静岡大学 電子工学研究所
極限デバイス研究部門 ナノシステム集積化分野（猪川研）
SOI MOSFET単一フォトン検出器
ゲート
捕獲された
ホール
nA
0.9
0.8
0.7
0
n+
p-
電子
チャネル
Id
捕獲された
4
1.4x10
1 ホール数
photons/s
104 (d)0
103
頻度
+
n+
室温動作、低ダーク・カウント、
フォトン数分解能を高いレベルで
実現する画期的な検出器
2
102
3
10
1
0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 s
0.8
0.9
1.0
ドレイン電流
Id (nA)
Current (nA)
IEEE Photonics Journal のレビュー記事で2011年のBreak Throughとして紹介
表面プラズモン（ＳＰ）アンテナ付きフォトダイオード
単一フォトン・イメージングデバイスの開発
ウイルスA
受容体A
B C
D
G
ギガピクセル・イメージセンサ
単一フォトン検出器を
10億ピクセル以上配列
→ディジタル銀塩フィルム
E
H
F
I
バイオ・イメージセンサ
表面プラズモンアンテナを搭載
→バイオ（屈折率）イメージング
問合先：静岡大・猪川 洋