メ ン テ ナ ン ス 株式会社プラズマテック 東京都あきる野市瀬戸岡４２７−１ TEL:042-550-6192 FAX:042-550-6194 Mail:[email protected] 2004,3,30 Ver 1.01 目 次 1、概要 2、EB源本体 3、メンテナンス説明 4、組立時の注意事項 5、ﾌｨﾗﾒﾝﾄ切断・すり上がり 6、良くある質問 １ 概要 Electron-Beam源を安定に使用するために は、定期的なメンテナンスが必要です。 今回は、このメンテナンス手法について説 明します。 1-1 メンテナンスを行わないと ・ 異常放電の多発 ・ フィラメントの消耗時間の短縮 ・ 構成部品の劣化 ・ 安定な成膜ができない ・ 膜へのコンタミが多くなる 1-2 準備するもの 部品 １ 六角レンチ M4用、M3用 用途 部品脱着 ２ サンドペーパ ＃600以上 部品清浄 No. ３ ４ ５ ６ 布 アルコール ピンセット ドライヤ 部品清浄 部品清浄 フィラメント脱着 部品乾燥 ２ EB源本体 本体 高圧導入端子 ２-１ EB源本体分解図 第一ポールピース 第二ポールピース 磁性体 永久磁石 第三ポールピース シャント板 ２-２ フィラメント部アッセンブリ 碍子 アノード アース電位部 ウェーネルト フィラメント 高圧部 （加速電圧） アース電位部 ３ メンテナンス説明 3-1 清浄手順 3-2 碍子類の清浄 3-3 フィラメント押え部の清浄 3-4 ポールピース部の清浄 3-5 高圧導入端子の清浄 3-6 他アッセンブリの清浄 ３-1 清掃手順 サンドペーパ等で汚れ面を清浄 ↓ エアー等で細かいゴミを吹き飛ばす ↓ アルコール類で清浄 ↓ 高温炉等でガス出し 注意：ショットブラストは使用しないで下さい ３-2 碍子類の清掃 マスク 板碍子と他の部品の接触 面をマスキングして行う 上面と底面をマスキン グして行う ３-3 フィラメント押え部の清浄 フィラメント押え フィラメント取付部 溝部 ペーパ等で清浄する。 溝部はフィラメント取付時の位置精度を決めています ので十分に注意して行う事 ３-４ ポールピース部の清浄 A面 B面 C面 A面、B面、C面は各磁性体が磁気的に接触する場所です キズ等をつけない事 また、これらの部品は絶対変形させない事 ３-５ 高圧導入端子部の清浄 端子部 カバー B部 C部 A部 A部、B部、C部表面を清浄する A部：絶縁不良回避 B部：導通不良回避 C部：異常放電回避 ３-６ 他アッセンブリの清浄 ｶﾞﾝﾍﾞｰｽ部 ﾌｨﾗﾒﾝﾄ取付部 B面 ｱﾉｰﾄﾞ取付部 C面 A部 A部の円柱碍子 接触面はマスキ ングを行う B面は高圧接続 ブロックに接触 するためキズを つけないこと C面の板碍子 接触面はマス キングを行う ４ 組立時の注意事項 4-1 フィラメントの取付 4-2 板碍子の取付 4-3 ｱﾉｰﾄﾞ取付部の取付 4-4 取付後の寸法 4-5 各ﾎﾟｰﾙﾋﾟｰｽのﾁｪｯｸ 4-6 ｼｬﾝﾄ板のﾁｪｯｸ 4-7 その他 ４-1 フィラメントの取付向き アノード側に向く アノード フィラメント フィラメント押え フィラメントブロック フィラメント A面が前面になる事 ４-1-1 フィラメントの取付 フィラメントを 溝に合わせる フィラメントを 仮止めする フィラメントを ブロックで押 し上げ、ネジ を締める フィラメントの足 がフィラメント押 えの下端と合っ ていることを確 認し、ブロック をネジ止めする 右側も同様に 行う ４-1-2 ウェーネルト取付冶具の 使い方 フィラメント取付部Ｌとウェーネルトの隙間 （0.5mm）を一定にするために使用します。 引抜方向 ＊使い方＊ 正面から見て右側のフィラメント取付部ＲのＣ面部 にかぶせ、その上よりウェーネルトを取り付ける。 4-1-3 ｱﾉｰﾄﾞ取付部のチェック 赤線部隙間：0.5ｍｍ Right View 右側から見た場合、約 0.5ｍｍの隙間がｳｪｰﾈﾙ ﾄの間にあります。 Left View 左側から見た場合は、 隙間無くｳｪｰﾈﾙﾄが取付 く。 ４-1-4 アノード取付冶具の使い方 アノードとウェーネルトの隙間（1.5mm）を一定にす るために使用します。 挿入方向 ＊使い方＊ ウェーネルトの留めネジの方から挿入す る。 4-1-5 ﾁｪｯｸ① 1.5mm 0.5mm ﾌｨﾗﾒﾝﾄーｳｪｰﾈﾙﾄ間: 0.5mm ｳｪｰﾈﾙﾄーｱﾉｰﾄﾞ間 : 1.5mm 0.5mm 4-1-6 ﾁｪｯｸ② ①正面から見た場合、フィ ラメントが半分見える事。 ②ｱﾉｰﾄﾞに対して、ｳｪｰﾈﾙ ﾄが0.5mm上に配置されて いる事。 4-2 板碍子の取付 裏面部 表面部 赤○部に板碍子を当てながらネジを締め、ここが隙間無く 接触している事を確認して下さい。 4-3 ｱﾉｰﾄﾞ取付部の取付 左面を平らな所で合わせて、平行をとります。 （注：反対面は約0.5ｍｍ程段差になります） 4-4 取付後の寸法 アノード フィラメント ウェーネルト ４-5 各ポールピースのチェック A）左右対称に取付いている B)変形していない C)接触部に浮きがないか ポールピース ビーム軌道の安定化 ４-6 シャント板のチェック OK NG シャント板 本体 偏向ビームの安定化 隙間が無い事 ４-7 その他 カバー ＜カバー＞ A)表面導通が取れ ている事 B)アース電位になっ ている事 ビーム軌道の確保 5 ﾌｨﾗﾒﾝﾄの断線・すり上がり 5-1 正常なﾌｨﾗﾒﾝﾄの断線 5-2 ﾌｨﾗﾒﾝﾄの取付異常時の 断線例 5-3 ﾌｨﾗﾒﾝﾄの取付異常時の 変形例 5-1 正常なフィラメントの断線 消耗進化中 初期 40時間後 切断 ８６時間後 O2：6.5×10-3Pa 6000V-300mA 5-2 ﾌｨﾗﾒﾝﾄ取付異常時の断線例 ーーーー原因例）−−−− ①ﾌｨﾗﾒﾝﾄの接触不良によ る過電流 ②ﾌｨﾗﾒﾝﾄ・ｳｪｰﾈﾙﾄの接触 による局所加熱 ﾌｨﾗﾒﾝﾄ中央部からの断線 O2：1.2×10-2Pa ﾌｨﾗﾒﾝﾄ電流：44A 5-3 ﾌｨﾗﾒﾝﾄ取付異常時の変形例 正常 片側すり上がり（異常） ーーーー原因例）−−−−−− ①初期取付時からの変形締付 48時間使用後 ②締付不足 6 よくある質問 6-1 良くある質問 ① ビームの位置が時間と共に変動する。 ⇒ A) フィラメント取付の緩み B) ハースライナの導通が不安定 C) シャッタ板が汚れている D) 試料表面の抵抗値 6-2 良くある質問 ② ビームの位置がずれた ⇒ A) 各ポールピースがずれている B) シャント板がずれている C) フィラメント、アノード、ウェーネルト が正規に取り付いていない D) ビーム軌道近傍に障害がある 6-3 良くある質問 ③ アーキングが多い ⇒ A) ウェーネルト・アノード間の隙間が狭い B) フィラメント近傍の汚れ C) 各碍子部の汚れ D) 高電圧印加部の汚れ E) 真空度が悪い又は変動が激しい 終わりに 本日は有難うございました
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