標準マイクロスケール (微小寸法標準・回折格子等

ISO/IEC 17025 認定校正
(国際 MRA 対応)
標準マイクロスケール
(微小寸法標準・回折格子等)の校正
◆ 対象機器…
一次元回折格子、二次元回折格子、標準マイクロスケール、光学回折格子*、
回折格子形状や連続した凹凸形状を持つ各種標準スケールおよび構造体* など
(*認定外)
JCSS 0029
JCSS は、計量法に基づく校正事業者登録制度の
標章です。JQA 計量計測センター(JCSS 0029)は、
国際 MRA 対応 JCSS 認定事業者です。JCSS 0029
は、JQA 計量計測センターの認定番号です。
◆ 校正項目…
一次元回折格子または二次元回折格子のピッチ、直交度* (*認定外)
◆ 校正範囲…
97 nm 以上
◆ 校正の不確かさ(最高測定能力)
0.04 nm (信頼の水準 約 95%)
◆ シンボル付証明書の発行
JQA は、ISO/IEC 17025 に定められた管理上の要求事項および技術的要求事項を満足する校
正機関として、NITE(JCSS)より認定されています。認定された範囲で校正を行ったときに、JCSS
シンボル付校正証明書を発行します。このシンボル付校正証明書は、JQA の校正が国家標準に
トレーサブルであることを表します。
◆ 国際 MRA 対応
JCSS シンボルに ILAC-MRA シンボルが付いた校正証明書は、ILAC/APLAC の MRA により
国際的に受け入れ可能となります。
裏面もご覧ください
標準マイクロスケールの校正
◆ JQA のピッチ校正
JQA では 1995 年より光回折式ピッチ校正装置を用いて 240 nm ピッチまでの校正を行ってまいりました。
その後、DUV 光回折式ピッチ校正装置*を開発し、100 nm ピッチまでについて、100 億分の 1 メートルを
さらに下回る 0.04 nm の不確かさでの校正を実現しました。
*DUV 光回折式ピッチ校正装置
DUV レーザ
光の回折
◆ JQA の校正業務
JQA は 1963 年から校正業務を開始し、1994 年 3 月から JCSS の登録(認定)事業者としての校正
を行っております。また、米国の代表的な試験所認定機関である A2LA から 2000 年 4 月に校正機
関として国内で初めて認定を取得し、その後出張校正を含めた認定範囲を大幅に拡大しておりま
す。JQA は、電気、長さ、質量、力、温・湿度等の分野の校正において、出張校正を含め、広範囲
にわたり JCSS または A2LA のシンボル付校正証明書を発行することができます。
◆ 略語の意味
NITE (National Institute of Technology and Evaluation)
A2LA (American Association for Laboratory Accreditation)
JCSS (Japan Calibration Service System)
:独立行政法人製品評価技術基盤機構
:米国試験所認定協会
:計量法校正事業者登録制度
ILAC (International Laboratory Accreditation Cooperation) :国際試験所認定協力機構
APLAC (Asia Pacific Laboratory Accreditation Cooperation) :アジア太平洋試験所認定協力機構
:相互承認
MRA (Mutual Recognition Arrangement)
校正の不確かさなど、詳しくは下記事業所までお問い合わせください。
- お問い合わせ先 -
一般財団法人 日本品質保証機構
TEL:
FAX:
E-mail:
計量計測センター 事業推進課
東京都八王子市南大沢 4-4-4
042-679-0144
042-679-0187
[email protected]
http://www.jqa.jp 「計測器の校正・計量器の検定」へ
上記のホームページから見積依頼も可能です。
15.09 C3002117