Japanese

Mechatoronics Company for Innovative Solutions
RightPort
OC8(OC12)
RightPort--RP2500
RP2500A
200mm(300mm)
オープンカセット専用ロードポート
200mm オープンカセット専用ロードポート
我々は、マーケットからの強い要望の有った200mmオープンカセット
専用LoadPortの開発に成功しました。
特徴
* 200mm LoadPort
以前より、市場からの強い要望が有りました200mmオープン
カセット専用LoadPortの開発に成功しました。
* 300mm カセット用
同じ外観で300mmオープンカセット専用ロードポートも
同時開発に成功しました。
* 安全性
安全性を考慮した設計になっております。
運転中のカバーロック機構付き。
*高クリーン化
発塵要因を考慮した設計により、停止時のカバー内も
高クリーン化を実現。
Type
RP2500 OC8（RP2500 OC12）
ウエハサイズ
200 mm（300mm）
外観
ユーティリティ
高さ
1376 mm
奥行き
586.5 mm （SEMI Standard E63 y74=100mm含む）
幅
475 mm
重量
52 kg
電源
24 VDC （+/- 5%）, 5A （動作中）
通信
Serial RS-232C（ASCII）
株式会社ライト製作所
東京都板橋区前野町1丁目47番3号〒174-8633
TEL. 03-3960-2246 Fax. 03-3960-2620
URL. Http://www.rightmfg.co.jp

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