GHGsプラズマ除害装置
LG4000
LG4000シリーズの特徴
ICP（誘導結合プラズマ）による高効率分解
低コスト除害、水消費がきわめて少ない。
450mm プロセスガスの除害にも対応
マルチステッププロセスに適した
高速マッチング
低ランニングコスト： ウォームアップ不要
⇒GHG使用時のみPlasma on
高効率：
ドライポンプパージN2導入前の高濃度GHGを分解
フットプリント=0、 軽量・コンパクト
・一体型：約27kg、400x415x255mm
・分割型：電源部21kg、 ソース部：17kg
LG4000
その他の効果
フォアライン配管へのSi系、
C系化合物の堆積防止効果
プロセスモジュール
- Etch, CVD Process
-Chamber Cleaning
ドライポンプ内へのSi系、
C系化合物の堆積防止および
クリーニング
TMP
LGの高効率運転
Process
ON
プロセス時のみ運転
ON
O2添加
ON
Utility(Pump) Room
(分解補助剤)
LG
Combustion
Heater
ON
ON
ON
LG
N2
パージ
ON
時間
LG4000は、プロセス時以外はパワーオフ
Cooling Water
2L/min~3L/min
Dry Pump
LGの使用例（設置例）
DP上流のフォアラインに設置します
Dry/Wet
スクラバ
プロセスガス除害例
PFC gases
Flow rate
Pressure
DRE
CF4
500 sccm
0.3 Torr
>97%
CHF3
800 sccm
0.3 Torr
>99.0%
CH2F2
80 sccm
0.5 Torr
>99.9%
C4F8
80 sccm
0.5 Torr
>99.9%
NF3
300 sccm
0.13 Torr
>99.9%
SF6
180sccm
0.4 Torr
>99.0%
※圧力はLG4000直近での測定値です。
※CH2F2, C4F8, NF3は上限ではなく実績値です。
LG4000の主な仕様
LG4000仕様
4000W
最大出力
発信周波数
2MHz
周波数マッチング方式
パワー制御
500W単位のデジタル設定、0~10Vのアナログ設定
外形寸法
重量
400ｘ412ｘ254mm、約30kg
電気
1φ200V、4.8kVA
冷却水
5~30℃、3.0L/min以上、
ρ>2500Ω/cm
継手1/4NPT
酸素流量
（分解補助材）
GHGガスの1~6倍 （ガス種による）
接続配管径
NW80（クロークランプタイプ）
消耗部品
Oリング、セラミックス管他
株式会社ランドマークテクノロジー
〒102-0071
東京都千代⽥区富⼠⾒１－５－８
（TEL)03-3239-9241
（FAX)03-3239-9240
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