und Wasserdampf ab,
bevor Sie das System mit Flüssigkeit befüllen.
Bei der Verwendung von explosiven, aggressiven, giftigen oder leicht entflammbaren
Flüssigkeiten versichern Sie sich, bevor Sie das System öffnen, ob es vollständig gespült wurde
(vorzugweise mit Inert-Flüssigkeit, E3, E4, E5).
Hinweise:
- bei verunreinigten Flüssigkeiten muß ein Filter vor das Liqui-Flow-Gerät gesetzt werden.
- montieren Sie das CEM-System vertikal.
Anlage, Seite 4
Überdruck-System
Inertgassupply
Atmospheric / waste
2
7
8
6
4
9
LFM
Liquid
3
Carrier
Processgas
MFC
Gas
5
CEM
Heated
line
Liquid
Valve
10
Process
11
Atmospheric / waste
A) Befüllen des Systems:
Vorgang:
Vorgehensweise:
A1) Spülen aller Rohrleitungen.
Schließen: 3, 5 und 10.
Schließen Sie das Inertgas an den Trägergas-Einlaß an.
Öffnen: 2, 4, 7, 9 und 11.
Geben Sie dem Gasregler einen Sollwert,
das Regelventil 8 öffnet sich.
Geben Sie dem Flüssigkeitsregler einen Sollwert.
Spülen Sie für längere Zeit.
Schließen Sie 4, geben Sie der InertgasVersorgung den richtigen Druck.
Öffnen Sie 3..
Beim Befüllen des Systems muß Gasfluß im
Trägergasrohr sein.
Öffnen Sie kurz 5, befüllen Sie mit Mischventil 6.
Wenn keine Gasblasen mehr im System
vorhanden sind, schließen Sie 7.
A2) Unterdrucksetzen der
Flüssigkeitsversorgung.
A3) Befüllen des Systems mit Flüssigkeit. (1)
A4) Das System ist nun betriebsbereit.
1 Versichern Sie sich, daß bei Flüssigkeitsfluß immer auch Trägergasfluß vorhanden ist. Lassen Sie
immer Gasfluß im Trägergasrohr, wenn das System mit Flüssigkeit befüllt wird.
Anlage, Seite 5
B) Aufstart des Prozesses:
Vorgang:
B1) Einstellen der CEM-Heizung auf die richtige
Temperatur
B2) Starten des Gasflusses. (1)
B3) Starten des Flüssigkeitsflusses. (2)
B4) Verbindung mit dem Prozess.
C) Beenden des Prozesses:
Vorgang:
C1) Prozeßleitung absperren.
C2) Stoppen der Flüssigkeitszufuhr.
C3) Optional: Stoppen des Gasflusses.
D) Einstellen des Systems über Nacht:
Vorgang:
D1) Versorgungsdruck von Flüssigkeitszufuhr und
Rohrleitungen nehmen.
D2) Das System wird nicht benutzt.
D3) Vor dem Start setzen Sie die
Flüssigkeitsversorgung unter Druck
D4) Das System ist betriebsbereit.
Vorgehensweise:
Geben Sie dem Temperaturregler einen Sollwert,
warten Sie, bis sich die Temperatur stabilisiert hat
Geben Sie dem Gasregler einen Sollwert.
Geben Sie dem Flüssigkeitsregler
einen Sollwert, warten Sie bis zur Stabilisierung.
Öffnen Sie 10, schließen Sie 11.
Vorgehensweise:
Öffnen Sie 11, schließen Sie 10.
Geben Sie dem Flüssigkeitsregler den Sollwert 0.
Geben Sie dem Gasregler den Sollwert 0.
Vorgehensweise:
Schließen Sie 5.
Nehmen Sie den Druck von der Inertgas-versorgung.
Öffnen Sie 2.
Schließen Sie 3. Schließen Sie 2.
Öffnen Sie 2.
Öffnen Sie 3 und 5.
Verfahren Sie wie unter B).
E) Entleeren und Spülen des Systems: (3, 4)
Vorgang:
Vorgehensweise:
E1) Befolgen Sie die Anweisungen„Einstellung des
Systems über Nacht“bis „Das System wird
nicht benutzt“.
E2) Spülen der Flüssigkeit aus den Rohrleitungen.
E3) Spülen der Rohre mit Inertgas.
E4) Optional: Spülen mit Inert-Flüssigkeit.
Siehe D1 und D2.
Öffnen Sie 4 und 7, öffnen Sie 2
Spülen Sie längere Zeit.
Schließen Sie die Inertflüssigkeit an die InertgasVersorgung an.
Verfahren Sie wie unter E2.
E5) Optional: Mehrmaliges Ändern von E3 und E4.
1 Versichern Sie sich, daß bei Flüssigkeitsfluß immer auch Trägergasfluß vorhanden ist. Lassen Sie
immer Gasfluß im Trägergasrohr, wenn das System mit Flüssigkeit befüllt wird.
2 Schließen Sie während des Vorgangs den Versorgungsdruck im Flüssigkeitsbehälter. Der Druckregler
der Inertgas-Versorgung kann die Stabilität des Flüssigkeitsreglers beeinflussen.
3 Bei explosiven oder aggressiven Flüssigkeiten lassen Sie vorsichtshalber Luft und Wasserdampf ab,
bevor Sie das System mit Flüssigkeit befüllen.
4 Bei der Verwendung von explosiven, aggressiven, giftigen, toxischen oder leicht entflammbaren
Flüssigkeiten versichern Sie sich, bevor Sie das System öffnen, ob es vollständig gespült wurde
(vorzugsweise mit Inert-Flüssigkeit, E3, E4, E5).
Hinweise:
- Bei verunreinigten Flüssigkeiten muß ein Filter vor das Liqui-Flow-Gerät gesetzt werden.
- Montieren Sie das CEM-System vertikal.
Anlage, Seite 46

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