Spin Coater SM-200-Cab.

Spin Coater SM-200-Cab.
GERÄTE
Die Geräte der SAWATEC-Spin-Coater-Linie sind einfach zu bedienen und einfach in der Handhabung. Die Geräte sind sowohl als Cabinet-als auch als Tisch-Einlassversion erhältlich. Sie
sind für das Beschichten von Wafern bis zu 200mm und 150x150mm vorgesehen.
Die Spin-Coater von SAWATEC AG überzeugen durch hohe Uniformität und Wiederholbarkeit
verbunden mit einer einfachen Handhabung.
Für Pilotprojekte, Institute, Forschung und Entwicklung.
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LF-SM-200-Cab
Prozesstopf aus PETP für Wafer bis 200mm und 150x150mm.
RCCT System Round-Closed-Chamber-Technology oder OpenbowlProzesstechnology.
Hoch dynamischer AC Servo-Antrieb.
Substrat ladung: manuell
Max. Spinnspeed 6'000rpm (optional 10'000rpm)
Min. Spinnspeed 1 rpm
Rotationsstabilität +/-1rpm
Max. beschleunigung: 50'000rpm/s2; ohne Wafer (abhängig von Gewicht und
Grösse)
Max. Rotationszeit pro Segment: 9'999sec. mit 0,1 sec. Schritt
Für weitere Informationen kontaktieren Sie unseren Verkauf: [email protected]
Bilder können Standardgeräte mit Optionen zeigen.
Tel: +41 81 750 44 00
Fax:+41 81 750 44 01
[email protected]
www.sawatec.com
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SAWATEC AG
Eschagger 2
9468 Sax
Swiss
FUNKTIONEN:
SM-200-Cab.
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SM-200-BM
OPTIONEN
CHUCKS
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Kartuschendosiersystem, 50ml Glaskartusche CDS-50
Oberseiten-Randwaschung mit Pumpe SP-177
Zusätzliche Dispensleitung inkl. Pumpe
Fussschalter (Kabellänge 1.8m)
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Vakuum Chuck Bruchstücke
Vakuum Chuck 1” bis 3” Rund
Vakuum Chuck 100mm(4”) bis 150mm(6”)
Vakuum Chuck 100x100mm (4”x4”)
Vakuum Chuck 125x125mm (5”x5”)
Vakuum Chuck 150x150mm (6“x6“)
Weitere Chucks auf Anfrage
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240 VAC 50/60 Hz 15 A
Technisches vacuum, Schlauch Ø 6/4mm (-0,8bar)
Druckluft; Schlauch Ø6/4mm (6bar)
Exhaust-Anschluss Ø 76mm (40-60m3/h)
LEISTUNGEN
ANSCHLÜSSE
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SAWATEC AG
Eschagger 2
9468 Sax
Swiss
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Fax:+41 81 750 44 01
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www.sawatec.com
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Max. Spinnspeed 6'000rpm (optional 10'000rpm)
Min. Spinnspeed 1 rpm
Rotationsstabilität +/-1rpm
Max. beschleunigung: 50'000rpm/s2; ohne Wafer (abhängig von Gewicht und
Grösse)
Max. Rotationszeit pro Segment: 9'999sec. mit 0,1 sec. Schritt
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DESIGN
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Abmasse:
Gewicht:
850x750x980mm (LxBxH)
ca. 140 kg
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Gehäuse:
Rahmenplatte:
Prozessbowl:
Deckel:
Rostfreier Stahl elektropoliert
Aluminium eloxiert
PETP
Glas
top view
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ABMESSUNG
front view
HÄNDLER
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Eschagger 2
9468 Sax
Swiss
ANSICHTEN