ヘッド仕様 レーザホロゲージ 0.01µm分解能 レーザホロゲージは、レーザ回折光の干渉現象が測長原理の「ホログラム測長 ●高分解能、高精度 センサ」を搭載した超高精度の測定機です。 分解能0.01µmで、レーザ干渉計並みの分解能での高精度測定が可能です。 ●高安定性※1 コンパクトなボディにまとめたゲージヘッドは、従来のレーザ測長機を機器類 にセットし組立てるコストを大幅に削減するとともに、装置自体の小形化にも 大きく貢献でき、高精度部品の測定や、高精度位置決め・制御装置の測長セン サとしてはもちろん、測定機器類のマスターゲージとしても最適です。 空気のゆらぎや気圧の変化などの環境の影響を受けにくく、極めて高い安定 性を示します。 ●低測定力仕様もラインアップ 用途に応じて低測定力仕様が選択でき、変形しやすい精密金型ワークの測 定も可能です。 ●高信頼性、耐久性 ガイド部分には高精度リニヤボールベアリングを採用し、優れた運動性能と 抜群の耐久性を実現しています。 レーザホロゲージ 0.01µm（10nm）表示 超高精度リニヤゲージ ●0.01µmタイプ 単位：mm 45.4 85 0 25 LGH-110 10（測定範囲） 146 （0.01μmタイプ） レリーズ取付部 φ15h6 -0.011 （取付用ステム径） EH-102S 18 （0.01μmタイプ） 超硬R5測定子 40 10 20 ●意匠登録済（出願国：日本） ケーブル 2m 仕様 タイプ 項目 符号 測定範囲 最小表示量 指示精度（20℃） 繰返し精度（2σ） 戻り誤差 正姿勢 測定力 横姿勢 逆姿勢 出力信号 位置検出センサ 質量 測定子 ステム径 軸受方式 出力ケーブル長 使用温度（湿度）範囲 標準付属品 特別付属品 21 カウンタ仕様 標準形 LGH-110 0.01µmタイプ 低測定力形※2 LGH-110C 0∼10mm 0.01µm 0.1µm※3 0.02µm 0.05µm 約 0.1N 約 0.55N以下 ̶ 約 0.45N以下 ̶ 約 0.35N以下 0.25µmピッチ90°位相差2相正弦波 レーザホログラム測長センサ 200g（ケーブル部含まず） 超硬球面R5（取付ねじ部：M2.5（P＝0.45）×5） 標準測定子No.120058 ø15mm 2m 10∼30℃（20∼80%RH、非結露） キースパナ（測定子交換用）：No.538610 測定スタンド ：No.971750 ホルダA ：No.971751 ホルダB ：No.971752 ダンパ付レリーズ ：No.971753 ※1：特許登録済（出願国：日本、アメリカ）、特許出願中（出願国：ドイツ） ※2：低測定力形は測定力を発生させるスプリングは内蔵されていないため、全 測定範囲での測定力は一定です。しかし、横・逆姿勢での測定はできません。 ※3：指示精度はカウンタとセットの場合の数値です。 ※4：特許登録済（出願国：日本） EH-102S 0.01µm ±999.99999mm プリセット、公差判定、ピーク測定 RS-232C AC100V 50/60Hz 0∼40℃ 144×72×156.7mm 約900g セットコード ※4 リニヤボールベアリング 0.01µm用 なし（セット仕様のため） タイプ コードNo. 符号 最小表示量 表示範囲 機能 出力インターフェイス 電源 使用温度範囲 外観寸法（W×H×D） 質量 符号 EHカウンタ (RS-232C出力付き） 標準価格 1軸セット LGH110-EH LGH110C-EH （標準型） （低測定力形） 542-925 542-926 960,000円 2軸セット LGH110-2EH LGH110C-2EH （標準型） （低測定力形） 542-927 542-928 1,800,000円
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