Synos 光学測定 / 光半導体素子のウエハレベル光学特性測定 ウエハレベル光素子光学特性測定装置 M-Scope type I マニュアル・セミオートプローバシステムとの組合せにより、発光素子・ 受光素子の各種光学特性をウエハレベルで測定・検査。 【製品の概要】 ウエハレベル光素子特性測定装置は、VCSEL や LED などの発光素子、フォトダイオー ドや照度センサなどの受光素子の電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステム です。 光半導体デバイスでは、通常の半導体特性等の電気的特性測定のほか、光学特性の測定 を行う必要があります。このような測定をウエハレベルで行う場合、プローバにより光半 導体素子の電極にプローブコンタクトを行い、光半導体素子を動作させた状態で測定・ 解析を行う必要があります。 当社のウエハレベル光素子光学特性測定装置は、セミオートプローバやマニュアルプロ ーバ等の半導体故障解析用プローバシステムと、当社の各種光計測用光学系 M-Scope シリーズ、測定光源、測定器等を組合せて、光半導体素子の電気・光学諸特性をウエハレ ベルで解析・データ収集を行うシステムです。また、セミオートプローバとの組み合わせ により、ウエハの自動測定に対応することも可能です。 【製品の特長】 ○マニュアルプローバ・セミオートプローバとの組み合わせにより、発光素子・受光素子 のさまざまな電気・光学特性測定をウエハレベルで測定可能 ○カスケードマイクロテック社製セミオートプローバシステムとの連動機能により、各種 測定の自動化・高速化・省力化を実現 ○当社製光計測用光学系 M-Scope シリーズ各種光学系を搭載可能。発光素子・受光素子 の測定項目にあわせた光学系セレクションとシステムアップが可能。 ○当社製光計測・解析ソフトウエア Optometrics Customized Version を搭載。セミ オートプローバの制御・連動による解析の自動化、当社光学系により取得した光学特性 データや各種測定器からのデータの統合収集管理、測定品種や測定レシピの管理を一元 化可能。個別素子の測定からインライン使用まで幅広く対応可能。 【製品の主な応用】 ○発光素子の電気・光学特性のウエハレベル解析 ・VCSEL 等発光素子の I-V-L 特性、発光ビームプロファイル解析、発光波長解析、 変調周波数特性解析等 ○各種受光素子の電気・光学特性のウエハレベル解析 ・フォトダイオード等受光素子の I-V 特性、光感度、暗電流、容量、変調周波数特性、 立上り・立下り、トレランス、クロストーク等 【ウエハレベル光素子光学特性測定装置 コンポーネントセレクション】 ポジショナーの選択 位置観察・針あて用 CCD カメラ 高機能光照射・受光計測 光学系 M-Scope type I 等 微小電流測定用 インターフェースボード 高周波測定用 画像観察用 TV モニタ 測定光導入・受光計測用 光ファイバポート 測定用光源 DC 光源 / 変調光源等 同軸落射照明装置 各種測定器 測定ウエハ データ処理・システム制御部 ソフトウエア セミオートプローバ 制御プログラム RS232C GPIB ETHERNET 画像処理ボード等 （測定器・システム仕様による） Optometrics Customized Version セミオートプローバ制御 システム制御 データ収集解析 等 ポジショナー ウエハチャック マニュアル・セミオートプローバシステム （図は、カスケードマイクロテック社製 セミオートプローバ PA200 Blueray） ソースメータ 光パワーメータ 光スペアナ / 分光器 光コンポーネントアナライザ LCR メータ ネットワークアナライザ等 データ処理用コンピュータ データ収集・測定器制御 プローバ制御 ＊上記以外にもさまざまな装置構成に対応致します。 【光素子測定ソフトウエア Optometrics BA Customized Version】 ウエハレベル光素子測定装置用に開発、セミオートプローバの制御、当社光学系により取得された 光学特性データや各種計測器からのデータの統合的収集管理機能、測定品種や測定項目の管理を 一元化したソフトウエアです。個別素子の測定からインライン自動測定まで幅広い対応が可能です。 計測項目は、測定対象・測定内容・使用する測定器・測定手順や運用によりソフトウエアのカスタ マイズを行います。 （測定項目の例） ○発光解析 ・I-V-L 特性、発光ビームパターン解析（NFP 解析・FFP 解析）、発光波長、変調周波数特性等 ○受光解析 ・I-V 特性、光感度、分光感度、容量、変調周波数特性、立上り・立下り、トレランス、クロス トーク等 http://www.synos.jp/ 23 SYNERGY OPTOSYSTEMS CO., LTD
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