ナノオーダー計測
対象の立体形状をナノオーダーでリアルタイム計測
透明物体（レンズ、油膜） や 鏡面体（鏡、研磨面）が計測可能
フレネル変換により、従来の
干渉法より高精度な計測を実現
X-axis [mm]
波長板と偏光板の組み合わせにより，
安価かつ小型構成を実現
リアルタイム計測で振動する
環境下での計測を可能にしました
10.4
9.4
8.4
7.4
6.4
5.4
4.4
-3.53 -2.65-1.32 -0.88 0.00 0.88 1.32 2.65 3.53
Z-axis [µm]
X
7.4
Lens6.3
5.3
4.3
3.3
2.3
1.2
[µm]
Z-axis [µm]
-2.65
-1.32
-0.88
0.00
0.88
Y-axis [mm]
1.32
0.3
0.2
0.0
-0.1
-0.2
-0.3
-3.53 -2.65 -1.32 -0.88 0.00 0.88 1.32 2.65 3.53
Y-axis [mm]
0.5
0.3
0.1
-0.1
-0.3
-0.5
-3.53 -2.65 -1.32 -0.88 0.00 0.88 1.32 2.65 3.53
X-axis [mm]
0.30
2.65
3.53
0.4
0.3
0.16
X
Measurement
range
0.2
0.08
Oil Layer
Z
Y
0.23
Y
X
0.1
Alumi Board
0.0
0.00
-0.06
-0.1
-0.14
-0.2
-0.21
-0.3
-0.28
-0.4
-0.36
[µm]
-1.32
-0.88
0.00
0.88
X-axis [mm]
1.32
2.65
3.53
外形寸法 [mm]
110 (W) × 180 (D) × 60 (H)
計測精度 [nm]
5.5
-0.5
-0.43
Z-axis [µm]
Z-axis [µm]
-2.65
0.2
Z-axis [µm]
Measurement range
0.3
0.2
0.1
0.0
-0.1
-0.2
-3.53
[µm]
0.5
0.3
0.1
-0.1
-0.3
-0.5
-3.53
-2.65
-1.32
-0.88
鏡面物体：
可変型ミラー、アルミ蒸着ミラー
アルミボード、超研磨加工
はんだボール、微生物
0.00
0.88
Y-axis [mm]
1.32
2.65
-0.6
3.53
計測装置外観図
透明物体：
ガラス、平凸レンズ
マイクロレンズアレイ
計測実績
8.4
Y
10.4
9.4
8.4
7.4
6.4
5.4
4.4
-3.53
Z-axis [µm]
Z
10.4
Z
9.5
Measurement range
計測ユニット
CMOSカメラ
ビームエキスパンダ
合同会社 3Dragons
〒466-8555 愛知県名古屋市昭和区御器所町 名古屋工業大学19号館231号室
Tel : 052-735-7450 Fax : 052-735-7450 Email : [email protected] URL : http://www.3dragons.jp

裸眼用3 ディスプレイ

3月 - キャタラー

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