Digital Gauge

DE-BR シリーズ
DE
Accessory
サブミクロンの精密位置検出、
寸法計測を可能にする高精度デジタルゲージです。
アクセサリ（ＤE-BR用）
デジタルゲージスタンド DZ-501（DKシリーズ,U60B,DG-Bシリーズ,DE30BR用） ※DG155BP,205BPを除く
●
高精度、高分解能：精度1μm、分解能0.1μm
●
原点検出機能内蔵により信頼性が向上
●
防塵ベローズ（別売）装着により耐環境性良好： IP64相当
●
測定範囲：12mm（DE12BR）/30mm（DE30BR）
φ40
272
98
主な用途：
□110
φ20
ゲージ取付穴
・精密位置検出：精密測定機器、
半導体関連装置、各種試験機への組込み
・精密寸法計測
デジタルゲージスタンド DZ-521（DKシリーズ,Uシリーズ,DE12BR用）
カウンタ
●定盤材質：アルミナ系セラミックス
（黒褐色）
●定盤平面度：2μm
●定盤サイズ：80（W）
×80（D）mm
●被測定物最大高さ：約105mm
●ゲージ取付穴：φ8mm
●質量：3.8kg
LT30
カウンタ
SZ70-2
アダプタ
MG20-DK
5
16.5
15
固定ネジ
（3-M 3×5）
取付穴φ8
75
デジタルゲージ
I/F ユニット
8.5
φ25
レバー形
クランプ
233
LY71,LY72
アダプタ
□80
SZ70-1
ゲージ
59.5 0∼135.5
DE-BR
カップリング DZ-191
アーム、
支柱間
落下防止用
バネ内蔵
φ18
●
200
132mm
（ケーブル延長については、
お問い合わせください）
100
370
●定盤材質：アルミナ系セラミックス
●定盤平面度：2μm
●定盤サイズ：110（W）
×110（D）mm
●被測定物最大高さ：約190mm
●ゲージ取付穴：φ20mm
●質量：13kg
ナット（M 5）
M2.5
機械移動台
取付ネジ（M 5）
150
88.5
外形寸法図
ベローズセット DZ301（DL330B,DE30BR用）
ベローズセット DZ302（DE12BR用）
DE12BR
延長スピンドル
ベローズ
21
0.7
φ3
φ4
8
（5）
13
■ プラスチック球面測定子
測定子（球）
φ3mmナイロン
■ 超硬平面測定子
■ オフセンタ測定子
測定子（球）
φ1mm鋼球
φ7
■ ピン測定子
M2.5
M2.5
5
M2.5
17.5
5
5
5
M2.5
17
φ4
5.5
●DE12BRにベローズを付けた場合、
スピンドル部分が8mm長くなります。
φ6
25
121.4
3
（ステム）
(5)
30
6 （14.5） 23
5.6
φ8
0
−0.015
16.3
※上記4種類の測定子がセットとなっております。
10
φ5
13.2
16.3
φ7
φ6.5
13.2
6
φ4
エアーレリーズ取付口
5
φ8
（ステム）
（33）
0
−0.015
35
180
5.6
エアーレリーズ取付口
25
測定子セット DZ-5100（DG110B,Uシリーズ,DE12BR/30BRなど用）
ケーブル長 2ｍ
φ5
プリアンプボックス 84
77.9
106
26.5
22
ロ24
ケーフ゛
ル長：0.3ｍ
φ5
φ5.2
1
●DL330B,DE30BRにベローズを付けた場合、
スピンドル部分が25mm長くなります。
（全長191mm）。測定力は標準品より
0.3N程度の増加となります。
5
108
6
21
13
38
φ7.5
38
M2.5
φ4
35
54
φ7.5
M2.5
M2.5
M2.5
24.2
71
19.3
DE30BR
φ1.5
単位：mm
SZ70-1 アダプタ
主な仕様
上方位：0.5±0.3N
横方位：0.75±0.3N
下方位：1±0.3N
ステム径
φ8
使用温度範囲
0
−0.015
mm
ゲージ：DE-BR
カウンタ/インターフェース
ケーブル長
（Φ4.8）
ユニット：LT30, MGシリーズ
2m
測定子
超硬ボール付測定子 DZ-123付属（M2.5p×0.45 ねじ込み）
約400g
54
63
9 36 ±0.1 9
46 ±0.15
4
40
2-φ3.7
84.4
22.8
8.5
13
300
19
±5V 各100mA
17
2.2
SZ70-2 アダプタ
中継アダプタDZ51と併せてご使用ください。
−10∼60℃
消費電力
10.7
２−Ｍ３バーリング
SZ70-2は以下のデジタルゲージDE-BRとインターフェースユニット/カウンタの接続時に必要です。
0∼50℃
保存温度範囲
（15）
54
IP40相当（但し、
スピンドルを除く部分はIP64相当）
（45）
45±0.1
スピンドルを押し込んだ位置より5mm手前位置
保護等級
22
※使用するねじについての詳細は、P54をご覧ください。
22
63
上方位：0.35±0.2N
横方位：0.5±0.2N
下方位：0.7±0.2N
300
19
46 ±0.15
31.5mm
原点位置
質量＊1
併せてご使用ください。）
13.2mm
8.5
9 36 ±0.1 9
1μm
20m/min 原点検出時：0.15m/min
（Φ6.5）
13
測定力（20℃にて）
: DG-**B（中継アダプタDZ51と
1.2
28.6
精度（20℃にて）
最大応答速度
最大可動長
ゲージ： DE-**BR
0.1μm
84.4
22.8
29.8
28.1+0.2
-0
15.5
分解能
SZ70-1は以下のデジタルゲージとカウンタの接続時に必要です。
カウンタ： LH71A, LH72-3, LY71,LY72
45±0.1
30mm
（33）
DE30BR
12mm
1.2
28.6
DE12BR
29.8
28.1+0.2
-0
15.5
型名
測定範囲
10.7
２−Ｍ３バーリング
2.2
17
4
40
2-φ3.7
※単位：mm
約450g
＊1 質量はケーブル部を除いた時の値です。
20
21

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