スプレーコーター（立体面レジスト塗布装置）一「 1 マイクロマシン基薇に対応 DCllO 凹凸傾斜面に鹿厚均一塗布 DCシリーズスプレーコーター ・本装置はマイクロマシン（MEMS）および各種半導体研究用に開発さ れたスプレーコ一夕ーです。 ・さらに微細粒子化された新型スプレーノズルでサブストレート上の傾 斜面や溝、台形頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難で あった部分にも均一な膜を形成できます。 ・スピンナークラスの薄膜から重ね塗りによる超厚膜まで対応します。 また試料固定に吸着を使用しないためスルーホール基板にも対応し ます。 ・Clariant社AZ−P4000シリーズ、MicroChem社SUシリーズなどの超厚 膜レジストをはじめ、ベンゾシクロブテン樹月旨（BCB）、各種ポリマー等 に対応します。（希釈が必要となります） ・最小限の薬液でコーティングでき、スピンコーティングのような無駄が ありません。 ・ノズル移動型マルチパススキャン方式で大型試料にも対応します。 改良のため仕様t意匠は変更されることがあります 【特徴】 【仕様】 ◆新型スプレーノズル採用で従来より英幸夜粒子径が微細化。さら ◆形式 に高精度なコーティングが可能になりました。 ノズル移動・試料固定型スプレー方式 ◆対応試料サイズ 最大220mm角（回転はできません） ◆スプレー部至近にシリンジを配置し薬液管路での無駄も減りま ◆スプレー移動範囲縦横300mm した。 ◆スプレー移動速度10∼200mm／秒 ◆ヒーター内蔵試料台で100℃までの試料温度制御が可能です。 ◆薬液量制御方式 薬液エア圧送およびマイクロニードルによる ◆スプレーXY移動型になり本体が小型化しました。 ◆粒子径 ◆スプレーノズルの角度や高さが調整できます。 ◆ユーティリティ ◆スプレーブースはオールステンレス製。ブースドアが大型化し清 約5∼15〃m（使用流体によります） 1クリーンドライエア5kg／cni（≒0．5MPa）程度 掃も容易です。ドアは透明でスプレー状態を観察できます。 （空圧チューブ接続口￠8mm） ◆ブース内はダウンフローシステムです。 ◆タッチパネル式カラー液晶で分かり易く操作が簡単です。 2電源 AClOOV 1800W 3排気 1200∼2300リットル／分（電源50Hz時） ◆ノズル移動経路や重ね塗り回数などがプログラム可能。薬液圧 800∼2600リットル／分（電源60Hz時） 送量も操作パネルから設定できます。 接続ダクト径￠100mm ◆スプレー状態の事前確認ができるテスト噴霧機能付き。 ◆外形寸法・重量 1本体サイズ 950×620×620mm（HXWXD） 突起部を含まず L■1亡■ 2重量 100kg以下 ※改良のため予告なく仕様変更することがあります。 販売元 繭瑞相株式会社≡明 〒424−0825静岡県静岡市清水区松原町6−16 電話（0543）53−3271Fax（0543）52−1648 製造元 製品改良のためのご意見をお聞かせ下さい♪ ご連絡は下記まで‥・ 1・株式会社ナノテックwww・nanOteCh−inc・COヤ 他noJ¶e析eTbc加oJogyJnc■inro＠nanotech−inc．co．Jp 〒174−0041東京都板橋区舟渡3−5−8−201電話（03）3960−3171Fax（03）3960−3174
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