GHGsプラズマ除害装置 LG4000 LG4000シリーズの特徴 ICP(誘導結合プラズマ)による高効率分解 低コスト除害、水消費がきわめて少ない。 450mm プロセスガスの除害にも対応 マルチステッププロセスに適した 高速マッチング 低ランニングコスト: ウォームアップ不要 ⇒GHG使用時のみPlasma on 高効率: ドライポンプパージN2導入前の高濃度GHGを分解 フットプリント=0、 軽量・コンパクト ・一体型:約27kg、400x415x255mm ・分割型:電源部21kg、 ソース部:17kg LG4000 その他の効果 フォアライン配管へのSi系、 C系化合物の堆積防止効果 プロセスモジュール - Etch, CVD Process -Chamber Cleaning ドライポンプ内へのSi系、 C系化合物の堆積防止および クリーニング TMP LGの高効率運転 Process ON プロセス時のみ運転 ON O2添加 ON Utility(Pump) Room (分解補助剤) LG Combustion Heater ON ON ON LG N2 パージ ON 時間 LG4000は、プロセス時以外はパワーオフ Cooling Water 2L/min~3L/min Dry Pump LGの使用例(設置例) DP上流のフォアラインに設置します Dry/Wet スクラバ プロセスガス除害例 PFC gases Flow rate Pressure DRE CF4 500 sccm 0.3 Torr >97% CHF3 800 sccm 0.3 Torr >99.0% CH2F2 80 sccm 0.5 Torr >99.9% C4F8 80 sccm 0.5 Torr >99.9% NF3 300 sccm 0.13 Torr >99.9% SF6 180sccm 0.4 Torr >99.0% ※圧力はLG4000直近での測定値です。 ※CH2F2, C4F8, NF3は上限ではなく実績値です。 LG4000の主な仕様 LG4000仕様 4000W 最大出力 発信周波数 2MHz 周波数マッチング方式 パワー制御 500W単位のデジタル設定、0~10Vのアナログ設定 外形寸法 重量 400x412x254mm、約30kg 電気 1φ200V、4.8kVA 冷却水 5~30℃、3.0L/min以上、 ρ>2500Ω/cm 継手1/4NPT 酸素流量 (分解補助材) GHGガスの1~6倍 (ガス種による) 接続配管径 NW80(クロークランプタイプ) 消耗部品 Oリング、セラミックス管他 株式会社ランドマークテクノロジー 〒102-0071 東京都千代⽥区富⼠⾒1-5-8 (TEL)03-3239-9241 (FAX)03-3239-9240 http://www.landmark.jp
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