C051226-HA010-007
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■周波数　2425～2475MHz
■順方向電力　最大6kW
●ダイナミックレンジ　20dB
●チューニングレンジ　VSWR<10:1
●チューニング精度　1％
●チューニングスピード　1sec.標準
●インターフェイス　RS232、CAN
●電圧　24VDC±10％
■VSWR、周波数、位相、順方向電力、
反射電力、吸収電力の読み出し
■極座標図、スミスチャート、リーケ線
図を表示
●周波数　910～920ＭＨｚ　2425～2475MHz
●順方向電力測定エラー
整合負荷で±5%
●電圧　24VDC±10%
■プラズマ出力（直径）
20～50mm
■ガス注入口　Swagelok、VCR
●ガスフロー　最大1000sccm
●処理圧力　20Pa～5000Pa
●マイクロ波電力　最大30kW
●冷却方法　水冷式 3L/min.
■プラズマアレイ動作範囲180mm角
■プロセスチェンバー付き
●ガス注入システム
●チェック機能付き
●ベース圧力　＜1Pa
●処理能力　10～500Pa
●マイクロ波電力　最大3kW×2
■周波数　2450MHz±25MHz
■挿入損失　最大0.2dB
●アイソレーション　最小23dB
●順方向電力　3kW
●反射電力　3kW
●モニタカップリング 66.5dB±1dB
●冷却方法　18～20℃の場合
3L/min.最大 4bar
■水冷式大電力マグネトロン内蔵
■サーキュレータ内蔵
●導波管　WE284/340/430
●周波数　2450MHz±20MHz
●電力　最大10kW
●冷却方法　＞9L/min. 4bar
●水冷用コネクタ
ホーススリーブ10mm
■フィラメントトランスフォーマ内蔵
■水冷式マグネトロン内蔵
●導波管　WR975/R9
●周波数　896/915/922MHz
●電力　最大30kW
●冷却方法　＞20L/min. 6bar
●水冷用コネクタ
クイックコネクタ GEKA19mm
■リップル出力1％以下
■25kHzまでのパルス動作可能
●周波数　2450MHz±20MHz
●電力　最大連続300W、
パルス500W
●VSWR　アイソレータ内蔵
●冷却方式　空冷式
●出力　7/16同軸
■電力の連続制御
■リップル出力1％以下
●高性能
●周波数　2450MHz±20MHz
●電力　最大3kW
●HTコネクタ　Lemosaジャック
●インターフェイス　標準0～10V

工事設計認証を受けた 者の 氏名又は名称 工事設計認証を受けた 特定