Hoch präzise Kapazitätsmessung mit Mixed-Signal ASIC

!
"
#$
#
%
& '
&
(
)(&"&*
" +
"
! "
#
$"
' " (
!
.
&
%
(--
.
-
(
"
9
"
&
,
3
!
,
"
%
-
"
%
A"
B
"
%
3
-
"
"
!
,
E
%
F
*+
5
@;50 B
& GH5 @I HI; HI 55
% GH5 @I HI; HI 5@
* ,
,
J* ",
""",
,
,* ",
-
2
;
!
=
**
( -1
$
7
:
*
( 0-
)
,#
.
2
<!
(01
*+ ,
% /001000,
,
&!
2
.
)
,"
' " (
3
+
%
. 4"
.
56
/8 3
'
. "
7
,
%
2
/
&!
>?50 5@
*
,
0,< 6
>
2A *
- 5;,@
'7
C
:
,
;
50D000
.