PDFをダウンロード

03
MAP-BA4Z
Z 軸・高速応答・透過窓付きピエゾステージ
可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入できます。高剛性なため大質量のワー
クを高速位置決めできます。変位拡大機構を内蔵しており、薄型ながらストローク
100µm を出力。一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない高精度な動作を実現。長期間
にわたりメンテナンス不要。変位センサー内蔵タイプは変位クローズド制御により
より高精度な位置決めができます。
型式 Models
可動軸
内蔵変位センサー
駆動電圧
オープンループ変位量
クローズド変位量
オープンループ分解能
クローズド分解能
非直線性
繰返し位置決め精度
静電容量値
剛性
共振周波数
共振周波数＠100ｇ
共振周波数＠200ｇ
共振周波数＠1100ｇ
ピッチング・ヨーイング
Active axes
Integrated sensor
Operating voltage
Open-loop stroke
Closed-loop stroke
Open-loop resolution
Closed-loop resolution
Non-linearity
Repeatability
Capacitance
Stiffness
Resonant freq.
Pitch / yaw
変位軸の許容荷重
Force capacity in motion direction
本体質量
主要材質
コネクタ
ケーブル長
*1
*2
*3
*4
*5
*6
Weight
Body material
Connection
Cable length
特徴
ナノメートルの高分解能動作
ミリ秒高速応答
アプリケーション例
ナノポジショニング
各種顕微鏡
バイオテクノロジー
MAP-BA4Z
MAP-BA4ZS
MAP-BA4ZC
単位 Units
Z
‐
-10～150
100
‐
0.1
‐
‐
‐
14.4
3
730
580
480
280
2
Z
ひずみゲージ
-10～150
100
85
0.1
2
±0.22
±3.4
14.4
3
730
580
480
280
2
Z
静電容量型変位センサ
-10～150
100
85
0.1
0.9
±0.12
±1.6
14.4
3
730
580
480
280
2
V
µm
µm
nm
nm
%
nm
µF
N/µm
Hz
Hz
Hz
Hz
″
50
50
50
N
550
Aluminum
BNC
1.4
550
Aluminum
BNC、LEMO.0S.340
1.4
550
Aluminum
BNC、LEMO.0S.650
1.4
g
-0％、+20％
±20％
M-26116 との組合せ
M-26103 との組合せ（typ.）
±10％
typ.値
外形寸法図
1/1
m
注
*1
*3
*4
*4
*4
*2
*6
*6
*6
*6
*6
*6

Download Report