TURBOVAC (T)350/450i ターボ分子ポンプ 真空性能の大きな飛躍! 今までプロセスを改善することは容易なことではありませんでした。 TURBOVAC (T) 350 iおよび450 iは排気時間、圧力ならびにガスフローの最適 化に 関してお客様のご要求に確実にお答えいたします。 最新のロータ設計とドラッグステージにより、ISO 100, 160のフランジサイ ズ においても最高の排気性能をご提供いたします。 優れた排気性能 最新のロータとドラッグステー ジデザインによって新型 TURBOVAC i シリーズは様々な アプリケーションにおいて最適 な性能をご提供します。 UHVやコンパクトなポンプシス テムとして、TURBOVAC 350 i および450 i はご使用いただく ことができる製品です。水素等 の軽量ガスに対し排気速度は当 社従来比60 %アップしました。 また圧縮比は２桁向上したこと により、従来以上に小型のフォ アポンプで運転することが可能 です。 結果として考えられる限 りの小型排気システムとなり、 イニシャル・ランニングコスト 低減および設置面積の低減の実 現が可能となります。 TURBOVAC T 350 i および T 450 iは立ち上がりが早いため、ガス スループットの高い御用途にも 最適です。 優れた信頼性 メンテナンスとオイルフリー を実現させた独自のハイブ リッドベアリングシステムは 極めて高い信頼性と耐久性を 持ちます。このベアリングシ ステムはオイル交換が必要あ りません。 シャフトシステムの最適化設 計により、従来以上の低振 動・低騒音を実現いたしまし た。これにより音や振動に敏 感な御用途にもご使用可能で す。 ベアリングの冷却は熱源部か ら隔離され、高効率モータに て冷却されます。また、ガス パージにより活性ガスやパ ー ティクルからベアリングを保 護し、ポンプの稼働時間は生 産性同様、大きく向上しま す。 お問い合わせ先 日本エリコンライボルト株式会社 www.oerlikon.com/leyboldbacuum/japn/ 横浜本社: 〒2220033横浜市港北区新横浜3233 Tel: 0454713330, Fax:0454713323, sales.vacuum.yh@oerlikonlcom 大阪支社: 〒5320004大阪市淀川区西宮原1528 Tel: 0663996271, Fax: 0663996273, [email protected]
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