Sicホルダー移載機 (カタログPDF)

コンパクトな小口径薄物ウェハ用移載装置
■Sicホルダー移載機
■概要
横型酸化/拡散炉用のウェハーボート
からプロセスカセットへの移し替え装置です。
（ホルダー⇔カセット）
■基本仕様
ウェハスペック
５インチ 210～600μｍ
カセット
50枚ピッチ：2.38mm PFA
カセットチャージ
4カセット/8カセット
ホルダー
200～220スロットピッチ：2.38mm
チャージ数
200枚
スループット
15分/200枚
国内販売価格
850万円～
デリバリー
受注後３か月+立上調整３日
株式会社ＥＣＰ
■図面
受電
AC200V‐3P 50/60Hz‐20A
CDA
0.4MPa
■注意
1）ホルダー温度は60℃以下
2）オリフラは上向き投入
株式会社ＥＣＰ

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