AC 入力 セットモデル・ ドライバ 真空用ステッピングモータ カスタマイズ製品 ■ 特長 DC 入力 セットモデル・ ドライバ ・ 真空導入器を必要とせずに，真空環境内に直接入れて駆動できるス テッピングモータです。高精度の制御がオープンループで簡単にお こなえるステッピングモータの特長をそのままに，真空環境に適し たアクチュエータとして使用できます。 ・ 低真空から，超高真空まで幅広い環境圧力に適したカスタマイズが できます。 ・ 200℃でのベーキングができます。 ・ 通常のステッピングモータから，大きくサイズが変わることはあり ステッピングモータ単体 ません。 ■ 使用できる圧力の目安 低真空 中真空 1 超高真空 10-1 10-2 10-3 10-4 10-5 10-6 10-7 10-8 [Pa] 保護等級IP65 ステッピングモータ 105 104 103 102 101 高真空 ■ 用途 次のような用途に最適です。検討される際は，どのような環境で使用するか，ご相談ください。 ・ 半導体製造装置 ・ 人工衛星用ロボット 真空用ステッピングモータ ・ 電子顕微鏡 ・ 加速器，放射光分析装置などの大規模実験施設 ■ モータサイズ □ 42mm ∼φ 106mm シンクロナスモータ シンクロナスモータ カスタマイズ製品 ■ 特長 ドライバ内蔵 ステッピングモータ ・ 電圧や負荷変動の影響を受けず，電源周波数に同期して，常に一定 の回転速度を維持できるモータです。滑りが起こりません。 ・ ギヤ無しで高トルク・超低速度の駆動ができます。 ・ AC 電源を直接モータに接続できますので，駆動回路を必要としま せん。システムを簡素化できます。 ■ 用途 次のような用途に最適です。検討される際は，どのような環境で使 用するか，ご相談ください。 ・ コンベア ・ 印刷機 ・ クライオポンプ ・ 極低温冷凍機 ・ 開閉装置 ■ モータサイズ □ 56mm ∼φ 106mm 93
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