㉸ᑠᆺ䞉㉸㧗ឤᗘศᏊ᳨ฟ䝉䞁䝃䠄MSS䠅
Keyword : ᦠᖏ㟁ヰ䛷࿧Ẽデ᩿䚸⮬Ꮿ䛷⾑ᾮ᳨ᰝ䚸≉Ṧ⿦⨨୍ษ୙せ
⊂❧⾜ᨻἲே㻌 ≀㉁䞉ᮦᩱ◊✲ᶵᵓ
ᄂᆮỉ
Ꮡ୎
ᶆⓗศᏊ䜢㧗ឤᗘ䛷᳨ฟ䞉㆑ูྍ⬟䛺䝉䞁䝃䛿䚸་⒪䛆࿧Ẽデ᩿䞉䝸䜰䝹䝍䜲䝮⾑ᾮ᳨ᰝ䛺
䛹䛇䞉Ᏻ඲䛆⇿⸆/㯞⸆/≢ே᥈▱䛺䛹䛇䞉⎔ቃ䛆ởᰁㄪᰝ䞉䝅䝑䜽䝝䜴䝇᳨ᰝ䛺䛹䛇䞉㣗ရ䛆ṧ␃㎰⸆
᳨ᰝ䞉ရ㉁⟶⌮䛺䛹䛇䛺䛹䜈䛾㈉⊩䛜ᮇᚅ䛥䜜䛶䛔䜛䚹䛧䛛䛧䛺䛜䜙䚸⌧≧䛷䛿䚸ᡭ㛫䛜䛛䛛䜛䚸
䛒䜛䛔䛿኱ᆺ䛷㧗౯䛺⿦⨨䛜ᚲせ䛷䛒䜛䛺䛹䛾ၥ㢟䛜䛒䜚䚸ᮍ䛰䛻ᐇ⏝໬䛥䜜䛶䛔䛺䛔䚹
ᄂᆮỉ
ཀྵẟ
⺯ග䛺䛹䜢฼⏝䛧䛯ᚑ᮶ᢏ⾡䠄ELISA, 䜲䝮䝜䜽䝻䝬䝖, Microarray䠅䜔䚸ᵝ䚻䛺䝉䞁䝃䠄QCM,
SPR, FET, SAW䠅䛷䛿ୖグㄢ㢟䜈䛾ᑐᛂ䛿ᅔ㞴䛷䛒䛳䛯䚹䛭䛣䛷䚸ᐇᛂ⏝䛻ᚲせ䛸䛥䜜䜛≉
ᛶ䠄ឤᗘ䞉෌⌧ᛶ䞉䝸䜰䝹䝍䜲䝮䞉Ᏻᐃᛶ䞉䝃䜲䝈䞉䝁䝇䝖䛺䛹䠅䜢⥙⨶䛧䛯䚸䛔䛴䛷䜒䞉䛹䛣䛷䜒䞉䛰
䜜䛷䜒౑䛘䜛㉸㧗ᛶ⬟䝉䞁䝃䛾ᐇ⌧䛜䚸ᮏ◊✲䛾┠ⓗ䛷䛒䜛䚹
இέᇢᄂᆮἚἦἕἁἋ
ᐇᛂ⏝䛻ᚲせ䛸䛥䜜䜛≉ᛶ䜢⥙⨶䛧䛯⌮᝿ⓗ䝉䞁䝃䛾㛤Ⓨ䛻ᡂຌ
⭷ᆺ⾲㠃ᛂຊ䝉䞁䝃㻌 Membrane-type Surface stress Sensor (MSS)
1) ཷᐜయᒙ䜈䛾᳨య䛾྾╔ ,2) ୰ኸ⭷㒊䛜䛯䜟䜐 ,3) ࿘ᅖᅄ䛴䛾䝢䜶䝌᢬ᢠ㒊䛻ᛂຊ䛜㞟୰ ,4) 䝤䝸䝑䝆ᅇ㊰䛻䜘䜚㟁Ẽಙྕ䛻ኚ᥮
䠄ᕥ䠅MSSᴫᛕᅗ䛸䚸䠄ྑ䠅ྛ
✀MSS䝏䝑䝥䛾෗┿䛸ᣑ኱
෗┿䚹MSS⣲Ꮚ㛫㝸䛿⣙1
mm 䚹 䛭 䛾 䛯 䜑 䚸 ౛ 䛘 䜀 1
cm㽢1 cm䛻100䝏䝱䞁䝛䝹
㞟✚䛩䜛䛣䛸䛜ྍ⬟䚹ㄞ䜏
ྲྀ䜚䛿FPGA䜔ASIC䛺䛹䚸
᪤ᏑICᢏ⾡䛷ᑐᛂྍ䚹
䠄ᕥ䠅USB㥑ື䝰䝞䜲䝹MSS䝅䝇䝔䝮䛾౛䚹䠄ྑ䠅ᶆ‽96✰䝥
䝺䞊䝖䛷䛾ཷᐜయ⿕そ䞉᳨య ᐃ䛾౛䚹≉Ṧ⿦⨨䛿୍ษ୙せ䚹
૨ᴾ ྂᴾ
USB㥑ື䝰䝞䜲䝹MSS䛷䛾࿧Ẽデ᩿ᐇ᪋౛䚹
䜺䞁ᝈ⪅䛸೺ᗣ䛺ே䛾࿧Ẽ䛻᭷ព䛺ᕪ䜢☜ㄆ䚹
G. Yoshikawa, T. Akiyama, S. Gautsch, P. Vettiger, H. Rohrer, Nano Letters 11, 1044 (2011)
G. Yoshikawa, T. Akiyama, P. Vettiger, H. Rohrer, Patent Pending 䠄≉㢪 2010-118859䠅& PCT
G. Yoshikawa et al. Sensors 12, 15873 (2012); G. Yoshikawa, Langmuir 29, 7551 (2013)
F. Loizeau, H. P. Lang, et al., Proceedings 26th IEEE MEMS, 621 (2013).
ࣖဇЎ᣼ƱʻࢸƷ‫᧏ޒ‬
ܱဇ҄ǁӼƚƨᛢ᫆
zẼ┦/ᾮ┦ၥ䜟䛪 ་⒪ Ᏻ඲ ⎔ቃ
zẼ┦/ᾮ┦ၥ䜟䛪䚸་⒪䞉Ᏻ඲䞉⎔ቃ䞉㣗ရ䛺䛹䛾ศ㔝
䜈䛾ᛂ⏝䛜ྍ⬟
zMSS䛻䜘䜛䛣䜜䜎䛷䛾ᐇ᪋౛䠖䜺䞁ᝈ⪅䛾࿧Ẽデ᩿
䠄ୖᅗ䠅䞉ᢠ⏕≀㉁䛾⣽⳦⣽⬊ቨ྾╔䞉䝅䝑䜽䝝䜴䝇⑕
ೃ⩌≀㉁ྠᐃ䞉⫗䠋㣧ᩱ䠋⸆ရ䛺䛹䛾ุู䛺䛹
z≉チฟ㢪5௳䠄ᅜ㝿≉チฟ㢪3௳䠅
zྛ⏝㏵䛻ᛂ䛨䛯ཷᐜయᒙ䛾᭱㐺໬䠄䝢䞁䝫䜲䞁䝖䛷≉
ᐃ≀㉁䜢᳨ฟ䚸䛒䜛䛔䛿」ᩘ✀䛾㠀≉␗ཷᐜయ䛻䜘
䜛䝟䝍䞊䞁ㄆ㆑䛸䛔䛖஧㏻䜚䛾᪉㔪䛜䛒䜛䠅
zཷᐜయᒙ䛾⾲㠃⛉Ꮫ䠄⿕そἲ䞉⿕そ⋡䞉ᐁ⬟ᇶ䛺䛹䠅
zከ䝏䝱䞁䝛䝹䝡䝑䜾䝕䞊䝍䛾ゎᯒ᪉ἲ䛾☜❧
zᶆ‽䝕䝞䜲䝇䛸ከ᳨య䝅䜾䝘䝹䝷䜲䝤䝷䝸䛾☜❧
ᅜ㝿䝘䝜䜰䞊䜻䝔䜽䝖䝙䜽䝇◊✲ᣐⅬ㻌 ⊂❧◊✲⪅ 㻌 ྜྷᕝ㻌㻌 ඖ㉳㻌
E-mail : YOSHIKAWA.Genki䖃nims.go.jp
URL : http://y-genki.net/
— 269 —

排水の正確な濃度を把 握することで、適量の薬 剤が投入でき、安定した

3/20（金） - 桜木町法律事務所