別紙 1 アルゴンガス高純度（99.999%）、47L 25本 2 窒素ガス超高純度

別紙
品目
1
2
3
4
アルゴンガス
窒素ガス
ヘリウムガス
空気ガス
規格
高純度（99.999%）、47L
超高純度（99.9999%）、47L
超高純度（99.9999%）、47L
高純度空気（不純物として含まれる二酸化炭素、一酸化炭素及び炭化水素が各0.1PPM以下であること）、47L
予定数量（/年）
25本
2本
10本
1本

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