表面粗さ測定機（型式：サーフコム570A）

表面粗さ測定機
キーワード：膜厚測定，表面粗さ
メーカ：（株）東京精密
型式：サーフコム570A
測定項目：膜厚，表面粗さ
主な仕様及び特長：
先の尖った針で表面をなぞっていき，薄膜が着いている部分と着いていない部分の段
差を測定することで，膜厚および表面粗さの測定ができます．0.1 mｍ程度の膜厚の測
定が可能です．
設置場所：一般研究棟２階
担当者：電気電子工学科岡本保
連絡先：0438－30－4100，okamto @ e.kisarazu.ac.jp

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