マルチ・バルブ・モジュール MVM
マルチバルブモジュールは、お客様指定のボディ形状に複数のバルブを組込んだ製品です。お客様の装置にモジュールとして直接取り
付けることができます。
利点として：
– システムのパフォーマンス改善、チャンバー容積縮減によるスループットの向上
– 設置面積の低減
– 簡単な注文処理（一つの部品としてご手配）
– 低コスト
VAT社は以下を提供します。
– お客様ご指定内容に従いモジュールを開発
– 個々の部品の製作
– 組立ての実施およびモジュールの検査を実施
Integration of transfer valves, doors, angle valves and gate valves
Loading module
Integrated transfer valve
Integrated door
Pump block
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マルチ・バルブ・モジュール実績例
分析システムのロックチャンバー
構成部品
– Series 12.1 ゲートバルブ
– ドアー機構
– 排気、ベント用アングルバルブ
– センサー
– 搬送、位置決めモジュールとのドッキング用仕組み
ポンプマニホールド
構成部品
– バタフライコントロールバルブ DN 100
– 2 × アングルバルブ DN 100
– 4 × アングルバルブ DN 25 / 40
– 各種ポート
– 圧力コントロールバルブ
– 加熱用熱媒の流路
半導体装置のロードロック
モジュール
構成部品
– 2 × 大気側ドアー 30 × 336 mm
– 2 × 角型ゲートバルブ 30 × 336 mm
– 2 × ソフト排気用バルブ DN 40
I
– 2 × ベント用ディヒューザー
– 各種ポート
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部品・材料 真 空 装 置 及び 装 置 真 空 ポ ン プ 計 測 器・制 御 器 役 務