超高真空用各種装置部品 ALL PRECISION MANIPULATORS FOR ULTRA HIGH VACUUM 特徴 超高真空に対し、精密位置決めが必要な真空装置に取り付ける事が可能です。 コンパクト設計、多種ラインナップ、リーズナブルな価格なのでOEM供給も可能です。 回転導入器 型式 VRI-34 VRI-34H 駆動方式 VRI-70H VRI-70MG ベローズ式 磁気結合型 フランジ ICF34 ICF34 ICF70 ICF70 駆動軸径 φ6 φ6 φ10 φ12 駆動タイプ 手動/モーター駆動 伝導 手動 5kgf･cm 15kgf･cm 30kgf･cm 100kgf･cm トルク モーター - 10kgf･cm 20kgf･cm 75kgf･cm 回転数 200ｒｐｍ リーク量 1.3×10-11Pa.m3/sec 以下 許容加熱温度 500ｒｐｍ 300℃ 100℃ 直線導入器 型式 VSI-34-25 VSI-34-50 駆動方式 VSI-70-75 ICF34 25mm 許容最大推力 ICF70 50mm 50mm 35kg 1.3×10-11Pa.m3/sec 以下 許容加熱温度 300℃ ＸＹステージ VXY-70S VXY-714S シール方式 ベローズ式 移動量 X･Y 軸 ±5mm 繰返し精度 0.1mm 以下 フランジ ICF70-ICF70 75mm 45kg リーク量 型式 VRI-70-100 ベローズ式 フランジ 移動距離 VSI-70-50 ICF70-ICF114 VXY-114S ICF114-ICF114 100mm トランスファーロッド 型式 VTFR-70-250 VTFR-70-500 駆動伝達方式 VTFR-70-750 VTFR-70-1000 磁気結合型 伝達力 直進 4.5kg 回転 7.5kg･cm 移動距離 250mm 500mm 稼働軸径 750mm 1000mm φ13.8（SUS） フランジ ICF70 ＸＹＺマニュピレーター 型式 VXYZ-50MP VXYZ-70MP 繰返し精度 VXYZ-100MP VXYZ-150MP 0.02mm 以下 XY 軸 ±12.5mm 移動量 Z軸 50mm 75mm 100mm システム 上部 ICF70 フランジ 下部 ICF152 1.3×10-11Pa.m3/sec 以下 リーク量 リニアステージ 型式 VL170-25S シール方式 移動量 フランジ VLI70-50S ベローズ式 25mm 50mm ICF70-ICF70 ※価格・寸法についてはお問い合わせください。 真空・除振台のトータルメーカー 株式会社 ＶＩＣインターナショナル 【 本社 】〒１９０－１２２４ 東京都西多摩郡瑞穂町南平１－８－５ ＴＥＬ／０４２（５７０）１３８７・１３８８ ＦＡＸ／０４２（５７０）１３８４ 【大阪営業所】〒５７３－０６１４ 大阪府枚方市長尾谷町３－１４－２０ ＴＥＬ／０７２（８６７）７７３０ ＦＡＸ／０７２（８６７）７７２０ e - m a i l ： i n f o ＠ v i c - i n t . c o . j p H P : h t t p : / / w w w . v i c - i n t. c o . j p 150mm
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