M o t i o n C o n t r o l P r o d u c t s WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] 高剛性・精密型自動ステージ 干渉計 SGSP20-(XY) ステージサイズ□60mm 高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。 ◦レールの形状は、U字形として軽量化をはかり、 たわみを最小 に抑えた高剛性仕様となっています。 アプリケーション システム ご案内 光学素子 ▶モータ交換等をご希望される場合 （SGSP20-20(XY)は除く） は営業まで Ⅰ019、 Ⅰ085 （お問合せシート） お問合せください。 ▶防塵カバーリール （SGSP20-20(XY)は除く） 、 グリース変更はオプションで ホルダー 対応可能です。 Ⅰ017、 Ⅰ018 ▶ご所有のX軸ステージと新規でお買い求めのX軸ステージを当社にて組付け 光源 をする場合は別途費用がかかります。 ベース 注意 ▶SGSP20-20(XY)は、反モータ側に軸を受けていません。軸方向に負荷が かかる状態で使用する場合は営業までお問合せください。 手動ステージ アクチュエータ 仕様 自動ステージ SGSP20-20(XY) 品番 価格 〔￥〕 176,000 移動量 〔mm〕 索引 テーブル面サイズ 〔mm〕 送りネジ 〔mm〕 メカ仕様 移動ガイド ステージ上面材質 表面処理 ガイダンス 質量 〔kg〕 ステッピングモータ 分解能 ACサーボ コントローラ/ドライバ 精度仕様 ケーブル ソフトウェア センサ SGSP20-85(XY) 196,000 216,000 20 35 85 60×60 60×60 60×60 ボールネジ径φ6 リード1 ボールネジ径φ6 リード1 ボールネジ径φ6 リード1 アウターレール構造 アウターレール構造 アウターレール構造 アルミ アルミ アルミ 黒アルマイト 黒アルマイト 黒アルマイト 1.0 1.4 2.0 （Full） 〔μm/パルス〕 2 2 2 （Half） 〔μm/パルス〕 1 1 1 15 25 25 MAXスピード 〔mm/sec〕 39.2 （4.0kgf） 68.6 （7.0kgf） 68.6 （7.0kgf） バックラッシ 〔μm〕 耐荷重 〔N〕 3 3 3 運動の直交度 〔μm〕 5 5 5 マイクロフォトセンサ：PM-U24（SUNX㈱）マイクロフォトセンサ：PM-L24（SUNX㈱） マイクロフォトセンサ：PM-L24（SUNX㈱） センサ品番 ピエゾ SGSP20-35(XY) リミットセンサ 有 （NORMAL CLOSE） 有 （NORMAL CLOSE） 有 （NORMAL CLOSE） 原点センサ 無 無 無 近接原点センサ 無 無 無 納期の目安 ガイダンス オプション 直動系 回転系 ゴニオ モータ/センサ仕様 タイプ モータ TS3664N4 （□24mm） ステップ角 真空 スケール付 5相ステッピングモータ 0.66A/相 （多摩川精機㈱） モータ品番 0.72° 電源電圧 センサ □40㎜ DC5〜24V±10% 消費電流 30mA以下 （1センサ当たり15mA以下） 制御出力 NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下 出力論理 遮光時：出力トランジスタOFF （非導通） □50㎜ □60㎜ □70㎜ （参考）単軸の精度仕様 SGSP20-20(X) SGSP20-35(X) SGSP20-85(X) 10 5 7 5 3 3 ピッチング 〔″/N･cm〕 3 0.4 0.4 ヨーイング 〔″/N･cm〕 3 0.25 0.25 ローリング 〔″/N･cm〕 3 0.35 0.35 5 3 3 平行度 〔μm〕 30 30 30 走り平行度 〔μm〕 10 10 10 品番 □80㎜ 位置決め精度 〔μm〕 その他 繰返し位置決め精度 〔μm〕 精度仕様 モーメント剛性 ロストモーション 〔μm〕 適応ドライバ/コントローラ 制御系 Ⅰ028 適応ドライバ 適応コントローラ SG-5M､SG-5MA、 SG-55M､SG-55MA、 SG-514MSC､SG-5151､KR-525M PAT-001、 GSC-01、 SHOT-102、 GSC-02、 SHOT-702、 GIP-101、 SHOT-302GS､SHOT-304GS、 HIT-M・HIT-S TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 カタログ コード W9012 干渉計 外形図 六角穴付ボルト M3×6・・・4本 SGSP20-20(XY) アプリケーション システム 六角穴付ボルト M3×6・・・4本 SGSP20-35(XY) （78.4） 光学素子 移動量10 30 54 18 16 16 25 （41） 移動量17.5 （124.5） 25 14 光源 16 32 2 27 2×4-φ3.4 取付穴 φ6.5ザグリ ベース 手動ステージ 54 移動量17.5 60 （188.5） （188.5） 16 16 25 25 60 （78.4） 60 30 2×2-φ3.4 取付穴 φ6.5ザグリ （34.3）14 30 2 27 移動量17.5 8-M4 深6 （11） 18 16 16 25 25 ホルダー （64.5） 移動量10 8-M4 深6 （124.5） （61.5） 移動量10 8-M3 深6 16 16 25 25 移動量10 30 30 （41） 8-M3 深6 移動量17.5 （61.5） アクチュエータ （64.5） 自動ステージ 六角穴付ボルト M3×6・・・6本 SGSP20-85(XY) （78.4） 移動量42.5 索引 30 25 16 16 ACサーボ 27 54 44 コントローラ/ドライバ ケーブル （29.5） （89.5） 移動量42.5 25 移動量42.5 2 8-M4 深6 18 16 16 ステッピングモータ 44 （238.3） 30 25 ガイダンス 30 16 16 25 （78.4） 8-M3 深6 ピエゾ ソフトウェア 2×5-φ3.4 取付穴 φ6.5ザグリ 移動量42.5 30 （89.5） ガイダンス （238.3） オプション 直動系 ■結線図 ■適応コントローラ/ドライバとケーブル コネクタピン番号 ヒロセ電機㈱製 RP17-13RA-12SD 1 1 モーターリード青 2 2 モーターリード赤 3 3 モーターリード橙 4 4 モーターリード緑 5 5 モーターリード黒 6 （未使用） 6 N.C. ＋VS 7 5∼24VDC 8 GND （0V） 7 8 9 9 LS （＋） 10 10 LS （−） 11 11 N.C. （未使用） 12 12 N.C. （未使用） 注2 5相ステッピング モータ E相 黒 Controller 青 A相 赤 D相 B相 緑 C相 橙 茶 青 黒 （未使用） 白 茶 青 黒 （未使用） 白 モータ側 （＋） リミットセンサ SUNX㈱製 マイクロフォトセンサ SGSP20-20 PM-U24 SGSP20-35, 85 PM-L24 （黒リードは入光時ON） 反モータ側 （−）（白リードは遮光時ON） リミットセンサ 注1 注1 注1 モータ側リミッ トセンサが＋方向のリミットセンサです。 自動ステージには原点､近接原点 センサはついていません。 リミットセンサを原点検出センサとして使用しています。 注2 対応ケーブルのコネクタ：ヒロセ電機㈱製 RP17-13PA-12PC/RP17-PC-122 Cable 回転系 Stage PAT-001 〔1軸〕 SHOT-102 〔2軸〕 Controller GSC-01 〔1軸〕 〔2軸〕 GSC-02 SHOT-702 〔2軸〕 〔1軸〕 GIP-101 SHOT-302GS〔2軸〕 SHOT-304GS〔4軸〕 HIT-M・HIT-S 〔8軸〕 Ⅰ088∼Ⅰ096 Driver SG-5M、SG-5MA SG-55M、SG-55MA SG-514MSC SG-5151 KR-525M Ⅰ098∼Ⅰ099 真空 スケール付 ※ Ⅰ091 ゴニオ □40㎜ MINI-CA Ⅰ100 □50㎜ □60㎜ Cable DMINIS-CA □70㎜ SGSP20-20(XY) SGSP20-35(XY) SGSP20-85(XY) □80㎜ その他 Ⅰ100 Cable MINI-CA-SG Ⅰ100 ※PAT-001は2012年9月に販売中止予定となっており、GSC-01に移行します。 Ⅰ029
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