⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ 㟁Ꮚ㒊ရ⏝㖡ᮦᩱࡢ⭉㣗ᣲື㜵㣗ᢏ⾡
III-㸰 ㈗㔠ᒓࡵࡗࡁࡼࡿ㜵㣗(㸰)
ᑿᓮᩄ⠊ࠊ▼ᕝ㞝୍
๓ሗ㺀㈗㔠ᒓࡵࡗࡁࡼࡿ㜵㣗(㸯)ࠖᘬࡁ⥆ࡁࠊࠕ㈗㔠ᒓࡵࡗࡁࡼࡿ㜵㣗㸦㸰㸧ࠖࢆሗ࿌ࡍࡿࠋ
㸲㸬㸲 㸱ᒙࡵࡗࡁ⭷ Cu ୗᆅ/Ni/Pd/Au ᵓ㐀
୍⯡ࠊከᒙࡵࡗࡁἲࡣࡵࡗࡁసᴗᕤ⛬ࡀ㛗ࡃࠊࡵࡗࡁⰋ⋡ࡀቑࡋࡸࡍ࠸ࡢ࡛ࡵࡗࡁᴗ⪅ࡽ᎘ࢃࢀࠊࡁ࡞࣓
ࣜࢵࢺࡀ⏕ࡲࢀ࡞࠸㝈ࡾ⏝ࡋ㞴࠸ᡭἲ࡛࠶ࡿࠋࡋࡋࠊ1990 ᖺ௦ᮎࠊࢥࢿࢡࢱ᥋Ⅼࡸ࣮ࣜࢻࣇ࣮࣒ࣞᮦ㸱ᒙࡵࡗࡁ
⭷ Cu ୗᆅ/Ni/Pd/Au ᵓ㐀ࡀⓎࡉࢀࠊ2000 ᖺ௦ᐇ⏝ࡉࢀጞࡵࡓ 57)ࠋ
ᙜࡣࠊ㟁Ꮚ㒊ရࡢせồᶵ⬟ࡀᣑࡍࡿඹ⣲ᮦ Au ౯᱁ࡀ㧗㦐ࡋጞࡵࠊ㸰ᒙࡵࡗࡁ Cu ୗᆅ/Ni/Au ᵓ㐀ࡢᐇ⏝ᛶ
㝜ࡾࡀぢ࠼ጞࡵࡓࠋࡑࡋ࡚ࠊᮏ㟁Ꮚ㒊ရࡢ Au ⏝㔞ࢆ࠸ᑡ࡞ࡃࡍࡿ㸽ዲࡲࡋࡃࡣ⪏㣗ᛶࢆࡶୖࡆࡓ࠸ࡢせồࡀ
㧗ࡲࡗ࡚࠸ࡓࠋ
ࡇࡇ࡛㸪㸱ᒙࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀ࡘ࠸࡚㏙ࡿ๓ࠊཧ⪃ࡋ࡚ᖹᮏࡽ
58)ࡼࡿ㸰ᒙࡵࡗࡁ⭷
Cu ୗᆅ/Ni/Au ᵓ㐀ࡢ⪏㣗
ᛶࡘ࠸࡚㏙ࡿࠋᅗ 4-9 ࡣ Cu ୗᆅ/Ni/Au ᵓ㐀㸦Au ࡵࡗࡁ⭷ཌӌ㸯ȣm㸧ࢆ᥇⏝ࡋࡓ IC ࣓࣮ࣔࣜ࢝ࢻࡢ⭉㣗≧ἣ࡛
࠶ࡿࠋ
a)Au䜑䛳䛝⭷᥋Ⅼ䚸Cuୗᆅ/Ni/Auᵓ㐀
䛻䛚䛡䜛䝢䞁䝩䞊䝹䛻ἢ䛳䛯⭉㣗ᦆയ
䝢䞁䝩䞊䝹䜢㏻䛧䛶⾲㠃䛻
ᯒฟ䛧䛯⭉㣗⏕ᡂ≀
200ʅm
b)᥋ゐⰋ䜢㉳䛣䛧䛯䠥䠟䜹䞊䝗᥋Ⅼ䚸Cu
ୗᆅ/Ni/Auᵓ㐀䛾⾲㠃≧ἣ
ᅗ4-9 Cuୗᆅ/Ni/Auᵓ㐀䚸䠥 䠟䜹䞊
䝗᥋Ⅼ䛾⭉㣗≧ἣ
ฟ㸸ᖹᮏᢳ㸹᭱᪂⭉㣗ゎᯒ⭉㣗
デ᩿ἲࠊࢸࢡࣀࢩࢫࢸ࣒ࠊp.662(2008))
ሁ✚䛧䛯
⭉㣗⏕ᡂ≀
┿ a)ࡣ Au ࡵࡗࡁ⭷᥋Ⅼࡢ⭉㣗ᦆയ࡛࠶ࡿࠋࣆ࣮ࣥ࣍ࣝἢࡗࡓⅬ≧⭉㣗ࡀከᩘⓎ⏕ࡋࠊNi ࡵࡗࡁ⭷࠾ࡼࡧ Cu ୗ
ᆅᮦࡢ⭉㣗⏕ᡂ≀ࡀ Au ࡵࡗࡁ⭷⾲㠃ࡲ࡛ᾋฟ࡚࠸ࡿࠋ┿ b)ࡣ᥋ゐⰋࢆ㉳ࡇࡋࡓ㹇㹁࣮࢝ࢻ᥋Ⅼࡢ⾲㠃≧ἣ࡛࠶ࡿࠋ
᥋Ⅼ⾲㠃ࡣ࣮࢝ࢻࡢᤄᢤࡁక࠸ᥙࡁ㞟ࡵࡽࢀࡓ⭉㣗⏕ᡂ≀ࡸࡈࡳ࡞ࡀሁ✚ࡋ࡚࠸ࡿࠋሁ✚≀ࡀከ㔞✚ࡍࡿ᥋
ゐ㟁Ẽᢠࡀቑࡋㄗືసࡋࡸࡍࡃ࡞ࡿࠋࡇࡢࡼ࠺㸰ᒙࡵࡗࡁ⭷ Cu ୗᆅ/Ni/Au ᵓ㐀ࡣ⏝⎔ቃࡀཝࡋ࠸ᶵ⬟㞀ᐖ
1
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ Ⓨᒎࡋࡸࡍࡃᑐ⟇ࡀồࡵࡽࢀࡿࠋࡑࡋ࡚ࠊᙜࡣࠊAu ࡵࡗࡁ⭷ཌࡉࢆ㸰ȣ㹫⛬ᗘࡲ࡛ቑࡸࡉ࡞࠸㝈ࡾᮏᦆയࡣ㜵Ṇ࡛
ࡁ࡞࠸⪃࠼ࡽࢀ࡚࠸ࡓࠋ
ࡇࡇ࡛ࠊ1990 ᖺ௦ᮎࠊ㛗㇂ᕝࡽ
59㸧ࡼࡾୖグ㸰ᒙࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀ࡢᨵⰋ⟇ࡋ࡚㸱ᒙࡵࡗࡁᵓ㐀ࠊCu
ୗᆅ/Ni/Pd/Au
ᵓ㐀ࡀᥦࡉࢀࡓࠋᮏ≉チࡣᴟⷧ࠸୰㛫 Pd ࡵࡗࡁ⭷ࢆࡍࡿࡇ࡛⭷ཌࡀྠࡌ࡛࠶ࡗ࡚ࡶ Au ࡵࡗࡁ⭷㉁ࡀ⦓ᐦ࡞
ࡿࡢ᪂Ⓨぢᇶ࡙࠸࡚࠸ࡿࠋࡍ࡞ࢃࡕࠊᚑ᮶ࡢᖖ㆑ࡋ Ni ࡵࡗࡁ⭷ୖ┤᥋ Au ࡵࡗࡁ⭷ࢆࡋࡓሙྜẚ୰
㛫 Pd ࡵࡗࡁ⭷ࢆࡍࡿ Au ࡵࡗࡁ⭷⢏Ꮚࡀ⣽ࡃ⭷◳ᗘࡀ㧗ࡃ࡞ࡾࠊࡣࢇࡔࢀᛶࠊ࣡ࣖ࣎ࣥࢹࣥࢢᛶࡀᨵၿ
ࡉࢀࡿࡋ࡚ὀ┠ࡉࢀࡓࠋ
㏆ᖺࠊᩪ⸨ࡽ 60)ࡣࠊࡇࡢ≉␗࡞⌧㇟ࡢⓎ⏕ཎᅉࡘ࠸᳨࡚ウࡋࡓࠋCu ୗᆅ/Ni5/Au0.3 ᵓ㐀 Cu ୗᆅ/Ni5/Pd0.3/Au0.1
ᵓ㐀(ඹ 200Υ1hr ຍ⇕ᚋ)ࢆẚ㍑ࡋࠊAu ࡵࡗࡁ⭷◳ᗘࡣ๓⪅ࡀ HV:200 ࡛࠶ࡿᑐࡋᚋ⪅ࡀ HV:530 ࡞ࡿࡇࢆ᫂
ࡽࡋࡓࠋࡲࡓࠊ᭱እᒙࢆ Auger ศᯒࡋࡓ⤖ᯝࠊ๓⪅ࡣ Ni ࡀᚤ㔞᳨ฟࡉࢀࡿࡶࡢࡢᚋ⪅ࡣ㠀᳨ฟ࡛࠶ࡾࠊJIS Z3197
ࡼࡿࡣࢇࡔࢀᗈࡀࡾ⋡,㹑㹐ࡣ๓⪅ࡀ 77.3㸣ᑐࡋᚋ⪅ࡀ 90.2%㸦ᚋ⪅ࡀⰋዲ㸧࡛࠶ࡿࡋࡓࠋ
ࡓࡔࡋࠊࡣࢇࡔࢀᗈࡀࡾ⋡,㹑㹐㸻㸦D-H㸧/D100(%)ࠊ
D㸸ࡣࢇࡔ⌫ࡢ┤ᚄ(mm)ࠊ
H㸸230Υ30sec ຍ⇕ᚋࡢᗈࡀࡗࡓࡣࢇࡔ⌫㧗ࡉ(mm)
ᩪ⸨ࡽ 60)ࡣࠊࡇࢀࡽࡢᣲືࡢⓎ⏕ཎᅉࡋ࡚๓⪅ᵓ㐀ࡢሙྜࠊ↓㟁ゎ Au ࡵࡗࡁᕤ⛬࠾࠸࡚ Ni ࡵࡗࡁ⭷ࡢࣆ࣮ࣥ࣍
ࣝࡀᣑࡋ㸦Au ⨨ᛂࡼࡾ Ni ࡵࡗࡁ⭷⾲㠃ᒙࡢ⁐ゎࡼࡿ㸧
ࠊࣆ࣮ࣥ࣍ࣝࢆࡋ࡚ Ni ࡀ Au ࡵࡗࡁ⭷⾲㠃྿ࡁ
ୖࡀࡿࡓࡵㄝ᫂ࡋࡓࠋ୍᪉ࠊᚋ⪅ࡢሙྜࡣ୰㛫 Pd ࡵࡗࡁ⭷ࡀ⦓ᐦ࡞ࡢ࡛ࡵࡗࡁ⭷ᡂ㛗ࡢᘏ㛗⥺ୖ࠶ࡿ Au ࡵࡗࡁ⭷
ࡶ⦓ᐦ࡞ࡿ᥎ ࡋࡓࠋࡓࡔࡋࠊࡇࡢẁ㝵࡛ࡍࡿ Pd ࡵࡗࡁ⭷ࡀ࡞ࡐ⦓ᐦ࡞ࡿࡣゐࢀ࡚࠸࡞࠸ࠋ
ḟࠊPd ࡣ⼥Ⅼࡀ 1555Υ Ni ࡼࡾࡶ 100Υ㧗ࡃ Ni/Au 㛫ࡢྜ㔠ᣑᩓ㞀ቨࡋ࡚స⏝ࡍࡿⅬࡶぢ㏨ࡏ࡞࠸ࠋబ⸨ࡽ 61)
ࡣࠊCu ୗᆅ/Ni/Pd/Au-Co ᵓ㐀࠾࠸࡚ Pd ࡵࡗࡁ⭷ࢆࡍࡿ Ni Au-Co 㛫⏕ࡎࡿ㔠ᒓ㛫ྜ≀ࡢ⏕ᡂࢆᢚไࡍ
ࡿࡇࡀ࡛ࡁࡿࡋࡓࠋࡑࡢ㜵Ṇࡢࡓࡵࡣ Pd ࡵࡗࡁ⭷ࢆࡋ࡞࠸ሙྜࠊAu-Co ࡵࡗࡁ⭷ཌࢆ 0.3ȣm ࡍࡿᚲせࡀ
࠶ࡿࡀࠊPd ࡵࡗࡁ⭷ࢆࡋࡓሙྜࡣ 0.1ȣm ࡛ࡶ㔠ᒓ㛫ྜ≀ࡢ⏕ᡂ࠾ࡼࡧ⭉㣗ᦆയࡀᢚไࡋ࠼ࡿࡋ࡚࠸ࡿࠋ
ࡇࢀࡽࡢᣲືࡼࡾࠊ㸱ᒙࡵࡗࡁ⭷ Cu ୗᆅ/Ni/Pd/Au ᵓ㐀࠾ࡅࡿ୰㛫 Pd ࡵࡗࡁ⭷ࡢస⏝ࡑࡢᶵ⬟ࡣ௨ୗぢࡿࡇ
ࡀ࡛ࡁࡿ 62)㹼65)ࠋ
స⏝ϸ㸧Au ࡵࡗࡁ⭷⏕ᡂ㐣⛬㸸Ni ࡵࡗࡁ⭷ୖ┤᥋ Au ࡵࡗࡁ⭷ࢆ⏕ᡂࡍࡿ Au ࡢ⨨ᯒฟᛂࡼࡾ Ni ࡵࡗࡁ
⭷⾲㠃ࡀ⢒ࢀࠊAu ࡵࡗࡁ⭷ࡣࡑࡢ⢒ࢀࢆ⥅⥆ࡍࡿࡢ࡛⢒㞧࡞ࡵࡗࡁ⭷ࡀᙧᡂࡍࡿࠋ୍᪉ࠊ୰㛫 Pd ࡵࡗࡁ⭷ࡀᏑᅾࡍࡿ
ࠊNi ࡵࡗࡁ⭷ࡢ⢒ࢀࡣ⥅⥆ࡉࢀ࡞࠸ࡢ࡛⦓ᐦ࡞ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡀ⏕ᡂࡍࡿ 62)ࠋ
స⏝Ϲ㸧Pd ࡵࡗࡁ⭷㉁㸸Pd ࡵࡗࡁ⭷ࡣᖹᛶ↓Ꮝ㉁ᛶඃࢀࡿэࡑࡢ⤖ᯝࠊPd ࡵࡗࡁ⭷ୖ࠾ࡅࡿ Au ࡵࡗࡁ⭷
ᡂ㛗ᐤࡍࡿэࡑࡢ⤖ᯝࠊᖹᛶ࡛ࡘࣆ࣮ࣥ࣍ࣝࡀᑡ࡞࠸ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡀ⏕ࡌࡿэࡑࡢ⤖ᯝࠊࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘࡢῶᑡ
ࡼࡾ⪏㣗ᛶࡀᨵၿࡉࢀࡿ 63)ࠋࡲࡓࠊAu ࡵࡗࡁ⭷ࡢ࣐ࢡࣟᙧែࡶᖹᆠ࡞ࡿࡢ࡛࣡ࣖ࣎ࣥࢹࣥࢢᛶࡀᨵၿࡉࢀࡿ 63)ࠋ
స⏝Ϻ㸧Pd ࡵࡗࡁ⭷ࡢᙉᗘ㸸Pd ࡵࡗࡁ⭷ࡣ㧗◳ᗘ㸦HV:240㹼290㸧࡛࠶ࡿэࡑࡢ⤖ᯝࠊAu ࡵࡗࡁ⭷ୖࢆ᥋Ⅼࡀᦾື
ࡋࡓ㝿ࠊAu ࡵࡗࡁ⭷ࡢᶵᲔⓗᏳᐃᛶ㸦⪏㞳ᛶ㸧ࢆྥୖࡉࡏࡿэࡑࡢ⤖ᯝࠊAu ࡵࡗࡁ⭷ᑐࡍࡿ₶ᶵ⬟ࢆቑࡍэࡑ
ࡢ⤖ᯝࠊ᥋Ⅼࡢືᦶ᧿ಀᩘࡀῶᑡࡋᦾືᛶ⬟ࡀྥୖࡍࡿ 62)ࠋࡓࡔࡋࠊ₶ᛶࡣ Pd ࡵࡗࡁ⭷ཌࡼࡾኚࡍࡿࡢ࡛ࠊ⏝
ࡍࡿᶵჾẖ㸦᥋Ⅼᅽຊࠊᤄᢤᅇᩘ࡞㸧᭱㐺࡞ Pd ࡵࡗࡁ⭷ཌࢆ㑅ᢥࡍࡿᚲせࡀ࠶ࡿࠋ
స⏝ϻ㸧Pd ࡢᣑᩓᢚไ⬟㸸Pd ࡣ㧗⼥Ⅼ࡞ࡢ࡛ᣑᩓᢚไ⬟ࡀ㧗࠸эࡑࡢ⤖ᯝࠊNi/Au 㛫୰㛫 Pd ࡵࡗࡁ⭷ࡀᏑᅾࡍࡿ
ࡢ࡛ Au ⾲㠃 Ni ࡢᣑᩓࢆᢚไࡍࡿэࡑࡢ⤖ᯝࠊ㧗 Ẽ୰࡛ Au ࡵࡗࡁ⭷ୖ Ni 㓟≀ࡀᙧᡂࡉࢀ࡞࠸эࡑࡢ⤖ᯝࠊ
㸰ᒙࡵࡗࡁᵓ㐀ẚ࣡ࣖ࣎ࣥࢹࣥࢢᛶࡀపୗࡋ࡞࠸ࠋ
స⏝ϼ㸧Pd ࡢ⪏㓟ᛶ࣭⪏◲ᛶ㸸Pd ࡣ⪏㣗ᛶඃࢀ࡚࠸ࡿэࡑࡢ⤖ᯝࠊAu ࡵࡗࡁ⭷⾲㠃ୗᆅ㔠ᒓࡢ㓟≀ࡀ⏕
2
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ᡂࡋࡃ࠸эࡑࡢ⤖ᯝࠊ㸰ᒙࡵࡗࡁᵓ㐀ẚࡣࢇࡔࢀᛶࡸᦾືᛶࡀపୗࡋ࡞࠸ࠋ
స⏝Ͻ)ࡣࢇࡔ⁐⼥ᛶ㸸Pd ࡣ⁐⼥ࡣࢇࡔᑐࡋ㐺ᗘ࡞⁐⼥ᛶࢆ᭷ࡍࡿэࡑࡢ⤖ᯝࠊ༢ᒙ Au ࡵࡗࡁ࡛ࡣ Au ࡀ㐣ᗘ⁐
⼥ࡋ㠧ᢤࡅⰋࡀฟࡸࡍ࠸э㠃ࠊPd ࡵࡗࡁ⭷ࢆ⏝ࡍࡿ㠧ᢤࡅⰋࡀ⏕ࡌࡃ࠸ࠋ
స⏝Ͼ㸧⪏࣐ࢢ࣮ࣞࢩࣙࣥᛶ࣭⪏࢘ࢫ࢝ᛶ㸸Pd ࡣ࣐ࢢ࣮ࣞࢩࣙࣥࡸ࢘ࢫ࢝ࡀࢇⓎ⏕ࡋ࡞࠸эࡑࡢ⤖ᯝࠊ
Ag ࡵࡗࡁ⭷㒊ရⓎ⏕ࡍࡿ࣐ࢢ࣮ࣞࢩࣙࣥᦆയ࠶ࡿ࠸ࡣ Sn ࡵࡗࡁ㒊ရⓎ⏕ࡍࡿ࢘ࢫ࢝ၥ㢟ࢆ⪃៖ࡍࡿࡇ࡞ࡃ
㒊ရᵓ㐀ࢆタィ࡛ࡁࡿࠋ
స⏝Ͽ㸧Pd ࡢ⣲ᮦ㔠ᒓ౯᱁㸸Pd ࡣ౯᱁ࡀኚືࡋᏳᐃࡋ࡞࠸ࡀࠊAu ẚࡰ್༙๓ᚋ࡛࠶ࡿэࡑࡢ⤖ᯝࠊAu ⏝
㔞ࡀῶᑡ࡛ࡁࡿࡢ࡛㒊ရ౯᱁ࢆୗࡆࡿࡇࡀྍ⬟ࠋ
௨ୖࡼࡾࠊᐇ㒊ရᵓ㐀ࡣస⏝ᶵ⬟㒊ရ౯᱁ࢆ⪃៖ࡋ㐺ᐅỴᐃࡉࢀࡿࠋ௨ୗࡣ㐺⏝࡛࠶ࡿࠋ
ձ
ղ
Cu ୗᆅ/Ni0.5/Pd0.05/Au0.02 ᵓ㐀㸦ࢥࢿࢡࢱ࣮⏝㸧62)
Cu ୗᆅ/Ni5㹼8/Pd0.07/Au0.04 ᵓ㐀㸦࣮ࣜࢻࣇ࣮࣒ࣞ⏝㸧65)
ճ Cu ୗᆅ/Ni-P6/Pd0.06㹼0.19/Au0.03㹼0.04 ᵓ㐀㸦࣮ࣜࢻࣇ࣮࣒ࣞ⏝ࠊ㧗ᙉᗘ࡞ Ni-P ྜ㔠ࡢ⏝ࡣࡣࢇࡔࡅᙉᗘ
ᫎࡉࢀࡿ㸧62)㹼65)ࠋ
մ
Cu ୗᆅ/Ni1㹼3/Pd-Ni0.2㹼1/Au0.03㹼0.05/Au-Co0.03㹼0.05(࣓࣮ࣔࣜ࢝ࢻ⏝ࠊPd-Ni ྜ㔠࠾ࡼࡧ Au-Co ྜ㔠ࢆ
⏝)58),66)㸪
ᤄᢤ䛝᪉ྥ
ᦶ⪖䛚䜘䜃⭉㣗㊧
1mm
a)Cuୗᆅ/Ni3/Au0.5ᵓ㐀
㸦㸰ᒙࡵࡗࡁᵓ㐀㸧
b)Cuୗᆅ/Ni3/Pd1/Au0.034ᵓ㐀
㸦㸱ᒙࡵࡗࡁᵓ㐀㸧
ᅗ ຎヨ㦂ᚋ࠾ࡅࡿ࣓࣮࣮ࣔࣜ࢝ࢻ᥋Ⅼࡢ⾲㠃≧ἣ
ฟ㸸ᖹᮏᢳ㸹᭱᪂⭉㣗ゎᯒ⭉㣗デ᩿ἲࠊࢸࢡࣀࢩࢫࢸ࣒ࠊp.663(2008)
㸰ᒙࡵࡗࡁᵓ㐀ࡢ࣓࣮࣮ࣔࣜ࢝ࢻ᥋Ⅼ⾲㠃ࡣᦶ⪖࠾ࡼࡧ⭉㣗㊧ࡀぢࡽࢀࡿࠋ
୍᪉ࠊ㸱ᒙࡵࡗࡁᵓ㐀ࡢሙྜࡣᦆയࡀⓎ⏕ࡋ࡚࠸࡞࠸ࠋ
ᖹᮏ 58)ࡣࠊୖグ࣓࣮ࣔࣜ࢝ࢻ࠾ࡅࡿᤄᢤࡁ≉ᛶࢆ᳨ウࡋࡓࠋࡑࡢ⤖ᯝࢆᅗ 4-10 ♧ࡍࠋ┿ a) Cu ୗᆅ/Ni3/Au0.5
ᵓ㐀ࡣᤄᢤࡁ᪉ྥ⥺≧ࡢᦶ⪖࠾ࡼࡧ⭉㣗㊧ࡀぢࡽࢀࡿࠋ୍᪉ࠊ┿ b) Cu ୗᆅ/Ni3/Pd1/Au0.034 ᵓ㐀ࡣࡃ↓യ࡛࠶
ࡿࠋࡇࡢࡼ࠺୰㛫 Pd ࡵࡗࡁ⭷ࡢຠᯝࡀṔ↛⾲ࢀ࡚࠸ࡿࠋ
ᮏࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀ࡣᚑ᮶ᵓ㐀ẚ㧗౯࡞ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡀⷧࡃ࡚ࡶඃࢀࡓ⪏㣗ᛶࢆ♧ࡍࡇࡽᐇ⏝ⓗ౯್ࡀ㧗࠸ࠋ࡞࠾ࠊ
ᖹᮏࡣ࣓࣮ࣔࣜ࢝ࢻ⏝㒊ရࡢ≉チㄳồ⠊ᅖࡋ࡚ࠊCu ୗᆅ/Ni1㹼3/Pd-Ni0.2㹼1/Au0.03㹼0.05 ࡲࡓࡣ Au-Co0.03㹼0.05
ࢆᥦࡋ࡚࠸ࡿ 66)ࠋ
ḟࠊᖹᮏࡼࡿ Cu ୗᆅ/Ni3/Pd1/Au0.034 ᵓ㐀࣓࣮ࣔࣜ࢝ࢻࡢᤄᢤヨ㦂⤖ᯝࠝΰྜ࢞ࢫ⭉㣗ヨ㦂ࠞࢆ⾲ 4-4 ♧ࡍ
58)ࠋa)㸰ᒙࡵࡗࡁ⭷
Cu ୗᆅ/Ni3/Au0.5 ᵓ㐀ࡣ 1.2104 ᅇࡢᤄᢤヨ㦂ࡼࡾᦾື᪉ྥἢࡗ࡚ᦶ⪖⭉㣗㊧ࡀⓎ⏕ࡋ࡚
࠸ࡿࠋ୍᪉ࠊb)3 ᒙࡵࡗࡁ⭷ Cu ୗᆅ/Ni3/Pd1/Au0.034 ᵓ㐀ࡣ 1.2104 ᅇࡢᤄᢤヨ㦂࡛↓യ࡛࠶ࡾࠊa)ᵓ㐀ẚ᱁ẁ
3
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ඃࢀ࡚࠸ࡿࡇࡀ᫂ࡽ࡛࠶ࡿࠋ
௨ୖࡼࡾࠊ୰㛫 Pd ࡵࡗࡁ⭷ࢆ⏝ࡋࡓ㸱ᒙࡵࡗࡁἲࡢඃᛶࡀ⌮ゎࡉࢀࡿࠋ᪉ࠊᮏࡵࡗࡁᵓ㐀ࡢ▷ᡤࡸ⏝㝈⏺
⎔ቃ᮲௳࡞㛵ࡍࡿグ㏙ࡣぢࡽࢀࡎࠊࡑࡢ☜ㄆࡀṧࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋ
ఱࢀࡋ࡚ࡶࠊᮏࡵࡗࡁᵓ㐀ࡣ 2010 ᖺ௦௨㝆ࠊᚋ㏙ࡍࡿᵝࠎ࡞᪂つࡵࡗࡁᡭἲࡀᥦࡉࢀ࡚࠸ࡿࡶࡢࡢࠊ⥲ྜⓗぢ
࡚ᮏᡭἲࢆࡁࡃୖᅇࡿᵓ㐀ࡣぢฟࡉࢀ࡚࠸࡞࠸ࠋࡑࡢព࡛ᮏࡵࡗࡁᵓ㐀ࡢᕤᏛⓗ࣭ᐇ⏝ⓗព⩏ࡣࡁ࠸ࡼ࠺࡛࠶ࡿࠋ
⾲ 4-4 Cuୗᆅ/ Ni3/ Pd1/ Au0. 034ᵓ 㐀࣓ࣔࣜ ࣮࢝ࢻࡢ ᤄᢤヨ㦂⤖ ᯝ
ࠝΰྜ࢞ ࢫ⭉㣗ヨ㦂 ࠞ
ฟ 㸸ᖹᮏ ᢳ㸹᭱᪂⭉㣗 ゎᯒ⭉㣗 デ᩿ἲࠊࢸࢡࣀ ࢩࢫࢸ࣒ࠊp .66 3(2 008) ࡼࡾࠊᢤ ⢋
ࡵ ࡗࡁ⭷ ᵓ㐀
ᤄᢤ ヨ㦂⤖ ᯝ
a)Cuୗᆅ/ Ni3/Au0.5
㸦 㸰ᒙࡵ ࡗࡁᵓ㐀 㸧
1. 210 4 ᅇࡢᤄᢤ ἢࡗ࡚ ᦶ⪖⭉ 㣗ࡀⓎ⏕
b)Cuୗᆅ
/ Ni3/Pd1/ Au0.034
㸦3ᒙ ࡵࡗࡁᵓ 㐀㸧
1. 210 4 ᅇࡢᤄᢤ ヨ㦂࡛↓യ ࠊ
a)ᵓ㐀 ẚAuࡵࡗ ࡁཌࡉࡀ ⷧࡃࠊᏳ౯ 〇
సྍ ⬟
㸲㸬㸳 ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀
㟁Ꮚ㒊ရ⏝ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ࡣᵝࠎ࡞ྜ㔠⣔㸦 ඖ࠾ࡼࡧ ඖ⣔㸧ࡀ᳨ウࡉࢀࠊࡑࢀࡽࡢᛶ㉁ࡣྜ㔠⤌ᡂࠊࡵࡗࡁ⭷ᡂ㛗
≧ែࠊ㔠ᒓྜ≀ࡢᯒฟ≧ែ࡞ࡼࡾᵝࠎኚࡋࠊ┠ⓗἢࡗࡓࡵࡗࡁ⭷ࡀᚓࡿࡇࡀฟ᮶ࡿࠋ୍᪉ࠊྜ㔠ࡵࡗࡁࡣ
ࡵࡗࡁసᴗక࠺ࡵࡗࡁᾮ⃰ᗘ⟶⌮ࡀ↹㞧࡛㸦ྜ㔠ᡂศ⃰ᗘࡀ೫ࡿ㸧ࡵࡗࡁᴗ⪅ࡣ᎘ࢃࢀ࡚࠸ࡿࠋࡇࡇ࡛ࡣࠊ⭉㣗ᛶ
㛵ࡍࡿグ㏙ࡀぢࡽࢀࡿ $J3G ྜ㔠ࠊ$J3W ྜ㔠ࠊ1L3G ྜ㔠࠾ࡼࡧ $X&X ྜ㔠ࡵࡗࡁࡘ࠸࡚㏙ࡿࠋ
㸲㸬㸳㸬㸯 &X ୗᆅ$J3G ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀
Ag-Pd ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ࡣ⣧ Ag ࡵࡗࡁẚ㧗◳ᗘ࡛࠶ࡾࠊᶵᲔⓗᛶ㉁ࠊ⪏ᦶ⪖ᛶࠊ⪏㣗ᛶࠊࡣࢇࡔࡅᛶ࡞ඃࢀࠊ
᥋ゐ㟁Ẽᢠࡀ Au ྠ➼࡛࠶ࡿ࡞ࠊከࡃࡢⅬࡽࣉࣜࣥࢺᇶᯈࠊࢥࢿࢡࢱ࣮࡞㟁Ꮚ㒊ရ୍⯡ᗈࡃ⏝ࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋ
ᮏࡵࡗࡁ⭷ࡣࡵࡗࡁ᮲௳㸦ࡵࡗࡁᾎࠊpHࠊ㟁ὶᐦᗘ࡞㸧ࡼࡾ⭷㉁ࡀᵝࠎኚࡋࠊࡑࢀࡽࢆㄪ⠇ࡍࡿࡇ࡛
┠ⓗࡍࡿ⭷㉁㸦⤌ᡂࠊ◳ᗘࠊ⤖ᬗᏊࢧࢬ㸧ࢆᚓࡿࡇࡀฟ᮶ࡿ 67)ࠋࡲࡓࠊᮏࡵࡗࡁ⭷ࡣ Ag ࡵࡗࡁ⭷ẚởᰁ
Ẽ୰㸦≉ H2S㸧࠾ࡅࡿ⪏㣗ᛶඃࢀࡿඹࠊ࣐ࢢ࣮ࣞࢩࣙࣥឤཷᛶࡀ Ag ẚ㸯᱆⛬ᗘᑠࡉ࠸ࡇࡶᮏࡵࡗࡁ
⭷ࡢ⏝㏵ࢆቑࡸࡋ࡚࠸ࡿ 68)ࠋ
ࡇࡇ࡛ࠊ୍⯡ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ࡣ⣧㔠ᒓࡵࡗࡁ⭷ẚࠊ⦓ᐦ࡛࠶ࡿࡶࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘࡀᑠࡉ࠸ࡇࡀ▱ࡽࢀ࡚࠸
ࡿࠋAg-Pd ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ࡢሙྜࡣࡵࡗࡁ⭷ཌࡀ 2ȣm ௨ୖ࡞ࡿࣆ࣮ࣥ࣍ࣝࡀࢇᾘኻࡋࠊୗᆅᮦᑐࡍࡿ⎔ቃ㐽
᩿ຠᯝࡀ᱁ẁⰋࡃ࡞ࡿࡢሗ࿌ࡀ࠶ࡿ 69)ࠋ
ḟࠊAg-Pd ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ࡣ᥋Ⅼᦾື㒊ရ⏝ࡍࡿ⣧ Pd ࡵࡗࡁ⭷ẚᦾືక࠺ Brown powder ࡀⓎ⏕ࡋࡃ
ࡃ⪏ᦶ⪖ᛶࡢᨵၿຠᯝࡀᮇᚅࡉࢀࡿ 70)ࠋ
ࡲࡓࠊAg-Pd ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ࡢ⪏㣗ᛶࡣࣂࣝࢡ㔠ᒓࡽ㢮᥎ࡉࢀࡿᖖ㆑ࡋࠊ㧗౯࡞ Ag-Pt ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ࡼࡾࡶඃࢀ
࡚࠸ࡿࠋࡍ࡞ࢃࡕࠊ50Υࠊ75%RHࠊH2S:500ppbࠊ60 ᪥㛫ヨ㦂࠾ࡅࡿࡵࡗࡁ⭷⾲㠃ࡢ᥋ゐ㟁Ẽᢠࡣ๓⪅ࡀࠝᢠ⋡
ኚ࡞ࡋࠞᑐࡋࠊᚋ⪅ࡣᢠ⋡ࡀ㸲㸣ቑࡋࡓࡍࡿヨ㦂⤖ᯝࡀ࠶ࡿ 71)ࠋ
4
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ 㸲㸬㸳㸬㸰 &X ୗᆅ$J3W ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀
$J3W ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ࡣ $J ࡢࡵࡗࡁ⭷ࡢ◳ᗘୖ᪼ࢆ┠ⓗࡋ࡚㛤Ⓨࡉࢀࡓࠋᮏࡵࡗࡁ⭷ࡢ⭉㣗ᦆയࡘ࠸࡚ࡣࠊ௨
ୗࡢࡀ▱ࡽࢀ࡚࠸ࡿࠋ
ࢭ࣑ࣛࢵࢡࢫᇶᯈ/$J3W ᵓ㐀ࡽ࡞ࡿ㏻ಙ⨨⏝ᇶᯈᑟయࣃࢱ࣮ࣥࡣ 27Υࠊ70%RH ⎔ቃ୰࡛㸯ᖺ㛫⛬ᗘ⏝ᚋࠊ⭉
㣗ᦆയࡋࡓ 72)ࠋ⭉㣗⏕ᡂ≀ࡣ Ag2S ࡀ᳨ฟࡉࢀࡓࡇࡽࠊቨᮦࡽᨺฟࡉࢀࡓ H2S ࢞ࢫࡼࡿ⭉㣗⁐ゎ᥎ᐃࡉࢀ
ࡿࠋࡇࡇ࡛ࠊAg-Pt ࡵࡗࡁ⭷ࡢ⪏㣗ᛶࡣୖ㏙ࡋࡓࡼ࠺ᐇ⏝ᶍᨃ⎔ቃ୰࠾ࡅࡿ Ag-Pd ࡵࡗࡁ⭷ࡼࡾຎࡗ࡚࠸ࡿࠋᮏ
⭉㣗ᦆയᑐ⟇ࡣࠊ◳ᗘୖࡢไ⣙ࡀチࡏࡤ $J3W ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷௦࠼࡚ࢭ࣑ࣛࢵࢡࢫᇶᯈ/$J3G ᵓ㐀ࢆ⏝ࡍࡿࡇࡀ᭷ຠ
࡛࠶ࡿࠋ
㸲㸬㸳㸬㸱 &X ୗᆅ3G㸫1L ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀
80Pd-20Ni ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ࡣ⪏㣗ᛶࠊ⪏ᦶ⪖ᛶࠊ᥋ゐᢠࡢⅬ࡛ Au ࡵࡗࡁ⭷‽ࡎࡿ≉ᛶࢆ᭷ࡍࡿඹ㐺ᗘ◳ࡃᰂ
㌾ᛶ⪏ᦶ⪖ᛶඃࢀ࡚࠸ࡿ 73),74)ࠋ
Cu ୗᆅ/Ni/Au/Pd-Ni ᵓ㐀ࢆࢩ࢙࣮ࣂࡢ㟁➃Ꮚ⏝ࡋࡓ⤖ᯝࠊCu ୗᆅ/Ni/Au ᵓ㐀ẚ⪏㣗ᛶ࠾ࡼࡧ⪏ᦶ⪖ᛶ
ඃࢀࡿࡇࡀ☜ㄆࡉࢀࡓ
75)ࠋࡇࢀࡣ◳㉁࡞
Pd-Ni ࡵࡗࡁ⭷ࡀ㌾㉁ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡼࡾୗ᪉ࡽᰂ㌾ᨭ࠼ࡽࢀࡿࡓࡵ
ㄝ᫂ࡋ࡚࠸ࡿࠋ
ࡇࡢࡼ࠺ࠊPd-Ni ࡵࡗࡁ⭷ࡣ Ni ࡵࡗࡁẚ⪏ᦶ⪖ᛶ࠾ࡼࡧ⪏㣗ᛶඃࢀ࡚࠸ࡿࠋ㸲✀ΰྜ࢞ࢫヨ㦂㸦H2SࠊSO2ࠊ
NO2ࠊCl2 ΰྜ࢞ࢫ㸧࠾࠸࡚ Pd-Ni ࡵࡗࡁ⭷ࡣࡢ Pd ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ẚඃࢀࡓ⪏㣗ᛶࢆ᭷ࡋࠊࡑࡢ⪏㣗ᛶᗎิࡣᴫ
␎௨ୗ࡛࠶ࡿࡇࡀ▱ࡽࢀ࡚࠸ࡿ 73)ࠋ Pd-Ni ྜ㔠>Au-Pd ྜ㔠>Au-Ag-Pd ྜ㔠>Ag-Pd ྜ㔠>Au-Ag ྜ㔠㸦ྑ᪉ྥ㐍ࡴక࠸⪏㣗ᛶࡀపୗ㸧.
ࡇࢀࡽࡢ⪏㣗ᛶᗎิࡣࣂࣝࢡ㔠ᒓࡽ㢮᥎ࡉࢀࡿᖖ㆑ࡋࠊ㧗౯࡞㈗㔠ᒓྜ㔠ࡀᚲࡎࡋࡶ⪏㣗ᛶඃࢀ࡚࠸ࡿヂ࡛ࡣ
࡞࠸ࠋࡑࡢⓎ⏕ཎᅉ㸦ࡵࡗࡁ⭷ᙧᡂ᮲௳ࡢ㐪࠸㸽㸧ࡑࡢ☜ㄆࡀṧࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋ
㸲㸬㸳㸬㸲 &X ୗᆅ$X&X ྜ㔠࠾ࡼࡧ $X3G&X ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀
$X&X ྜ㔠࠾ࡼࡧ $X3G&X ྜ㔠ࡵࡗࡁࡣ⣧ $X ࡵࡗࡁ⭷ẚ㧗◳ᗘ࡞ࡿࡢ࡛ࠊࢥࢿࢡࢱ࣮᥋ゐ㠃࡞ᗈࡃ⏝ࡉ
ࢀ࡚࠸ࡿࠋࡑࡢ◳ᗘࡣ⾲ ♧ࡍࡼ࠺ &X ྵ᭷㔞ࡀቑࡍక࠸㧗◳ᗘ࡞ࡗ࡚࠸ࡿ ࠋ
୍᪉ࠊ⪏㣗ᛶࡘ࠸࡚ࡣࠊ㈨ᩱࡀぢᙜࡓࡽ࡞࠸ࠋ
⾲ 4-5 Au-Cu ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ࡢ◳ᗘ
$X ྜ㔠ࡵࡗࡁ⤌ᡂ
◳ᗘ
⏝ࡵࡗࡁᾎ
Au-Cu:2wt%
HV:250
ள◲㓟 Au ࡵࡗࡁᾎ
Au-Cu:3 wt%
320
Au-Cu:5 wt%
330
Au-Cu:6 wt%
340
Au-Cu:7 wt%
380
Au-Ni:8 wt%
237
Au-Pd:3 wt%-Cu:10 wt%
362
Au-Pd:5 wt%-Cu:15 wt%
437
EDTA ῧຍள◲㓟 Au ࡵࡗࡁᾎ
㸲㸬㸴 ከᒙࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀
㸲㸬㸴㸬㸯 &X ୗᆅගἑ 1L↓ගἑ 1L ⭷ᵓ㐀
5
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ከᒙࡵࡗࡁࡣ␗࡞ࡿ㔠ᒓࡵࡗࡁ⭷ࢆከᩘᅇ㔜ࡡ࡚ࡵࡗࡁࡍࡿᡭἲ࡛࠶ࡿࠋ༢୍ࡵࡗࡁ⭷ࡣ༢୍ᛶ⬟ࡋᮇᚅ࡛ࡁ࡞࠸ࡀࠊ
␗࡞ࡿ㔠ᒓ⭷ࢆ㔜ࡡ࡚ࡵࡗࡁࡋ࡚࠾ࡅࡤ」㞧࡞せồᛶ⬟⟅࠼ࡽࢀࡿྍ⬟ᛶࡀ࠶ࡿࠋ
๓㏙ࡋࡓࡼ࠺ࠊ⮬ື㌴⏝㒊ရ࠾࠸࡚ )H ୗᆅ↓ගἑ 1L ࡵࡗࡁ ගἑ 1L ࡵࡗࡁ 6 &U ࡵࡗࡁ ᵓ㐀ࡀ
ࢃࢀ࡚࠸ࡿࠋࡇࡇ࡛ࠊගἑ 1L ࡵࡗࡁ⭷㸦ࡵࡗࡁᾎῧຍࡽ 6 ᡂศࡀΰධ㸧ࡣ↓ගἑ 1L ࡵࡗࡁ⭷ẚ⪏㣗ᛶࡀపࡃ
ඃඛ⁐ゎࡋࡸࡍ࠸ࠋࡑࡢ⤖ᯝࠊගἑ 1L ࡵࡗࡁ⭷ࡀᶓ᪉ྥඃඛ⁐ゎࡍࡿࡇ࡛῝ࡉ᪉ྥࡢ⭉㣗ᾐ㣗ࡀᢚไࡉࢀࡿຠᯝ
ࡀᮇᚅࡉࢀࡿ ࠋ
ᮏࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀ࡣ &X ୗᆅࡢ㟁Ẽ㒊ရࡶ㐺⏝ࡉࢀࠊ୍㒊ࡢ㟁ຊࢣ࣮ࣈࣝ⏝➃Ꮚ⏝ࡉࢀ࡚࠸ࡿ ࠋ
㸲㸬㸴㸬㸰 &X ୗᆅ$J6Q$J6Q ⭷ᵓ㐀
&X ୗᆅ$J6Q$J6Q ࡵࡗࡁ⭷ࡣ≉ᐃ⭉㣗ᡂศࡼࡾ୍㒊ࡢࡵࡗࡁ⭷ࡀ⭉㣗ᾘኻࡋࡓࡋ࡚ࡶࠊࡑࡢୗࡑࡢ⭉㣗ᡂศ
ᙉ࠸ู㔠ᒓࡵࡗࡁ⭷ࡀᏑᅾࡍࢀࡤᦆയࢆ㍍ῶࡋ࠼ࡿྍ⬟ᛶࡀ࠶ࡿࠋ
ࡓ࠼ࡤࠊCu ࡣ H2SࠊNH3 ࡼࡾ⭉㣗ࡋࡸࡍ࠸ࡀࠊSO2 ࡣ⪏㣗ᛶࢆ᭷ࡍࡿ㸦๓ሗࠊ㈗㔠ᒓࡵࡗࡁࡼࡿ㜵㣗㸦1㸧ࠊ
⾲ 3-3 ཧ↷㸧ࠋ୍᪉ࠊNi ࡣ SO2,NO2,Cl2 ࡼࡾ⭉㣗ࡋࡸࡍ࠸ࡀࠊH2S,NH3 ࡣ⪏㣗ᛶࢆ᭷ࡍࡿࠋࡋࡓࡀࡗ࡚ࠊCu Ni
ࢆ㔜ࡡ࡚ࡵࡗࡁࡋ࡚࠾ࡅࡤࠊ⭉㣗ᡂศࡼࡽࡎࡕࡽࡢࡵࡗࡁ⭷ࡀ⭉㣗ᦆയࢆ㍍ῶࡉࡏࡿྍ⬟ᛶࡀ࠶ࡿࠋ
ḟࠊࡵࡗࡁ⭷ཌࡀྠ୍࡞ሙྜࠊከᒙࡵࡗࡁࡣ༢ᒙࡵࡗࡁẚୗᆅࡲ࡛㐃⥆ࡋࡓࣆ࣮ࣥ࣍ࣝࢆῶᑡࡍࡿຠᯝࡀᮇᚅࡉ
ࢀࡿࠋࡵࡗࡁ⭷ࡀ༢୍㔠ᒓࡢሙྜࡣࠊࣇ࣮ࣉ᮲ࡢ㐃⥆ࡵࡗࡁᕤ⛬࡛ࡵࡗࡁ㟁ὶࢆ୍㐽᩿㸦ࡵࡗࡁᾮࡽ⿕ࡵࡗࡁ≀ࢆ୍
ᾋୖ㸧ࡍࡿࡇ࡛ࠊᐇ㉁ⓗከᒙࡵࡗࡁ⭷ࡍࡿᡭἲࡀ࠶ࡿࠋᮏᡭἲࡣ㔜ࡵࡗࡁࡶࡤࢀࠊ⭉㣗ᾐ㣗ࡢ῝ࡉ᪉ྥ
ࡢ㐍⾜ࢆᢚไࡍࡿᡭἲ࡛࠶ࡿ
79)ࠋᮏࡵࡗࡁᡭἲࡣ〇ရࡋ࡚᫂グࡉࢀᏑᅾࡋ࡞࠸ࡶࡢࡢࠊࡵࡗࡁ〇㐀⌧ሙ࠾࠸࡚ࡵࡗ
ࡁⰋᑐ⟇ࡢ୍ࡘࡋ࡚᪥ᖖⓗ⏝ࡉࢀࡿࠋ
㸲㸬㸴㸬㸱ࠊ &X ୗᆅ1L&X1L ⭷ᵓ㐀
ᑠ᪩ᕝࡣ
ࠊ&X ୗᆅ1L&X1L ᵓ㐀ࢆ⏝࠸ ືᦶ⪖ヨ㦂㸦Ⲵ㔜㸸1 ㊥㞳㸸PP㸧࠾ࡅࡿ㉁㔞ᦆ
ኻࢆ ᐃࡋࡓࠋࡑࡢ⤖ᯝࠊᮏࡵࡗࡁ⭷ࡢᦶ⪖㔞ࡣ༢୍ &X ࡵࡗࡁ⭷ࡢ ࠊ༢୍ 1L ࡵࡗࡁ⭷ࡢ ῶᑡࡍࡿࡇࢆ♧ࡋ
ࡓࠋࡇࡢᣲືࡀ⏕ࡌࡿཎᅉࡣ㏙ࡽࢀ࡚࠸࡞࠸ࡀࠊ࠾ࡑࡽࡃᦶ⪖ヨ㦂࠾࠸࡚ &X ࡵࡗࡁ⭷ࡀ₶ࡋ࡚ࠊ◳㉁ 1L ࡵࡗ
ࡁ⭷ࡀᦾືⲴ㔜ࢆᨭ࠼ࠊ┦స⏝ࡍࡿࡇ࡛ዲࡲࡋ࠸₶≧ែࡀᚓࡽࢀࡓ᥎ ࡉࢀࡿࠋᮏࡵࡗࡁᵓ㐀ࡣ⌧Ⅼ࡛㟁Ꮚ
㒊ရ᥇⏝ࡉࢀࡓࡀぢࡽࢀ࡞࠸ࡶࡢࡢࠊᦾືᛶ⬟ࡀၥ㢟࡞ࡿⷧ⭷᥋Ⅼ㒊ရ㐺⏝ࡉࢀࡿྍ⬟ᛶࡀ࠶ࡿࠋ
㸲㸬7 ศᩓࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀
ศᩓࡵࡗࡁࡣ」ྜࡵࡗࡁࡶࡤࢀࠊศᩓ┦ࡋ࡚⢊య⢏Ꮚࡸᚤ⣽⧄⥔ࢆࡵࡗࡁ⭷୰ྵࡴ」ྜ⓶⭷࡛࠶ࡿࠋ㟁Ꮚ㒊ရ
ࡢሙྜࡣࠊୗᆅᮦࡋ࡚ AuࠊAgࠊNi ࡞ࡀ⏝ࡉࢀࠊศᩓ┦ࡣ PTFE(ࢸࣇࣟࣥ)ࠊ SiCࠊSiO2ࠊCࠊAl2O3 ࡞ࡢᚤ
⢏Ꮚࡀ⏝ࡉࢀࡿࠋࡑࡢ⤌ᡂࡸศᩓ≧ែࢆ㑅ᢥࡍࢀࡤ◳ࡉࠊ᧕Ỉᛶࠊᰂ㌾ᛶࠊ⮬ᕫ₶ᛶࠊ⪏ᦶ⪖ᛶࠊ⪏㣗ᛶࢆᨵⰋࡍࡿ
ࡇࡀᮇᚅࡉࢀࡿ 81)ࠊ82)ࠋ
SiC ⢊ᮎࢆྵ᭷ࡉࡏࡓሙྜࡣ㧗◳ᗘ㸦HV=650㹼1200㸧࡞ࡢ࡛ඃࢀࡓᦾື≉ᛶࢆ᭷ࡍࡿ 83)ࠋྠᵝࠊSn-Ni ྜ㔠ࡵࡗ
ࡁ⭷୰ࢼࣀࢧࢬࢩࣜ࢝ᚤ⢏Ꮚࢆศᩓࡉࡏࡓሙྜࡣ⪏㣗ᛶࡀᨵၿࡉࢀࡿࠋᮏศᩓࡵࡗࡁἲࡣ᥋Ⅼ㒊ရࡢ㐺⏝ࡀᮇᚅࡉ
ࢀࡿ 84)ࠋ
㹁⢏ᏊࠊAl2O3,⢏ᏊࠊZrB2 ⢏Ꮚ࡞ࢆྵࡴ Ag ࡵࡗࡁ⭷ࡣ⪏ᦾືᛶࡀᨵၿࡉࢀࡿ 85)ࠋAl2O3,⢏Ꮚࢆྵࡴ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡣ
㟁Ẽ᥋Ⅼ⏝⪏ᦶ⪖ᮦࡋ࡚ᗈࡃ▱ࡽࢀ࡚࠾ࡾࠊᐇ⏝ࡶከ࠸ 86).87)ࠋ
Ni-P ࡵࡗࡁ⭷୰ PTFE ⢏Ꮚࢆ 20wt%⛬ᗘྵ᭷࣭ศᩓࡉࡏࡓࡵࡗࡁ⭷ࡣ⮬ᕫ₶ᛶࠊᦾືᛶ࠾ࡼࡧ᧕Ỉᛶࡀඃࢀࡿࡇ
ࡀ▱ࡽࢀ࡚࠾ࡾࠊ㟁Ẽ㒊ရ࠾࠸࡚᪂ࡓ࡞⏝㏵࡞ࡿྍ⬟ᛶࡀ࠶ࡿ 88)ࠋ
6
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ Cu ୗᆅ/Ni-PTFE 」ྜࡵࡗࡁࠝPTFE ྵ᭷㔞㸼15㸣ࠞࡀ▱ࡽࢀ࡚࠸ࡿࠋᮏฎ⌮ᮦࡣỈࡢ᥋ゐゅࡀ 70r⛬ᗘ࠶ࡾࠊỈ
ࢆࡣࡌࡃࡢ࡛⭉㣗ᛂࡀᢚไࡉࢀᢠ⳦ᛶࡶඃࢀࡿࠋࡲࡓࠊ㧗◳ᗘ㸦HV㸻300㹼600㸧࡞ࡢ࡛ᦾືᛶࡶඃࢀࡿࠋࢫࢡࣜ
࣮࣓ࣥࢵࢩࣗࠊࣥࢸࢼࠊࣟࣥᗏᯈ࡞ᐙ㟁ရ⏝ࡉࢀ࡚࠸ࡿ 89)ࠋ
㸲㸬㸶 㠀ᬗ㉁ࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀ࠊࣃࣝࢫࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀
㸲㸬㸶㸬㸯 㠀ᬗ㉁ࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀
㠀ᬗ㉁ Ni-P ࡵࡗࡁ⭷ࡣ⤖ᬗ㉁ Ni ࡵࡗࡁ⭷ẚ㧗⪏㣗ᛶ࡛࠶ࡾᢠ⳦ᛶࡶඃࢀ࡚࠸ࡿࡇࡀ▱ࡽࢀ࡚࠸ࡿࠋࡲࡓࠊ
ࡵࡗࡁ⭷୰ࡢࣆࣥ࣍̿ࣝᐦᗘࡀ⤖ᬗ㉁ Ni ࡵࡗࡁ⭷ẚ᱁ẁᑠࡉ࠸≉ᚩࡀ࠶ࡿࠋ
ࡓ࠼ࡤࠊNi-P ࡵࡗࡁ⭷ࡢ⪏㣗ᛶࡣ P ྵ᭷㔞ࡀ 0㹼9wt%㸦⤖ᬗ㉁㸧࡛ᕪ࡞࠸ࡀࠊ9㹼15.7wt%㛫࡛㠀ᬗ㉁࡞ࡿ
క࠸ᛴୖ᪼ࡋ Ni-15.7wt%P㸦㠀ᬗ㉁㸧࡛᭱࡞ࡾࠊ⭉㣗㟁ࡀ 400mV ྥୖࡋศᴟ㟁ὶࡀ㸯᱆పୗࡍࡿࠋࡑࡋ࡚ࠊ⭷
ཌࡀ 15ȣm ௨ୖ࡞ࡿࣆ࣮ࣥ࣍ࣝࡀࢇ↓ࡃ࡞ࡿࡢ࡛ᴟࡵ࡚ඃࢀࡓ⪏㣗ᛶࢆ♧ࡍ 90)ࠋ
⏣ᡤࡣ 91)ࠊCu ୗᆅ/ Ni-P1/Au0.8 ᵓ㐀࠾࠸࡚ࠊNi ࡵࡗࡁ⭷௦࠼࡚ Ni-P ࡵࡗࡁ⭷㸦P>10wt%ࠊ㠀ᬗ㉁㸧ࢆ⏝࠸ 3
✀ΰྜ࢞ࢫ⭉㣗ヨ㦂࠾ࡅࡿ⪏㣗ᛶࢆ᳨ウࡋࡓࠋࡑࢀࡽࡢヨ㦂⤖ᯝࢆᅗ 4-11 ♧ࡍࠋP ྵ᭷㔞㸦ᅗ୰㹶㸻P ⃰ᗘ㸧ࡀ 0%(⤖
ᬗ㉁)࠾ࡼࡧ 6.2%(⤖ᬗ㉁㸩㠀ᬗ㉁ΰྜ⤌⧊)࡛ࡣࠊヨᩱ⾲㠃ከᩘࡢⅬ≧⭉㣗ᦆയ㸦 Cu ⭉㣗⏕ᡂ≀㸧ࡀⓎ⏕ࡋ࡚࠸
ࡿࡶࡢࡢࠊ12.2㸣(㠀ᬗ㉁)࡛ࡣ⭉㣗ᦆയࡀࡃぢࡽࢀ࡞࠸ࠋ
⏣ᡤࡣ
91㸧ࠊࡇࡢཎᅉࡀࡵࡗࡁ⭷ᅛ᭷ࡢᛶ㉁㸪ࡍ࡞ࢃࡕࡵࡗࡁ⭷ᙧᡂ㐣⛬࡛Ỉ⣲࢞ࢫࡀ྾ⶶࡉࢀࡓ㉸ከ㔞✵Ꮝ㸦㧗ᅽỈ
⣲㞺ᅖẼ࠾࠸࡚⇕ᖹ⾮ࢆ㉸࠼ࡓ㐣࡞✵Ꮝ㸧ࡢᙧᡂ࠶ࡿࡋࠊࣂࣝࢡ Ni ẚ Ni ࡵࡗࡁ⭷ࡣ㉸ከ㔞✵ᏍࡀᏑᅾࡍ
ࡿࡢ࡛ୗᆅ Cu ᡂศࡀᣑᩓᐜ࡛᫆࠶ࡾࠊAu ࡵࡗࡁ⭷⾲㠃 Cu ᡂศࡀᾋୖࡋࡸࡍࡃ࡞ࡿࡓࡵࡋࡓࠋ୍᪉ࠊNi-P 㠀ᬗ㉁
⭷ࡣ Ni ࡵࡗࡁ⭷ẚᣑᩓ㏿ᗘࡀᑠࡉࡃ Cu ᡂศࡢ Au ࡵࡗࡁ⭷ୖࡢᾋୖࢆ㜼ᐖࡍࡿ᥎ ࡋࡓࠋࡇࡇ࡛ࠊୖグࡵࡗ
ࡁᵓ㐀≀࠾ࡅࡿ⭉㣗ᛂࡣࠊୗᆅ Cu ᡂศࡀ Ni ࡵࡗࡁ⭷ࢆ㏻㐣ࡋ Au ࡵࡗࡁ⭷⾲㠃ᣑᩓࡋࡓᚋⓎ⏕ࡍࡿ⪃࠼ࡽࢀ
ࡿࡢ࡛ࠊࡇࡢ㐣⛬ࡀᢚไࡉࢀࡿ⭉㣗ᛂ㏿ᗘࡀῶᑡࡍࡿㄝ᫂ࡋ࡚࠸ࡿ 91㸧ࠋ
D⤖ᬗ㉁1Lࡵࡗࡁ⭷
1Lࡵࡗࡁ⭷
E⤖ᬗ㉁㸩㠀ᬗ㉁ΰྜࡵࡗࡁ⭷
1L3ࡵࡗࡁ⭷
F㠀ᬗ㉁ࡵࡗࡁ⭷
1L3ࡵࡗࡁ⭷
ヨᩱ㸸 &Xୗᆅ1L3ࡵࡗࡁ $Xᵓ㐀
䠏✀ΰྜ䜺䝇⭉㣗ヨ㦂䛊35Υ䚸70䠂RH,H2S:10ppb,SO2:100ppb,NO2:200ppb䚸
30hrヨ㦂䛋
ᅗࠊ 3ྵ᭷㔞㸦;ZW㸧ࢆኚࡉࡏࡓ1L3ࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀ࡢ⭉㣗ヨ㦂⤖ᯝ
ฟ㸸⏣ᡤ⩏ᾈᏱ㒔ᐑᏛᏛㄽᩥࠕ㟁Ꮚ㒊ရࡢ⪏㣗ᛶⓎ⌧࣓࢝ࢽࢬ࣒⪏㣗ᛶྥୖ㛵ࡍࡿ
◊✲ࠖS㹼㸦㸧
㠀ᬗ㉁ࡵࡗࡁ⭷ࡢẚᢠࡣ 12%P-Ni ᮦࡀ⣧ Ni ẚ 10 ಸࡁ࠸(120ȣȐ)ࠋࡲࡓࠊNi-P ࡵࡗࡁ⭷ࡣ㸼250Υ࡛ຍ⇕ࡍ
ࡿ⤖ᬗࡋ࡚㧗◳㉁㸦HVҸ800)࡞ࡾࢀࡸࡍࡃࠊ㟁Ꮚ㒊ရࡋ࡚ࡑࡢࡲࡲ⏝࡛ࡁࡿ⠊ᅖࡣẚ㍑ⓗ㝈ᐃࡉࢀࡿࠋ
7
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ࡇࡢࡼ࠺㠀ᬗ㉁ࡵࡗࡁ⭷㉁ࡀ⤖ᬗ㉁ࡵࡗࡁ⭷㉁␗࡞ࡿ⌮⏤ࡣࠊa)⤖ྜ≧ែࡢ㐪࠸ࠊb)⭉㣗㛤ጞⅬ࡞ࡿ⤖ᬗ⢏⏺ࡀ
Ꮡᅾࡋ࡞࠸ࠊc) Ni ࡢඃඛ⁐ゎࡼࡾ P ྜ≀ࡀ⾲㠃ᙧᡂࡉࢀࡿࠊ࠶ࡿ࠸ࡣືែ⓶⭷୰㹎ࡀ⃰⦰ࡍࡿࠊࡓࡵࡉࢀ
࡚࠸ࡿ 92)ࠊ93)ࠋ
ḟࠊNi-Mo-W ࡵࡗࡁ⭷ࡣ Mo㸼30wt%࡛㠀ᬗ㉁࡞ࡾࠊMo㸺30wt%ࡢ⤖ᬗ㉁ࡵࡗࡁ⭷ẚඃࢀࡓ⪏㣗ᛶࢆ♧ࡍ
ࡇࡶ▱ࡽࢀ࡚࠸ࡿ 94)ࠋࡇࢀ௨እࡶ㠀ᬗ㉁ࡵࡗࡁ⭷ࡣᩘࡀ▱ࡽࢀᐇ⏝ࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋ
௨ୖࡼࡾࠊNi-P ࡛௦⾲ࡉࢀࡿ㠀ᬗ㉁ࡵࡗࡁ⭷ࡣ࣮ࣜࢻࣇ࣮࣒ࣞ࡞࠾࠸࡚⤖ᬗ㉁ Ni ࡵࡗࡁ⭷ࡢᨵ㉁⟇㸦㧗◳ᗘࠊ
⪏㣗ᛶᨵၿ㸧ࡋ㐺⏝ࡉࢀ࡚࠾ࡾࠊᚋࡣࡉࡽ⏝㏵ࡀᣑࡍࡿᛮࢃࢀࡿࠋ
㸲㸬㸶㸬㸰 ࣃࣝࢫࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀
ࣃࣝࢫࡵࡗࡁࡣࠊࡵࡗࡁ㟁ὶࢆ㛫Ḵⓗ㸦2QWLPH2IIWLPH ࡢẚࢆ Duty cycle ࡪ㸧࠼ࡿᡭἲ࡛࠶ࡾࠊ┤
ὶࡵࡗࡁ㸦㐃⥆㏻㟁㸧ẚࡵࡗࡁ⭷㉁ࡢᨵⰋ᭷ຠ࡞ሙྜࡀ࠶ࡿ ࠋ
ࡇࢀࡣ㟁ὶᐦᗘࡢᑠࡉ࠸ 1Lࠊ3Gࠊ$X ࡞ᑐࡋࡵࡗࡁ⭷ࡢᙧᡂ㐣⛬࠾ࡅࡿᣑᩓᒙཌࡉࡵࡗࡁ㔠ᒓ࢜ࣥࡢ౪
⤥㏿ᗘ㛵㐃ࡋࠊDuty cycle ࡀᑠࡉ࠸ᐇ㉁ⓗᣑᩓᒙཌࡉࡀῶᑡࡍࡿྠ➼࡞ຠᯝࢆ᭷ࡍࡿࡓࡵ࡛࠶ࡿࠋࡑࡢ⤖ᯝࠊࣃࣝ
ࢫࡵࡗࡁ⭷ࡣ㐃⥆㏻㟁ࡵࡗࡁ⭷ẚ⦓ᐦ࡞ࡵࡗࡁ⭷ࡀᙧᡂࡉࢀࡿࡇࡀ࠶ࡿࠋDuty cycle ࢆ᭱㐺ࡍࢀࡤࠊࡵࡗࡁ⭷
ࡢᚤ⣽⢏ࠊࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘࡢῶᑡࠊ⪏㣗ᛶࡢྥୖࠊ㧗◳ᗘ࣭㧗ᦶ⪖ᛶࠊ㠀ᬗ㉁ࡵࡗࡁࡢస〇ࠊ࡞᭷ຠࡉࢀ࡚࠸ࡿ
ࠋ
⾲ 㸴ࡣ┤ὶ࠾ࡼࡧࣃࣝࢫࡵࡗࡁ࠾ࡅࡿ Au ࡵࡗࡁ⭷ཌࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘࡢ㛵ಀ࡛࠶ࡿࠋ┤ὶࡵࡗࡁẚࣃࣝࢫࡵ
ࡗࡁࡣ⭷ཌࡢቑక࠸ࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘࡀῶᑡഴྥ࠶ࡾࠊ⭷ཌࡀ 0.8ȣ㹫⛬ᗘ࡞ࢀࡤᮏࡵࡗࡁᡭἲࡀຠᯝࢆⓎࡋ࡚
࠸ࡿ 95)ࠋࡇࡢࡼ࠺ࠊࣃࣝࢫࡵࡗࡁἲ࡛ࡣࠊ┤ὶࡵࡗࡁᡭἲ࡛ࡣᚓࡃ࠸⭷㉁ࢆᚓࡿࡇࡀฟ᮶ࡿࠋ
⾲ 4-6 ࣃࣝࢫ Au ࡵࡗࡁἲ࠾ࡅࡿࡵࡗࡁ⭷ཌࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘࡢ㛵ಀࠊ
$X ࡵࡗࡁ⭷ཌ
┤ὶࡵࡗࡁἲ㸦$GP㸧
ࣃࣝࢫࡵࡗࡁἲ㸦'XW\F\FOH㸸㸧
ȣP
ࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘ ࣨFP
ࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘ㸸 ࣨFP
ࡋࡋࠊࣃࣝࢫ㟁※⨨ࡣ㧗౯࡛࠶ࡾࠊDuty cycle ࢆᑠࡉࡃタᐃࡍࢀࡤ On time 㛫ࡢῶᑡక࠸ࡵࡗࡁసᴗ⬟⋡ࡀ
పୗࡍࡿࢹ࣓ࣜࢵࢺࡶ࠶ࡾࠊᗈࡃᬑཬࡉࢀ࡚࠸ࡿࡣゝ࠸㞴࠸ࠋ
ḟࠊูࡢࡵࡗࡁᡭἲࡋ࡚ࠊ㉸㡢Ἴࡵࡗࡁࠊ࣮ࣞࢨ࣮ࡵࡗࡁࡀ▱ࡽࢀ࡚࠸ࡿࠋࡇࢀࡽࡣࡵࡗࡁ㐣⛬࡛㉸㡢Ἴ࠶ࡿ࠸ࡣ
࣮ࣞࢨ࣮ගࢆ↷ᑕࡋࡘࡘࡵࡗࡁࡍࡿᡭἲ࡛࠶ࡿࠋ๓⪅ࡣࠊNi ୗᆅ/Ag ᵓ㐀࠾࠸࡚㉸㡢Ἴࢆ↷ᑕࡍࡿᶵᲔⓗᨩᢾస⏝
㸦ቃ⏺ᒙཌࡉࡢῶᑡࡼࡿ㔠ᒓ࢜ࣥᣑᩓ㔞ࡀቑ㸧ࡼࡾ Ag ࡵࡗࡁ⭷ࡀ⦓ᐦ࡞ࡾࣆࣥ࣍̿ࣝᐦᗘࡀῶᑡࡍࡿࡇ࡛
Ni ୗᆅᑐࡍࡿ⿕そ⋡ࡀྥୖࡋࡓࡢሗ࿌ࡀ࠶ࡿ 96)ࠋ
࣮ࣞࢨ࣮ࡵࡗࡁࡣᒁ㒊ᆅⅬ᮰࣮ࣞࢨගࢆ↷ᑕ㸦ᒁ㒊ⓗ ᗘୖ᪼㸧ࡋࡘࡘࡵࡗࡁࡍࡿࡇ࡛ࠊ┠ⓗᆅⅬྜࢃࡏ࡚
Ⅼ≧࡛ᚤ⣽࡞ࡵࡗࡁ⭷ࢆ࠼ࡿᡭἲ࡛࠶ࡿࠋࡇࢀࡽࡢᡭἲࡣࣘࢽ࣮ࢡ࡛࠶ࡿࡶࡢࡢ◊✲ẁ㝵ࢆ⬺ࡋ࡚࠸࡞࠸ࡼ࠺࡛࠶ࡿࠋ
㸲㸬㸷 㔠ᒓ㛫ྜ≀ࡢᵓ㐀
ࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀㔠ᒓ㛫ྜ≀ࢆ⏝ࡍࡿࢹࡣྂࡃࡽᏑᅾࡋࠊAgࠊAuࠊNi ࡵࡗࡁ⭷ᑐࡋࠊᵝࠎ࡞㔠ᒓ㛫
8
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ྜ≀ Ag3SnࠊAg-SiࠊAu-BiࠊAu-PbࠊAu-SiࠊNi-Bi ࢆࡍࡿᡭἲࡀ▱ࡽࢀ࡚࠸ࡿ 97))ࠋ
ᮏᡭἲࡣ┠ⓗྜࢃࡏ㔠ᒓྜ≀ᒙࡢ⤌ᡂࠊྜ≀ᙧែࡑࡢศᕸ࡞ࢆ⪃៖ࡋ⏕ᡂ᮲௳ࢆ㐺ᐅ㑅ᢥࡍࡿࡇࡀ࡛ࡁ
ࡿ
97)ࠋ
ࡇࡇ࡛ࠊ㔠ᒓ㛫ྜ≀㸦୍⯡◳㉁࡛⬤࠸㸧ࡣඹ᭷⤖ྜᛶࡀᙉࡃࠊ㔠ᒓ⤖ྜࡽ࡞ࡿ㔠ᒓࡵࡗࡁ⭷ẚ᱁ẁඃࢀࡓ
⪏㣗ᛶࢆ᭷ࡋ࡚࠸ࡿࠋቑࡽ 97)ࡣࠊ㔠ᒓ㛫ྜ≀ Ni3P+Ni5P2 ࢆྵࡴ Ni-15.7wt%P ࡵࡗࡁ⭷㔠ᒓ Ni ࡵࡗࡁ⭷ࡢ⪏
㣗ᛶࢆẚ㍑ࡋࠊ๓⪅ࡀ᱁ẁඃࢀ࡚࠸ࡿࡇࢆ☜ㄆࡋ࡚࠸ࡿࠋ
᭱㏆ࠊ࿋ࡽࡣ
98)㹼101)ࠊᏳ౯࡛ࡵࡗࡁసᴗࡀᐜ᫆࡞
Ag Sn ࢆ⤌ࡳྜࢃࡏ࡚ࡵࡗࡁࡋࠊ᭱እᒙᏳᐃ࡞㔠ᒓ㛫ྜ≀
Ag3Sn ⢏㸦Ȝ┦ࠊ㧗⼥Ⅼࠊ⪏㓟ᛶࠊᑟ㟁ᛶ㸧ࢆᙧᡂࡉࡏࡿᡭἲࢆ㛤Ⓨࡋࡓࠋᮏᡭἲࡣ Sn ࡵࡗࡁ⭷ୖ Ag ࡵࡗࡁ⭷ࢆ
㹼ᩘ༑ nm ཌࡉ࡛ࡋࡓᚋࠊ⇕ฎ⌮ࢆࡍࡇ࡛⾲㠃ᒙ㸯ȣ㹫ࢧࢬࡢ⢏≧ Ag3Sn ࢆࣛࣥࢻ≧ᙧᡂࡉࡏࡓࡢ
ࡀ≉ᚩ࡛࠶ࡿࠋ
ࡑࡢእほᙧែ࠾ࡼࡧ㔠ᒓ⤌⧊ࢆᅗ 4-12 ♧ࡍࠋᮏࡵࡗࡁ⭷ࡢ᩿㠃ᵓᡂࡣ Cu ୗᆅ/ Cu6Sn5/ Sn/Ag3Sn ࡛࠶ࡾࠊᡤᐃࡵ
ࡗࡁ⭷ࢆ㧗 ⇕ฎ⌮ࡍࡿࡵࡗࡁ⭷㛫࡛┦ᣑᩓࡉࡏࠊࡵࡗࡁ⭷᭱እᒙᏳᐃ࡞ᓥ≧⢏Ꮚ Ag3Sn ࠾ࡼࡧ SnO2࣭CuO ࡀ
⾲㠃ࢆそࡗ࡚ᙧᡂࡉࢀࡿࠋ
ࡑࡢ⤖ᯝࠊᮏࡵࡗࡁ⭷ࡣ⪏⇕ᛶࡸ⪏㣗ᛶࡀ᱁ẁྥୖࡍࡿඹࠊᦾືక࠺᥋ゐ㟁Ẽᢠࡢୖ᪼ࡀᢚไࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋ
ࡉࡽᓥ≧⢏Ꮚࡢ⏕ᡂక࠸⾲㠃ࡢᅽ⦰ᛂຊࡀ⦆ࡉࢀࡿࡢ࡛ࠊSn ࡵࡗࡁ⭷Ⓨ⏕ࡋࡸࡍ࠸࢘ࢫ࣮࢝ࡢⓎ⏕ࡀᢚไࡉ
ࢀࡿࡋ࡚࠸ࡿ 98)㹼101)ࠋ
ࡑࢀࡽࡢ⤖ᯝࠊᮏ㛤Ⓨࡵࡗࡁ⭷ࡣᚑ᮶ࡢ Sn ࡵࡗࡁ⭷ẚ⾲㠃ᑟ㟁ᛶࠊ⪏⇕ᛶࠊ᥋ゐ㟁ẼᢠࡢᏳᐃᛶࠊ⪏㓟ᛶࠊ
ࠊ
⪏◲ᛶࠊ⪏࢘ࢫ࣮࢝ᛶ࡞ඃࢀࡿࡋ࡚࠸ࡿ
102)㹼104)ࠋᮏ㛤Ⓨࡵࡗࡁ⭷ࡣ㈗㔠ᒓ
Au ࢆ⏝ࡋࡓᚑ᮶ࡢࢥࢿࢡࢱ࣮
ᵓ㐀ẚ᱁ẁᏳ౯࡛࠶ࡾࠊ㧗 ࡛⏝ࡉࢀࡿ⮬ື㌴⏝㟁㒊ရ᭷ᮃᛮࢃࢀࡿࠋ
ࡇࡢࡼ࠺㔠ᒓ㛫ྜ≀ࢆࡵࡗࡁᡭἲ⏝ࡍࡿᢏ⾡ࡣࠊྜ≀ࡢᙧែࡸศᕸࢆ┠ⓗἢࡗ࡚ࢹࢨࣥࡍࡿ」㞧ࡉࢆ᭷
ࡍࡿࡶࡢࡢࡁ࡞ᑗ᮶ᛶࢆ⛎ࡵࡓᢏ⾡ゝ࠼ࠊ࠸࡞ࡿ㣕㌍ࡀᮇᚅࡉࢀࡿࠋࡓࡔࡋࠊᚋࡣ㐺⏝〇ရἢࡗࡓࡵࡗࡁ⭷ᵓ
ᡂ㸦⭷ᙧែࡢࢹࢨࣥ㸧ࡢ᭱㐺࠾ࡼࡧ〇ရࡋ࡚ࡢᐇドヨ㦂ࡀṧࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋ
b䠅 &Xୗᆅ6Q$Jᵓ㐀᩿㠃ᙧែ
a)&Xୗᆅ6Q$Jᵓ㐀ࡢ⾲㠃ᙧែ
ᅗ
&Xୗᆅ6Q$Jᵓ㐀࠾ࡅࡿ㔠ᒓ㛫ྜ≀$J6Q⢏ࡢ⏕ᡂ≧ἣ
ฟ㸸6J=KX&KXNXUH +LWDVKL \DVKLUR(7& 7UDQVDFWLRQS㹼
9
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ 㸲㸬㸯㸮 ⾲㠃ฎ⌮㸦ࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘࡢῶᑡࡵࡗࡁἲࠊᑒᏍฎ⌮ࠊ㓟⭷ฎ⌮ࠊ㜵㗵࣭᧕Ỉฎ⌮ࠊᢠ⳦ฎ⌮㸪ࢥࣥ
ࢱࢡࢺ࢜ࣝሬᕸࠊPFPE ሬᕸ㸧
ⷧ⭷ࡵࡗࡁᵓ㐀࠾ࡅࡿ⭉㣗ᦆയ㜵Ṇࡍࡿࡣࠊᵝࠎ࡞⾲㠃ฎ⌮ἲࡀ⪃ࡉࢀ࡚࠸ࡿ 105)ࠋ୍㒊ࡢᡭἲࡣᐇ〇ရ㐺⏝
ࡉࢀࠊࡁ࡞ᡂᯝࢆୖࡆ࡚࠸ࡿࠋ௨ୗࡑࢀࡽࡢලయࢆ㏙ࡿࠋ
㸲㸬㸯㸮㸬㸯 ࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘࡢῶᑡࡵࡗࡁἲ
ࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘࡢῶᑡᡭἲࡢ୍ࡘࡋ࡚ࠊAu ࡵࡗࡁᾎ୰࣏࢚ࣜࢳࣞࣥㄏᑟయ㸦PEG㸧ࠊሷ≀࢜ࣥࠊࣖ̿ࢾࢫࢢ
࣮ࣜࣥ㸦JGB㸧࡞ࢆῧຍࡍࡿᡭἲࡀ▱ࡽࢀ࡚࠸ࡿ 106)ࠋࡵࡗࡁᾮ୰ࡇࢀࡽࡢῧຍࡀᏑᅾࡍࡿࡵࡗࡁ⭷ࡢᡂ㛗㐣⛬
ࡀᨵၿࡉࢀ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡀᖹ࡞ᚤ⣽⤖ᬗ⢏࡞ࡿඹࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘࡀῶᑡࡍࡿࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋࡑࡢ⤖ᯝࠊAu ࡵࡗ
ࡁⷧ⭷ࢆ⏝ࡋࡓ㟁Ꮚ㒊ရࡢ⪏㣗ᛶࡀ᱁ẁᨵၿࡍࡿࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋ
ࡓࡔࡋࠊࡇࢀࡽࡢලయⓗࡵࡗࡁᡭἲࠊࡵࡗࡁᾎ⤌ᡂࠊࡵࡗࡁ᮲௳ࠊࡑࡢⓎ⌧ᶵᵓ࡞ࡣࡵࡗࡁ⸆࣓࣮࢝ࡢࣀ࢘ࣁ࢘
ࡋ࡚✚ࡉࢀࠊヲ⣽ࡣࢇ᫂ࡽࡉࢀ࡚࠸࡞࠸ࠋᚋࡣ᪂つῧຍ࠾ࡼࡧࡵࡗࡁᡭἲࡢ㛤Ⓨࡀᮇᚅࡉࢀࡿࠋ
㸲㸬㸯㸮㸬㸰 ᑒᏍฎ⌮
ࢥࢿࢡࢱ࣮᥋Ⅼࡣ Au ࡵࡗࡁⷧ⭷ᵓ㐀ࡀ⏝ࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋࡋࡋࠊ๓㏙ࡋࡓࡼ࠺ Au ࡵࡗࡁ⭷ཌࡀⷧ࠸㸦㸺1ȣ
m㸧Au ࡵࡗࡁ⭷ࡢࣆ࣮ࣥ࣍ࣝἢࡗ࡚⭉㣗ᡂศࡀୗᆅࡲ࡛ධࡋ⭉㣗ᦆയࡀ⏕ࡌࠊ⾲㠃ࡢ᥋ゐ㟁Ẽᢠࡀቑࡍࡿࠋ
ᮏၥ㢟ࢆゎỴࡍࡿࡓࡵࡣࠊࣆ࣏࣮ࣥࣝᏍࢆሰࡄฎ⌮࣭ᑒᏍฎ⌮ࡀࡉࢀࡿࠋฎ⌮ࡣϸ㸧᭷ᶵ࣑ࣥㄏᑟయࠊϹ㸧࣓
ࣝ࢝ࣉࢱࣥ㔜㔠ᒓࡢᛂ⓶⭷ࠊϺ㸧࣡ࢵࢡࢫࠊϻ㸧ࢡ࣒ࣟ㓟࡞ࡢ↓ᶵ≀⓶⭷ࠊ࡞ࡀ▱ࡽࢀ࡚࠸ࡿ 107)ࠋᮏฎ⌮ࢆ
ࡍࡇ࡛▷㛫ࡢሷỈᄇ㟝ヨ㦂࠾ࡅࡿ⪏㣗ᛶࡀ᱁ẁྥୖࡋࡓࡇࡀ☜ㄆࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋࡋࡋࠊୖ㏙ࡋࡓϸ㸧~Ϻ㸧ࡢ
᭷ᶵ≀⓶⭷ࡣࠊఱࢀࡶࡣࢇࡔࢀᛶࢆᖜపୗࡉࡏࡿࡶࢥࢿࢡࢱ࣮᥋Ⅼࡢᦾືࡼࡾሬᕸ⸆ࡀᦋ㞟ࡵࡽࢀࡸࡍ
ࡃ᥋ゐ㟁Ẽᢠࡀቑࡋࡸࡍ࠸ࠋࡲࡓࠊϻ㸧↓ᶵ≀⓶⭷ࡣ⪏㣗ᛶࡢᨵၿຠᯝࡀᑠࡉ࠸ࡶࡢࡢࠊ᥋ゐᢠࡀపୗࡋࡃࡃ
࠸ᡭࡀⰋ࠸ࡼ࠺࡛࠶ࡿ 108)ࠋ
ࡲࡓࠊูࡢᡭἲࡋ࡚ࠊAu ࡵࡗࡁ⭷ࢆࢡ࣒ࣟ㓟⁐ᾮ୰࡛㝜ᴟ㟁ゎฎ⌮㸦㸱౯ࢡ࣒ࣟࡢࢡ㘒యࢆᙧᡂ㸧ࡍࡿ᪉ἲࠊ
࠶ࡿ࠸ࡣࣜࣥ㓟ࢆྵࡴ⁐ᾮ୰࡛㝧ᴟ㟁ゎฎ⌮ᡭἲࡶ᭷ຠࡉࢀ࡚࠸ࡿ 109)ࠋ
ࡓࡔࡋࠊ࠸ࡎࢀࡢሙྜࡶᑒᏍฎ⌮ࢆ⾜࠺ࡣࢇࡔࢀᛶࡀᴟ➃పୗࡍࡿඹ㟁Ẽ᥋ゐᢠࡀቑࡍࡿ࡞ᵝࠎ࡞㞀
ᐖࡀⓎ⏕ࡋࠊ⏝ࡀไ㝈ࡉࢀࡿሙྜࡀከ࠸ 110)ࠋ
㸲㸬㸯㸮㸬㸱 㓟⭷ฎ⌮
ࡵࡗࡁ⭷ࡢ㓟⭷ฎ⌮ࡣࠊa)NiOࠊb)SnOࠊc)ZnOࠊ d)Fe2O3+Ni 㓟≀ࠊ࡞ࢆࡍࡿᡭἲࡀ▱ࡽࢀ࡚࠸
ࡿ
ࠋNiO ࠾ࡼࡧ SnO ⓶⭷ࡢᙧᡂࡣࠊNi ࠶ࡿ࠸ࡣ Sn ࡵࡗࡁ⭷⾲㠃ࢆ≉Ṧ㞺ᅖẼ୰࡛ฎ⌮ࡋ㓟≀⓶⭷ࢆᙧᡂࡍࡿࠋ
ฎ⌮᮲௳ࢆᕤኵࡋ㓟⭷ᒙࡀ⦓ᐦ࡛ୗᆅᮦᐦ╔ࡉࡏࡿࡇࡀ࡛ࡁࢀࡤ⪏㣗ᛶᨵၿຠᯝࡣࡁ࠸ࠋ
ZnO ⓶⭷ᙧᡂࡣࠊNi ࠶ࡿ࠸ࡣ Sn ࡵࡗࡁ⭷ࢆ Zn+2 ࢜ࣥྵ᭷◪㓟⁐ᾮ୰࡛㑏ඖࡋࠊZnO ⓶⭷ࢆ⏕ᡂࡍࡿࠋࡇࡢ⭷ࡣ
ඃࢀࡓ⤯⦕ᛶࢆ᭷ࡋࠊࡵࡗࡁ⭷᭱እᒙࡢ࢝ࢯ࣮ࢻศᴟࢆቑࡍࡇ࡛␗✀㔠ᒓ᥋ゐ⭉㣗㜵Ṇ᭷ຠ࡛࠶ࡿ 111)ࠋࡓࡔࡋࠊᮏ
ἲࡢฎ⌮᮲௳ࡣࣉࣟࢭࢫ⟶⌮ࡀ」㞧࡛㐺⏝ࡣᚲࡎࡋࡶከࡃ࡞࠸ࡼ࠺࡛࠶ࡿࠋ
ḟࠊFe2O3+Ni 㓟≀⓶⭷ࡢᙧᡂࡣⷧ⭷☢Ẽ࣊ࢵࢻ⏝ࣃ࣮࣐ࣟ㐺⏝ࡉࢀࠊẼ୰࡛ 10㹼30 ศ㛫㓟ฎ⌮ࡋ
Fe2O3+Ni 㓟≀ࢆᙧᡂࡉࡏࡿࠋ
ᮏฎ⌮ᮦࡣ↓ฎ⌮ᮦẚ⭉㣗㟁ὶࡀ㸲᱆ῶᑡࡍࡿ࡞㜵㣗ຠᯝࡀ㧗࠸ࡋ࡚࠸ࡿ 112)ࠋ
㸲㸬㸯㸮㸬㸲 ᢠ⳦ฎ⌮
Cu ୗᆅ/Sn-Co/Ag ᵓ㐀ࡣࠊAg ࡵࡗࡁ⭷ࡢᢠ⳦ᛶ Sn-Co ࡵࡗࡁ⭷ࡢ㣭ᛶ࣭⪏㣗ᛶࢆවࡡഛ࠼ࡓࡵࡗࡁ⭷࡛࠶ࡾࠊ
ࣂࢡࢸࣜ⭉㣗ࡀᠱᛕࡉࢀࡿ⎔ቃ୰࠾ࡅࡿ㜵㣗ࡶ᭷ຠࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋࡲࡓࠊCu ୗᆅ/Ni(TiO2 ྵ᭷)」ྜࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀
ࡣ Ni ࡵࡗࡁࡢẅ⳦స⏝ຍ࠼ TiO2 ࡢගゐ፹స⏝ࡀຍ⟬ࡉࢀࣂࢡࢸࣜ⭉㣗ࢆᢚไࡍࡿࡉࢀ࡚࠸ࡿ 113)ࠋ
ࡇࢀࡽࡢᢠ⳦ࡵࡗࡁ⭷ࡣࠊ෭ⶶᗜࠊᤲ㝖ᶵ࡞ 2ࠊ3 ࡢᐙ㟁〇ရ㐺⏝ࡀ࠶ࡿ
10
114)ࠋ⮬ື㈍ᶵࡢ㟁㒊ရࡣ⭉㣗ࡋ
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ࡸࡍࡃࠊ◲㓟ሷ㑏ඖ⳦࡞ࡼࡿ +6 ࡢⓎ⏕ࡀ⭉㣗ཎᅉ࡛࠶ࡿࡉࢀ࡚࠾ࡾࠊࣂࢡࢸࣜࡢ⦾Ṫࡀᢚไ࡛ࡁࢀࡤ⭉㣗ᦆയ
ࡢ㜵Ṇ᭷ຠᛮࢃࢀࡿࠋ
㸲㸬㸯㸮㸬㸳 ࢥࣥࢱࢡࢺ࢜ࣝሬᕸ
ࢥࢿࢡࢱ࣮᥋Ⅼ࠾ࡅࡿ㗵ࡢⓎ⏕ࢆ㜵ṆࡍࡿࡣࠊἜ⭷ࡢ㓟㜵Ṇ㸦ⰾ㤶᪘࣑ࣥ㸧㗵Ṇࡵ㸦ࣝ࢟ࣝࢥࣁࢡ㓟
ㄏᑟయ㸧ࢆే⏝ሬᕸࡍࡿࡇࡀ᭷ຠ࡛࠶ࡿ 115)ࠋ
ࢥࢿࢡࢱ࣮᥋Ⅼࡢ₶ࡣࢥࣥࢱࢡࢺ࢜ࣝ㸦࣓ࣝ࢝ࣉࢱࣥࠊ࢚ࢺ࢟ࢩࣝࢥ࣮ࣝ࡞ࢆྵ᭷㸧ࡢሬᕸࡀ᭷ຠ࡛࠶ࡾࠊ
ࢥࢿࢡࢱ࣮ࡢᤄᢤຊపୗࡶ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡢ㜵㣗ຠᯝ㸦ᑒᏍຠᯝࡼࡿ㸧ࡀᮇᚅࡉࢀࡿࠋ0.27ȣm ⭷ཌࡢ Au ࡵࡗࡁ
⭷ࢥࣥࢱࢡࢺ࢜ࣝࢆሬᕸࡋࡓሙྜࡣࠊ↓ሬᕸ࡛ Au ࡵࡗࡁ⭷ཌࢆ 0.9ȣm ቑࡸࡋࡓሙྜࡼࡾࡶ⪏㣗ᛶඃࢀࡿࡢ
ヨ㦂⤖ᯝࡶሗ࿌ࡉࢀ࡚࠸ࡿ 116)ࠋ
ḟࠊ᭱㏆ࠊ࢜ࢡࢱࢹ࢝ࣥࢳ࢜̿ࣝ⮬ᕫ⤌⧊༢ศᏊ⭷㸦ODT-SAM㸧ࢆᙧᡂࡍࡿᡭἲࡀὀ┠ࡉࢀ࡚࠸ࡿ 118)ࠋODT-SAM
ࡣᴟⷧ࠸⭷ࡶ㛵ࢃࡽࡎሬ⭷Ḟ㝗ࡀᴟࡵ࡚ᑡ࡞ࡃ⎔ቃ㐽᩿ຠᯝඃࢀ࡚࠸ࡿࠋࣉࣜࣥࢺᇶᯈࠊCu ୗᆅ/Ni-P/Au ⭷ୖᩘ
nm ཌࡉࡢ ODT-SAM ⭷ࢆᙧᡂࡍࡿሷỈᄇ㟝⭉㣗ヨ㦂㸦48hr㸧ࡼࡿ⪏㣗ᛶࡀᖜᨵၿࡉࢀࡓሗ࿌ࡀ࠶ࡿ 117)ࠋ࡞
࠾ࠊཧ⪃ࡋ࡚ࠊ௨ୗࡢ᭷ᶵ㔠ᒓ⭷ᙧᡂࢆ⏝࠸ࡿ $J ࠾ࡼࡧ &X ࡵࡗࡁ⭷ᙉࡃ྾╔ࡋࠊ⪏㣗ᛶࡣྥୖࡍࡿࡶࡢࡢࡣࢇ
ࡔࢀᛶࡀⴭࡋࡃపୗࡍࡿࡢሗ࿌ࡀ࠶ࡾࠊ⸆ࡢ㑅ᐃࡣ༑ศ࡞ὀពࡀᚲせ࡛࠶ࡿࠝ$J ࡵࡗࡁ⭷㸸ࢫࢡࢩ࣑ࣥࢻ㸦㹌
ྜ≀㸧ࠊࢽࢺࣟ࣋ࣥࢮࣥࢫࣝࣇ࢛ࣥ㓟ࠊᏳᜥ㤶㓟ࣥࣔࢽ࣒࢘ࠊ࣓ࣝ࢝ࣉࢺ࣋ࣥࢰࢳࢰ࣮ࣝࠞ
ࠊ
ࠝ&X ࡵࡗࡁ⭷㸸࣓ࣝ࢝
ࣉࢳ࣑ࢻ㸦㹌ྜ≀㸧
ࠊ࣓ࣝ࢝ࣉࢱࣥ㸦㹑ྜ≀㸧
ࠊ࣑ࣀࣟࢲࢽࣥ㸦⎔≧ࢳ࢜ࣥྜ≀㸧
ࠞࠋ
ḟࠊΏ㎶ࡽ
119),
ࡣࠊ㟁ヰ⏝ࣔࢪ࣮ࣗࣛࢪࣕࢵࢡ᥋Ⅼ࠾ࡅࡿࢫࢺࣛࣉ≧ࣆࣥ㛫㸦ࣆࣥ㛫㊥㞳ӌ0.5mm㸧ࡢ࣮ࣜࢡ
㟁ὶࢆ㜵Ṇࡍࡿ┠ⓗ࡛ࢥࣥࢱࢡࢺ࢜ࣝࡢ⤯⦕ᛶࢆ᳨ウࡋࡓࠋ࢘ࣞࢱࣥࠊࢩࣜࢥ࣮ࣥࠊ㧗⢓ᗘⅣỈ⣲ࢆሬᕸࡋࡓሙྜࡣࠊ
ࣆࣥ㛫ᢠࡀ 109Ȑ࡛࠶ࡗࡓࡀࠊప⢓ᗘⅣỈ⣲ࢆሬᕸࡋࡓሙྜࡣ➃Ꮚ㛫ᢠࡀ⤒㐣㛫క࠸ᚎࠎపୗࡋ㸺10㸶Ȑ
࡞ࡗࡓࡋ࡚࠸ࡿࠋࡇࡢሙྜࠊ࠸ࡎࢀࡢሬᕸࡶࣆࣥ㛫ࡢ⤯⦕ᛶࡣ☜ಖࡉࢀࡿࡶࡢࡢࠊࣆࣥ⾲㠃ࡢᑟ㏻ࡀ᩿ࡓࢀࡿࡢ࡛ࡇ
ࢀࡽࡢ࢜ࣝࡣࢥࣥࢱࢡࢺ࢜ࣝࡋ࡚ዲࡲࡋࡃ࡞࠸ࠋࡲࡓࠊ᥋Ⅼࡢሬᕸసᴗࡣ≉ู࡞ᕤኵࡀᚲせ࡛࠶ࡿࠋ
ྠᵝࠊᐙ㟁ရࡸ㔜㟁ᶵჾ࡞ࡢࡵࡗࡁ㒊ရ࡛㠀᥋ゐᆅⅬࡣᶞ⬡ᮦᩱࢆཌ⭷ሬᕸ㸦㸼ᩘ༑ȣ㹫㸧ࡍࡿᡭἲࡶ㒊ရᙧ≧
ࡀチࡏࡤᐇ⏝ⓗ࡛࠶ࡿࠋࣉࣜࣥࢺᇶᯈ㸦Cu ୗᆅ/Au ࡵࡗࡁ㸧ୖࡣ࣏ࣜࣅࢽࣝᶞ⬡㸦20㹼35ȣm㸧
ࠊࣇࢵ⣲ᶞ⬡㸦60㹼
150ȣm㸧
ࠊ࣏ࣜ࢘ࣞࢱࣥᶞ⬡㸦40㹼90ȣm㸧ࢆሬᕸࡋࡓᚋࠊ40Υ,70%RH, H2S:10ppmࠊ260hr ⭉㣗ヨ㦂ࡋࡓࠋࡑࡢ⤖ᯝࠊ
㒊ရ⾲㠃ࡢ⤯⦕㟁Ẽᢠࡣ 1011㹼12Ȑ㛫࡛ኚࡋ࡞࠸ࡇࡀ☜ㄆࡉࢀࡓࡋ࡚࠸ࡿ 120)ࠋ
㸲㸬㸯㸮㸬㸴 PFPE ࡢሬᕸࠊ
᭱㏆ࠊ⏣ᡤࡣ PFPE㸦ࣃ࣮ࣇ࣏ࣝ࢜ࣟࣜࢺ࣓ࣜࢳࣞࣥࠊoxetane 2.2.3.3-tetrafluolo homopolymer ,
fluorinated㸧ࡢ≉␗࡞ᛶ㉁ὀ┠ࡋࠊࢥࢿࢡࢱ࣮᥋Ⅼ㠃ࡢሬᕸᢏ⾡ࢆ㛤Ⓨࡋࡓ 121)ࠋ᥋Ⅼ㠃 PFPE ࢆሬᕸࡋࠊ᥋ゐ
㟁Ẽᢠࢆ ᐃࡍࡿࠊᚑ᮶ࡢࢥࣥࢱࢡࢺ࢜ࣝぢࡽࢀ࡞࠸ከࡃࡢඃࢀࡓຠᯝࡀᚓࡽࢀࡓࠋࡍ࡞ࢃࡕࠊ
ձ
PFPE ࡣ 260Υຍ⇕࡛⬺㞳࣭ศ㞳ࡋ࡞࠸̿̿㧗 ࣉࣟࢭࢫෆࢆ㏻㐣ࡋ࡚ࡶⓎ㝖ཤࡸ↝࡞࠸ࠋ
ղ
ᆒ୍ศᩓᛶඃࢀࡿ̿̿ሬ⭷ࡀ₶ᛶࢆ᭷ࡋ⾲㠃ᙇຊࡀప࠸ࡢ࡛᥋Ⅼ㒊ရ᥋ゐࡍࡿࡇ࡛ࠊἜ⭷ཌࡉࡀ⌮ཌࡉ
ࡲ࡛㸦ࢺࣥࢿࣝຠᯝࡀ⏕ࡌࡿ⛬ᗘࡲ࡛㸧ⷧࡃ࡞ࡾࠊ᥋ゐ㟁Ẽᢠࡀ༑ศᑠࡉࡃ࡞ࡿࠋ
ճ
ሬ⭷ࡀ⮬ᕫಟຊࢆ᭷ࡍࡿ̿̿᥋Ⅼ㒊ရࡀᢲࡋࡘࡅࡽࢀሬᕸࡀ㒊ศⓗᦋ᥇ࡽࢀ࡚ࡶࠊ᥋Ⅼࡀ⛣ືࡍࡿሬᕸ⭷
ࡀ⮬ᕫಟࡍࡿࠋ
մ
ሬᕸ㔞ࡀᑡ࡞ࡃ࡚ࡶ㜵㣗ຠᯝࡀࡁ࠸̿̿ሬᕸ㔞ࡀӌ2mg/cm2 ࡛ࡶ㜵㣗ຠᯝࡀᚓࡽࢀࡿࠋ
յ
Cl-, SO4-2 ࢜ࣥᑐࡋάᛶ࡛࠶ࡿ̿̿⭉㣗ᛶ⎔ቃ୰࡛ሬᕸࡀຎ࣭ศゎࡋࡃ࠸ࠋ
ն
᧕Ỉຠᯝࢆ᭷ࡍࡿ̿̿ࡵࡗࡁ⭷ࢆ⤖㟢Ỉࡽ㐽᩿ࡍࡿࠋ
ࡇࡢࡼ࠺ᮏ⸆ࡣ≀⌮ⓗᛶ㉁㸦᧕Ỉᛶࠊ⾲㠃ᙇຊ㸪⮬ᕫಟຊ㸪⎔ቃ㐽᩿ຠᯝ㸧
ࠊᏛⓗᏳᐃᛶ㸦⪏⇕ᛶࠊ⪏ຎ
11
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ᛶ㸧ࡶᴟࡵ࡚ඃࢀ࡚࠾ࡾࠊࢥࣥࢱࢡࢺ࢜ࣝࡋ࡚⌮ⓗ࡞⸆ぢࡿࡇࡀ࡛ࡁࡿ 121)ࠋ
ᮏ⸆ࢆሬᕸࡋࡓࢥࢿࢡࢱ࣮ࡢ⪏㣗ᛶࢆ㸲✀ΰྜ࢞ࢫ㞺ᅖẼ㸦30Υࠊ75%RHࠊH2S:10ppbࠊSO2:
100ppbࠊNO2:200ppbࠊCl2:10ppb㸧࡛ 168hr ヨ㦂ࡋࡓ⤖ᯝࠊ⭉㣗ᦆയࡀࡃⓎ⏕ࡋ࡞࠸ࡇࢆ☜ㄆࡋࡓࠋ
Dሬᕸ࡞ࡋ
Eሬᕸᮦ
ヨ㦂ᮦ㸸㟷㖡ୗᆅ1L$X3)3(
ヨ㦂⎔ቃ᮲௳㸸 30Υ䚸75%RH, H2S:10ppb,SO2:100ppb,
NO2:200ppb.Cl2:10ppb,168hrヨ㦂
ᅗ 3)3(ሬᕸࢥࢿࢡࢱ࣮᥋Ⅼ࠾ࡅࡿ⭉㣗ヨ㦂⤖ᯝ
ฟ䠖⏣ᡤ⩏ᾈ:Ᏹ㒔ᐑᏛᏛㄽᩥ䛂㟁Ꮚ㒊ရ䛾⪏㣗ᛶⓎ⌧䝯䜹䝙䝈䝮䛸⪏㣗ᛶྥୖ䛻
㛵䛩䜛◊✲䛃,p.141䡚178䠄2013.9䠅
HDD
䠄䝝䞊䝗䝕䜱䝇䜽䝗䝷䜲䝤
S-ATA connector
䠅
PFPEࢆሬᕸࡋࡓࢥࢿࢡࢱ࣮ࡢ≉ᛶ㸸
a)ᏛⓗᏳᐃᛶࠊ⮬ᕫಟᛶࠊ㉸᧕Ỉᛶࠊ⪏⇕ᛶ ₶ᛶ࠾ࡼࡧ྾╔ᛶࡶඃࢀࡿࠋ
b)ࡣࢇࡔࡅ⇕ᚋࠊ㸲✀ΰྜ࢞ࢫ⭉㣗ヨ㦂࠾࠸࡚ࡶ⭉㣗ᦆയࡋ࡞࠸ࠋ
d)ሬ⭷ࡣ200㹼250Υຍ⇕ᚋࡶⓎᦆኻࡀ༑ศᑡ࡞࠸ࠋ
e)ሬᕸ╔㔞ࡀӌ2mg/cm2࡛ࡶ㜵㣗ຠᯝࡀᣢ⥆ࡍࡿࠋ
f)㟷㖡ୗᆅ1L$X3)3(ᵓ㐀ࡢAuࡵࡗࡁ⭷ཌࡣ0.1Ǎm࡛ࡶᶵ⬟ࡍࡿࠋ
ᅗ
3)3(Ἔሬᕸᢏ⾡ࢆ㐺⏝ࡋࡓ3&+''᥋⥆⏝6$7$ᆺࢥࢿࢡࢱ࣮ࡢ
ฟ㸸⏣ᡤ⩏ᾈ㸸⚾ಙ㸦㸧
ᅗ 4-13 ࡣヨ㦂ᚋࡢヨᩱ⾲㠃≧ἣࡢ࡛࠶ࡿࠋሬᕸ↓ࡋᮦࡣከᩘࡢᒁ㒊⭉㣗ᏍࡀぢࡽࢀࡿࡶࡢࡢࠊPFPE ሬᕸᮦࡣ
ࡃ⭉㣗ኚⰍࡀぢࡽࢀ࡞࠸ࠋࡇࡢሙྜࠊヨ㦂ᮦࡢ Au ࡵࡗࡁ⭷ཌࡣ 0.8ȣm ࡛࠶ࡿࡀࠊࡑࡢᚋࡢ᳨ウ࡛ 0.1ȣm ࡲ࡛ῶᑡࡋ
࡚ࡶྠᵝ࡞㜵㣗ຠᯝࡀᚓࡽࢀࡓࡋ࡚࠸ࡿࠋࡲࡓࠊPFPE ࡢሬᕸ㔞ࡣ>2mg/cm2 ࡛࠶ࢀࡤࠊྠᵝ࡞ຠᯝࡀᚓࡽࢀࡿࡇ
ࡶ☜ㄆࡉࢀࡓࡋ࡚࠸ࡿࠋ
࡞࠾ࠊᮏ PFPE ሬᕸᢏ⾡ࡣᅗ 4-14 ♧ࡍࣁ࣮ࢻࢹࢫࢡ᥋⥆⏝ S-ATA ࢥࢿࢡࢱ㸦6HULDO$GYDQFHG7HFKQRORJ\
$WWDFKPHQW㸧㐺⏝ࡉࢀࠊᡂᯝࢆୖࡆ࡚࠸ࡿ 122)ࠋ
12
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ 㸳㸬㟁Ꮚ㒊ရ⏝ࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀ࡢ⪏㣗ᛶࡑࡢᨵၿ⟇
㸳㸬㸯 㞟㈨ᩱࡢᬑ㐢ᛶ
ᶵᲔᵓ㐀≀࣭㒊ရࡢ⭉㣗ၥ㢟ࢆ⪃࠼ࡿ㝿ࠊ
ࠕᮦᩱࠖࠊ
ࠕ⎔ቃࠖࠊ
ࠕᵓ㐀ࠖ࠾ࡼࡧࠕ⭉㣗ᙧែࠖࢆつᐃࡋࡓ㆟ㄽࡀḞࡏ࡞࠸ࠋ
ࡵࡗࡁ㒊ရࢆᑐ㇟ࡍࡿሙྜࡣࠊࡑࢀࡽࡢ୰㌟ࢆࡉࡽṇ☜つᐃࡍࡿࡇࡀ㔜せ࡛࠶ࡿࠋ
ࡇࡇ࡛ࠊࡵࡗࡁ⭷㉁ࡣ௨ୗࡢᵝࠎ࡞ᙳ㡪ᅉᏊᙉࡃᙳ㡪ࡉࢀࡿࠋa)ୗᆅᮦᩱࡵࡗࡁ㔠ᒓࠊb)ࡵࡗࡁ㔠ᒓࡢ⤌ྜࢃࡏࠊ
c)ࡵࡗࡁ⭷ཌࠊd)ࡵࡗࡁᾎῧຍ㸦ࡵࡗࡁ⭷㉁࣭⣧≀㔞㸧ࠊe)㟁ὶᐦᗘ㟁ὶἼᙧ㸦ࡵࡗࡁ⭷⢒ࡉ࣭ከᏍᛶ㸧ࠊf)
⇕ฎ⌮࣭⾲㠃ฎ⌮㸦⤖ᬗᵓ㐀࣭ࡵࡗࡁ⭷㉁㸧
ࠊg)ࡑࡢࠊ
ࡋࡓࡀࡗ࡚ࠊᮏ᮶ࡣࡑࢀࡽࢆṇ☜つᐃࡋࡓ㆟ㄽࡀᮃࡲࡋ࠸ࠋࡋࡋࠊࡇࢀࡽࡢㅖ᮲௳ࢆཝᐦつᐃࡋࠊྠ୍ࢩࢳ࢚ࣗ̿
ࢩࣙࣥẖ⣽ศࡋศ㢮ࡋ࡚⾜ࡃࢹ࣮ࢱᩘࡀⴭࡋࡃ㝈ᐃࡉࢀࡿࠋࡑࡢ⤖ᯝࠊᑡᩘࡢ᩿∦ࡽඹ㏻࡞▱ぢࡀぢฟࡋ㞴ࡃ࡞
ࡿࠋࡇࡢࡼ࠺࡞⌧≧ࡽࠊᮏሗ࡛ࡣୖグ a)㹼c)㔜Ⅼࢆ⨨ࡁࠊd)㹼 g)ࢆ㍍ど࣭↓どࡋ࡚㈨ᩱᩚ⌮ࡋࡓࠋࡲࡓࠊᮏሗ࡛ࡣ
㟁Ꮚ㒊ရ⏝㈗㔠ᒓࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀ࢆ 10 ✀㢮ศ㢮ࡋࠝ๓ሗࠊ㈗㔠ᒓࡵࡗࡁࡼࡿ㜵㣗㸦1㸧ࠊ⾲ 4-1a ࠾ࡼࡧ-1b ཧ↷ࠞ
ࠊ㛵
㐃ሗࢆᩚ⌮࣭グ㏙ࡋࡓࠋࡑࡢ⤖ᯝࠊࡇࢀࡽࡢ᩿∦ࡽᚓࡽࢀࡓ▱ぢࡀࡢ⛬ᗘᬑ㐢ᛶࢆ᭷ࡍࡿࡢ࡛᫂࠶ࡿࠋࡋࡋࠊ
グ㏙ෆᐜࢆ㏻ࡌ࡚ࡑࡢഴྥࢆㄞྲྀࢀࢀࡤ࠾ࡢࡎయീࡀᾋࡧୖࡿᛮࢃࢀࡿࠋ㢮ఝࡋࡓࡵࡗࡁ⭷࠾ࡅࡿ⭉㣗ၥ㢟ࢆ⪃
࠼ࡿ㝿ࠊୖグ▱ぢࢆཧ⪃ࡋ࡚㡬ࡁࡓ࠸ࠋ
㸳㸬㸰 㟁Ꮚ㒊ရࡢࡵࡗࡁ⭷ᵓᡂ㞟ࢹ࣮ࢱࡢࡲࡵ
ୖ㏙ࡋࡓᐇࡽከࡃࡢ▩┪ࢆࡣࡽࡳ࡞ࡀࡽᮏሗ࡛ᚓࡽࢀࡓࢹ࣮ࢱࢆ═ࡵࡿࠊྛࡵࡗࡁ㒊ᑐࡋࡑࢀࡒࢀ᭷ຠᛮ
ࢃࢀࡿ㜵㣗ᡭἲࡀᴫ␎᫂ࡽ࡛࠶ࡿࠋ⾲ 5-1 ࠾ࡼࡧ 5-2 ࡑࢀࡽࡢᴫせࢆࡲࡵ࡚♧ࡍࠋ
ᮏ⾲ࡼࡾࠊ⪏㣗ᛶᨵၿ⟇ࡣྛ㒊ᑐࡋࡑࢀࡒࢀᏑᅾࡋࠊྜィ༑ᩘಶぢฟࡉࢀࡿࠋᚋࡣࡇࢀࡽࡢᡭἲࡢ⤌ྜࡏὀ┠
ࡍࡁ࡛࠶ࡿࠋࡶࡕࢁࢇࠊᮏ⾲ࡣࢩࢳ࢚ࣗ̿ࢩࣙࣥ࠙ୖグ d㸧㹼f)ࠚࢆ㍍ど࣭↓どࡋ࡚グධࡋࡓࡢ࡛ࠊタᐃ᮲௳ࡀ␗࡞ࢀ
ࡤ㜵㣗ᨵၿຠᯝ࡞ࡾ࠼࡞࠸ྍ⬟ᛶࡶ࠶ࡿࠋ୍᪉ࠊ⌧Ⅼࡲ࡛ᮍ᳨ウ࡛࠶ࡗࡓᵝࠎ࡞ᨵၿᡭẁࢆ┦⤌ྜࢃࡏ࡚ᐇࡍ
ࢀࡤࠊᛮ࠸ࡶᐤࡽࡠຠᯝࡀᚓࡽࢀࡿྍ⬟ᛶࡀ⛎ࡵࡽࢀ࡚࠸ࡿࠋ
ࡾ㏉ࡗ࡚ぢࡿࠊ⌧⾜ࡢ㜵㣗ᛶࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀ࡣ༑ᩘಶᏑᅾࡍࡿ⪏㣗ᛶᨵၿ⟇ࡢෆࠊ㸯㹼㸰ಶࢆ⤌ࡳྜࢃࡏ࡚࠸ࡿ㐣
ࡂ࡞࠸ࠋ㈗㔠ᒓࡵࡗࡁᢏ⾡ࡣᮍ᳨ウ࣭ᮍ╔ᡭ࡞ㄢ㢟ࡀከࡃṧࡉࢀ࡚࠾ࡾࠊⓎ⏕⌧㇟ࡶᮍゎ᫂࡞ࡲࡲ࡛࠶ࡿ⌧≧ࢆ⪃࠼ࡿ
ࠊࡃ᳨ウࡋ࡚ࡳࡿ✚ᴟᛶࡀᚲせᛮࢃࢀࡿࠋ
㸰⠇࡛㏙ࡓࡼ࠺ᇶᮏⓗゎỴᅔ㞴⪃࠼ࡽࢀ࡚࠸ࡓࠗᴟⷧ⭷ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡢࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᾘኻ⟇࠘ࡋ࡚୰㛫 Pd ࡵ
ࡗࡁ⭷ᵓ㐀ࡀぢฟࡉࢀࡓ⤒㐣ࢆࡾ㏉ࡿࠊ
ࠕㄽ⌮ࡣᚋࡽ࠸࡚ࡃࡿࠖឤࢆᙉࡃࡍࡿࠋ
⾲ 5-1 㟁Ꮚ㒊ရࡢࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀⪏㣗ᛶᨵၿ⟇㸦㞟ࢹ࣮ࢱࡢࡲࡵ㸧
ࡵࡗࡁ㒊
㜵㣗ᡭἲ
㜵㣗ຠᯝࠊ≉ᚩ࡞
&X ୗᆅ
⪏㣗ᛶඃࢀࡿ㟷㖡ࢆ㑅ᢥ
⪏㣗ᛶ㸸㟷㖡㸼⣧㖡Ӎ㯤㖡㸦Zn ྵ᭷㸧
㒊ရࡢእ㒊㟁ࡢ㜵Ṇ
⤖㟢Ỉ⭷ᙧᡂࢆ㜵Ṇࡋࣜ̿ࢡ㟁ὶࢆ㜵Ṇ
㈗㔠ᒓࡵࡗࡁ⭷ࢆ㑅ᢥ
ࡵࡗࡁసᴗࡀᐜ࡛᫆༢୍ᶵ⬟ࢆ᭷ࡍࡿ
ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ࢆ㑅ᢥ
◳ᗘࠊᑟ㟁ᛶࠊ⪏㣗ᛶࠊ࡞ࡢࡵࡗࡁᶵ⬟ࡀቑ
༢ᒙࡵࡗࡁ⭷
୰㛫 1L ࡵࡗࡁ⭷ 㠀ᬗ㉁࣭ගἑ Ni ࡵࡗࡁ⭷ࢆ㑅ᢥ
㧗◳ᗘ࡛ࡵࡗࡁ⭷Ḟ㝗࣭ࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘࡀῶᑡ
࢜࢘㠀ྵ᭷ Ni ࡵࡗࡁ⭷ࢆ㑅ᢥ
࢜࢘㠀ྵ᭷ᮦࡣ㧗⪏㣗ᛶࢆ᭷ࡍࡿ
㧗◳ᗘ࡛⭷ཌ.ࢆӍ3Ǎm ࡍࡿ
ࡵࡗࡁ⭷ࡢᶵᲔⓗᙉᗘࢆ☜ಖࠊࡵࡗࡁ⭷ࢀ㜵Ṇ
13
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ୰㛫 Pd ࡵࡗࡁ⭷
ᖹ࡞ Pd ࡵࡗࡁ⭷ࢆ
Pd ࡵࡗࡁ⭷㉁ࡀ Au ࡵࡗࡁ⭷㉁㸦↓Ꮝ㉁㸧ࢆᨵၿ
Pd ࡵࡗࡁ⭷ࢆӍ0.㸰ȣm ࡍࡿ
Au ࡵࡗࡁ⭷ࡢᦾືᛶ⬟ࡀྥୖ ࠊ↓
↓Ꮝ㉁ᛶࡀቑ
◳㉁ Pd㸫Ni ࡵࡗࡁ⭷ࢆ㑅ᢥ
Au ࡵࡗࡁ⭷₶స⏝ࢆ࠼ᦾືᛶ⬟ࢆྥୖ
Pd-Ni ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ࢆ⏝
ࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘࡢῶᑡ
ከᒙࡵࡗࡁ
␗㉁㔠ᒓ⭷ࢆ㔜ࡡ࡚ࡵࡗࡁࡍࡿ
␗࡞ࡿࡵࡗࡁ⭷ẖ」ᩘࡢᶵ⬟ࢆ᭷ࡍࡿ
ศᩓࡵࡗࡁ
ࡵࡗࡁ⭷୰ SiC ⢊ᮎ࡞ࢆศᩓ
ศᩓࡢ✀㢮ࡼࡾ⪏㣗ᛶࠊ⪏ᦶ⪖ᛶࢆᨵၿ
㠀ᬗ㉁ࡵࡗࡁ
㧗⪏㣗ᛶ㠀ᬗ㉁ࡵࡗࡁ⭷ࢆ
⤖ᬗ㉁⭷ẚ⤖ྜ≧ែࡀ␗ࡾ⪏㣗ᛶࢆ᭷ࡍࡿ
᭱እᒙ Au ࡵࡗࡁ ⭷ཌӍ0.05Ǎ㹫ࡍࡿ
⭷
⾲㠃≀㉁
ࢥࢫࢺᢚไࠊ⪏㣗ᛶྥୖࠊᦾືᛶ⬟ࡀྥୖ
◳㉁ Au-Co ྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ࢆ⏝
㧗Ⲵ㔜ᦾືୗ࡛ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡢᦶ⪖ࢆᢚไ
᪂ῧຍྵ᭷ Au ࡵࡗࡁᾮࡢ⏝
ᖹ࣭ᚤ⣽⤖ᬗ⢏࣭ࣆ࣮ࣥ࣍ࣝࣞࢫ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡢ⏕ᡂ
Cl-࢜ࣥ⎔ቃୗ࡛ࡢ⏝⚗Ṇ
እ㒊㟁࡛ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡀ⁐ゎࡍࡿ
⾲㠃㔠ᒓ㛫ྜ≀ࢆ
㔠ᒓ㛫ྜ≀ࡀ㧗⪏㣗ᛶࠊ㧗◳ᗘ࡛࠶ࡿ
⾲㠃ฎ⌮
᭷ᶵ࣑ࣥㄏᑟయ࡞ࢆሬᕸ
ࣆ࣮ࣥ࣍ࣝࢆᑒṆࠊࡓࡔࡋࠊࡣࢇࡔࢀᛶࡀపୗ
ᑒᏍฎ⌮
㜵㗵࣭᧕Ỉᛶࢆሬᕸ
⸆ࡼࡿ⾲㠃⓶⭷ࢆᙧᡂࡋ࡚⪏㣗ᛶࢆᨵၿ
ሬᕸ
PFPE ࣓ࣝ࢝ࣉࢱࣥࢆሬᕸ
ࣆ࣮ࣥ࣍ࣝࢆᑒṆࠊPFPE ࡣ⌮ⓗస⏝ࡍࡿ
⾲ 5-2 㟁Ꮚᶵჾ࣭㒊ရࡢタィ࠾ࡼࡧ⏝᮲௳ࡢᨵၿ⟇
᥋Ⅼᵓ㐀
᥋Ⅼᅽຊ࣭ᤄධຊࡢቑ
᥋ゐ㒊ရᙧ≧ࡢ㗦ゅ㸦㠃ᅽ㸧
᥋ゐ㟁ὶ࣭㟁ᅽࡢቑ
Wiping ᶵᵓࡢ
ᶵჾᵓ㐀
ᶵჾࡢᐦ㛢ᗘᨵၿࠊ ⏕ά㜵Ỉࡢᙉ
⭉㣗ᛶ࢞ࢫ㸦ࣉࣟࢭࢫᕤ⛬ࠊ࿘㎶㒊ᮦ㸧ࡢΰධ㜵Ṇ
⏝⎔ቃࡢᨵၿ
㸳㸬㸱 㜵㣗ᛶࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀ࡢලయ
⌧Ⅼ࡛⪏㣗ᛶඃࢀࢥࢫࢺࣃࣇ࢛࣮࣐ࣥࢫ㠃ࡽࡶᐇ⏝ᛶࡀ㧗࠸⪃࠼ࡽࢀࡿලయࡘ࠸࡚ࠊࡑࡢ⌧≧ᨵၿࡍ
ࡁၥ㢟Ⅼࢆ⤂ࡍࡿࠋ
ᅗ 5-1 ࡣᚑ᮶ࡽᗈࡃ⏝࠸ࡽࢀ࡚ࡁࡓ Sn ࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀࡛࠶ࡿࠋSn ࡵࡗࡁ⭷ࡣࠊᰂ㌾ᛶࠊࡣࢇࡔ᥋ྜᛶࠊࡵࡗࡁసᴗ
ᛶࠊᏳ౯㸦⣲ᮦ Sn ౯᱁㸸Au ࡢ 1/2000㸧࡞ࡢⅬ࡛᭷࡛࠶ࡾࠊከࡃࡢ຺ྜ㒊ရ࠾ࡼࡧࡣࢇࡔ᥋Ⅼ㒊ရ⏝ࡉࢀ࡚࠸
ࡿࠋࡋࡋࠊ௨㝆࡛㏙ࡿࡵࡗࡁᵓ㐀ẚࢀࡤ᱁ẁ⪏㣗ᛶࡀຎࡾࠊ⾲㠃⓶⭷ࡢ⏕ᡂక࠸᥋ゐ㟁Ẽᢠࡀቑࡋࡸࡍ
࠸ࠋ
ࡑࡢࡓࡵ⏝⎔ቃࡀᴟ✜ࡸ࡞ሙྜࠊ࠶ࡿ࠸ࡣ༙〇ရẁ㝵࠾࠸࡚ᭀ㟢ᮇ㛫㸦ᦙ㏦࣭ಖ⟶ᮇ㛫㸧ࡀ▷࠸ሙྜ㝈ࡾ㐺⏝
ྍ⬟࡛࠶ࡿࠋࡲࡓࠊSn ࡵࡗࡁ⭷ࡣ㌾㉁࡞ࡢ࡛ኚᙧᦆയࡋࡸࡍࡃࠊ࢘ࢫ࣮࢝ࡀฟࡸࡍ࠸࡞ᵝࠎ࡞㞀ᐖࡀ࠶ࡿࡇࡶㄆ
㆑ࡍࡁ࡛࠶ࡿࠋ
ࡇࡇ࡛ࠊᮏ Sn ࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀ࡣᣑᩓ㞀ቨ⬟ࢆ᭷ࡍ୰㛫 Ni ࡵࡗࡁ⭷ࢆࡍࡿᕤኵࡀ࡞ࡉࢀ࡚࠸ࡿࡶࡢࡢࠊࡑࢀ௨እ
14
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ࡣ㜵㣗ᢏ⾡ࡀ୍ษ㐺⏝ࡉࢀ࡚࠸࡞࠸ࠋዲࡲࡋࡃࡣ⾲ 5-1 ♧ࡋࡓ⪏㣗ᛶᨵၿ⟇ࢆ㐺⏝ࡍࡁᛮࢃࢀࡿࠋලయⓗࡣ
Sn ࡵࡗࡁ⭷㉁ࡢᨵ㉁㸦ྜ㔠ࠊከᒙ㸧
ࠊࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀ࡢᨵⰋ㸦ศᩓࡵࡗࡁ㸧
ࠊྛ✀⾲㠃ฎ⌮㸦㜵㗵ฎ⌮㸧࡞ࢆ㐺⏝ࡋࠊ
⪏㣗ᛶࡢྥୖక࠸⏝ᶵჾࡸྍ⏝⎔ቃ᮲௳ࡢᣑࢆィࡿవᆅࡀṧࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋ
ձ6Q3Eࡵࡗࡁ⭷ࡣᏳ౯࡛࠶ࡿࡾ⪏㣗ᛶࡀẚ㍑ⓗⰋ࠸
ղࡣࢇࡔࡅసᴗࡀᴟࡵ࡚ᐜ᫆
ճ6Qࡵࡗࡁ⭷ࡣ࢘ࢫ࣮࢝ࡀ⏕ࡌࡸࡍ࠸ࠊᑐ⟇ࡣ6Q&X$Jྜ㔠ࡀ᭷ຠ
մ6Q3Eࡵࡗࡁ⭷ࡣ⎔ቃၥ㢟㸦5R+6ᣦ௧㸧ࡀṧࡉࢀ࡚࠸ࡿ
᭱እSnࡵࡗࡁ⭷㸸 2㹼6Ǎm
୰㛫Niࡵࡗࡁ⭷㸸 0.5㹼3Ǎm
ୗᆅᮦ㸸㯤㖡ࠊࣜࣥ㟷㖡ࠊBe㖡ྜ
㔠ࠊࢥࣝࢯࣥྜ㔠࡞
ᅗ 㸯
ձ$X&X㛫ࡢᣑᩓ㞀ቨస⏝
ղ㧗◳㉁ࡍࢀࡤ᥋ゐ㒊⾲㠃ࡢᦾືᛶ⬟ࡀྥୖ
ճ◳㉁࡛ࢀࡸࡍࡃཌ⭷ࡀᅔ㞴㸦ӍȣP㸧
Ϩ㸧ᚑ᮶ࡢ6Qࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀㸦຺ྜ࠾ࡼࡧࡣࢇࡔ᥋ྜ⏝ࡵࡗࡁ⭷㸧
㸦Ᏻ౯ࢱࣉࠊ⪏㣗ᛶࡀపࡃ⾲㠃⓶⭷⏕ᡂక࠸᥋ゐ㟁Ẽᢠࡀୖ᪼ࡍࡿ㸧
࠙ᅗ㸲ཧ↷ࠚ
䐟㻼㼐䜑䛳䛝⭷㉁䛜㻭㼡䜑䛳䛝⭷㉁䠄ᖹᆠᗘ䠅䜢ᨵၿ
䐠㻭㼡䜑䛳 䛝⭷䛜ᦾືᛶ⬟䛜ྥୖ
䐡㻭㼡䜑䛳 䛝⭷䛻₶స⏝䜢䛘ᦾືᛶ⬟䜢ྥୖ䛩䜛
䐢㻼㼐㻙㻺㼕ྜ㔠䜑䛳䛝⭷䜢⏝䛩䜜䜀
䝢䞁 䝩䞊䝹ᐦᗘ䛾ῶᑡ
ᦾືᏊ
Au䜑 䛳䛝⭷䠖0.03䡚0.05ʅm
Pd䜑 䛳䛝⭷㸸 0.㸰㹼1Ǎm
୰ 㛫Niࡵࡗࡁ⭷㸸 㸯㹼3Ǎm
䐟 㻭㼡䜑䛳䛝⭷⏕ᡂ㐣⛬䜢ᨵၿ
䐠㻼㼐䜑䛳䛝⭷䛿ᖹᛶ䛸↓Ꮝ㉁䛻ඃ䜜䜛
䐡㻼㼐䜑䛳䛝⭷䛿㧗ᙉᗘ䛷䛒䜚䚸㻭㼡䜑䛳䛝⭷䛻
ᑐ䛧₶⿵㛫ᶵ⬟䜢᭷䛩䜛
䐢㻼㼐䛿ᣑᩓᢚไ⬟䛜䛝䛔
䐣㻼㼐䛾⪏㓟ᛶ䞉⪏◲ᛶ䛜䛝䛔
䐤㻼㼐䛿⁐⼥䛿䜣䛰䛻ᑐ䛧㐺ᗘ䛺⁐⼥ᛶ䜢᭷䛩
䐥⪏䝬䜲䜾 䝺䞊䝅䝵 䞁䚸⪏䜴䜲䝇䜹ᛶ䛜
䐦㻼㼐䛾⣲ᮦ㔠ᒓ౯᱁䛿㻭㼡䛾್༙๓ᚋ䛷䛒䜛
C uୗᆅᮦ
ᅗ
ϩ 㸧୰㛫3 Gࡵࡗ ࡁ⭷ᵓ 㐀ࠊ㸦& Xୗᆅ 1L3G $Xࡵࡗ ࡁ⭷᥋ Ⅼᵓ㐀
࠙ᅗ ཧ↷ࠚ
ḟࠊᅗ 5-2 ࡣᖹᮏࡽ
58)
ࡀ㛤Ⓨࡋࡓ IC ࣮࢝ࢻ⏝୰㛫 Pd ࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀࡛࠶ࡿࠝᅗ 4-10 ཧ↷ࠞ
ࠋᮏᵓ㐀ࡢᛶ⬟ࡣ
⾲ 4-4 ♧ࡋࡓ࠾ࡾ࡛࠶ࡾࠊඃࢀࡓ⪏㣗ᛶ࣭⪏ᦶ⪖ᛶࢆ᭷ࡋ࡚࠸ࡿࠋࡲࡓࠊAu ࡵࡗࡁ⭷ཌࡀ 0.03㹼0.05ȣm ࡛࠶ࡗ࡚
ࡶඃࢀࡓ⪏㣗ᛶࢆ᭷ࡋ࡚࠾ࡾࠊࢥࢫࢺࣃࣇ࢛࣮࣐ࣥࢫࡀඃࢀ࡚࠸ࡿࠋ
ࡇࢀࡽࡼࡾࠊᮏࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀ࡣ㛤Ⓨᚋ༑ᩘᖺ⤒㐣ࡋࡓ⌧Ⅼ࠾࠸࡚ඃᛶࢆಖࡗ࡚࠸ࡿࠋ
ࡇࡇ࡛ࠊᮏᵓ㐀࡛ࡣ୰㛫 Pd ࡵࡗࡁ⭷ࡢᙺࡀ୍ࡘ᫂ࡽ࡛࡞࠸ࠋࡍ࡞ࢃࡕࠊⷧ࠸ Pd ࡵࡗࡁ⭷ࡢᏑᅾࡀ Au ࡵࡗࡁ
15
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ⭷ࡢ⏕ᡂ㐣⛬ዴఱ࡞ࡿᙳ㡪ࢆ࠼࡚࠸ࡿ㸽ṇ☜ゎ᫂ࡉࢀ࡚࠸ࡿࡣゝ࠸㞴࠸ࠋ
ᩪ⸨ࡽ 60)ࡣࠊNi ࡵࡗࡁ⭷ୖ┤᥋ Au ࡵࡗࡁ⭷ࢆࡍࠊNi ࡵࡗࡁ⭷ࡢ⾲㠃⢒ࡉ㸦⨨ Au ࡵࡗࡁࡢึᮇ㐣⛬࡛⢒ࢀ
ࡀⓎ⏕㸽㸧ࢆ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡀᘬࡁ⥅࠸࡛ᡂ㛗ࡍࡿࡇ࡛ከᏍ㉁࡞ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡀᙧᡂࡍࡿࡋ࡚࠸ࡿࠋ୍᪉ࠊPd ࡵࡗࡁ
⭷ࡀᏑᅾࡍࢀࡤࡑࡢᘢᐖࡀ࡞ࡃ࡞ࡿࡓࡵ⦓ᐦ࡞ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡀᙧᡂࡉࢀࡿ᥎ᐹࡋ࡚࠸ࡿࠋࡑࢀ࡛࠶ࢀࡤࠊ୰㛫ࡵࡗࡁ⭷
ࡋ࡚ Pd ࡛࠶ࡿᚲ↛ᛶࡣ࡞ࡃูࡢ㔠ᒓࡵࡗࡁ⭷࡛࠶ࡗ࡚ࡶྠᵝ࡞⌧㇟ࡀᚓࡽࢀࡿࡶ▱ࢀ࡞࠸ࠋࡇࡢⅬ࠾࠸࡚ࠊᮏࡵ
ࡗࡁᡭἲ࠾ࡅࡿ Pd ࡵࡗࡁ⭷ࡢ≉␗ᛶࢆゎ᫂ࡍࡿඹ᭦࡞ࡿᨵⰋࡢవᆅࡀṧࡉࢀ࡚࠸ࡿࡼ࠺ᛮࢃࢀࡿࠋ
࡞࠾ࠊᚑ᮶ࡢࡵࡗࡁᢏ⾡ࡣࠊ࣓࢝ࣀࢣ࣑࢝ࣝᛂ㸦ᶵᲔⓗస⏝Ꮫⓗస⏝ࡢ㔜␚ᛂ㸧ࢆ✚ᴟⓗ⏝ࡋࡓࡀ
ࢇぢࡽࢀ࡞࠸ࠋ㉸㡢Ἴࡵࡗࡁࠊ࣮ࣞࢨࡵࡗࡁࡣࡑࡢ୍㒊ࡍࡂ࡞࠸ࠋ⣸እ⥺ࠊX ⥺ࠊ㉸㡢Ἴࠊ㟁☢Ἴ࡞ࡢࣉ࣮ࣟࣈ
ࡸᶵᲔⓗᚤᑠຍᕤᢏ⾡㟁ẼᏛᛂࢆ⤌ࡳྜࢃࡏࡓ᪂つࡵࡗࡁᢏ⾡ࡀ㛤Ⓨ࡛ࡁࢀࡤࠊ
ࠕAu ࡵࡗࡁ⭷ࡢ↓Ꮝ㉁ࠖࡣ᱁
ዲࡢࢱ࣮ࢤࢵࢺ࡛ࡣ࡞࠸㸽ᛮࢃࢀࡿࠋ
ձᐇ⏝ẁ㝵࡛ሬᕸࡍࡿᢲධ࣭ᢤཤຊࡸ⪏㣗ᛶࡀᨵၿࡍࡿ
ղ3)3(ࢆሬᕸࡍࡿ⌮ⓗ࡞᥋ゐ≧ែࡀᚓࡽࢀࡿ
ሬᕸ₶ᮦ࣭㜵㗵㸸
5㹼20nm㸦ᑒ
ᑒᏍฎ⌮)
ձ຺ྜ㒊ࡢ᥋ゐ㟁Ẽᢠࡀᑠࡉ࠸
ղ⪏㣗ᛶඃࢀࡿࡀ㧗౯࡞ࡢ࡛ӍȣPࡀὶ
ճ◳㉁$X&R1Lྜ㔠ࡵࡗࡁ⭷ࡣ⪏ᦶ⪖ᛶࡀྥୖ
մ1Lࡵࡗࡁ⭷ࡀ㓟๓$Xࡵࡗࡁసᴗࡀᚲせ
յ1Lࡵࡗࡁ⭷ࡢ⾲㠃㓟ࢆᢚไࡍࡿࡣࢇࡔ᥋ྜ
ࡀᙉᅛ࡞ࡿ
᭱እAuࡵࡗࡁ⭷㸸 0.01㹼1Ǎm
୰㛫Niࡵࡗࡁ⭷㸸 0.5㹼3Ǎm
ୗᆅᮦ㸸㯤㖡ࠊࣜࣥ㟷㖡ࠊBe㖡ྜ
㔠ࠊࢥࣝࢯࣥྜ㔠࡞
ձ$X&X㛫ࡢᣑᩓ㞀ቨస⏝ࢆ᭷ࡍ
ղ㠀ᬗ㉁࣭࢜࢘ࣞࢫ1Lࡵࡗࡁ⭷ࡀ⪏㣗ᛶᨵၿ
ճ㧗◳㉁ࡍࢀࡤ᥋ゐ㒊⾲㠃ࡢᦾືᛶ⬟ࡀྥୖ
մ◳㉁࡛ࢀࡸࡍࡃཌ⭷㸦ӍȣP㸧
ᅗ Ϫ㸧ᦾື᥋Ⅼ࠾ࡼࡧࡣࢇࡔ᥋ྜ⏝ࡵࡗࡁ⭷ࡢᇶᮏᵓᡂᨵၿ⟇
㸦⏣ᡤẶ㛤Ⓨᵓ㐀ࠊ3)3(ࢆሬᕸࡍࡿࡇ࡛ඃࢀࡓ⪏㣗ᛶࢆ♧ࡍ࠙ᅗཧ↷ࠚ㸧
ḟࠊᅗ 5-3 ࡣ⏣ᡤ
91)ࡀ㛤Ⓨࡋࡓࢥࢿࢡࢱ࣮᥋Ⅼ࠾ࡼࡧࡣࢇࡔ᥋ྜ⏝ࡵࡗࡁ⭷ࡢᇶᮏᵓᡂ࡛࠶ࡿࠋ୰㛫
Ni ࡵࡗࡁ⭷ࠊ
᭱እᒙ Au ࡵࡗࡁ⭷࠾ࡼࡧ PFPE ሬᕸࡢຠᯝࡣᅗ୰♧ࡋࡓ࠾ࡾ࡛࠶ࡿࠋᮏࡵࡗࡁ⭷ᵓᡂࡣ⪏㣗ᛶඃࢀ᥋ゐ㟁Ẽ
ᢠࡀపࡃࠊPFPE ࢆሬᕸࡍࡿࡇ࡛᭦⪏㣗ᛶࡀᨵၿࡉࢀࡿࠋᮏᵓ㐀ࡢ⪏㣗ᛶࡣ๓㏙ࡢ 4.10.6 㡯࡛㏙ࡓ࠾ࡾ࡛࠶
ࡾࠝᅗ 4-13 ࠾ࡼࡧ 4-14 ཧ↷ࠞ
ࠊᴟࡵ࡚ඃࢀࡓ⪏㣗ᛶࢆ᭷ࡋ࡚࠸ࡿࠋࡲࡓࠊAu ࡵࡗࡁ⭷ࡀ༑ศⷧ࠸ࡢ࡛ࢥࢫࢺࣃࣇ࢛̿
࣐ࣥࢫࡶඃࢀ࡚࠸ࡿࠋ
ࡇࡇ࡛ࠊᮏࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀࡛ࡣ PFPE ሬᕸ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡢᙺศᢸࠊࡍ࡞ࢃࡕ㜵㣗ᛶ⬟ࡢⓎ⌧ࢫࢺ࣮ࣜࡀ୍ࡘ᫂
☜࡛࡞࠸ࠋPFPE ሬᕸࡣዴఱ࡞ࡿ᮲௳࡛ᦆയ࣭ຎࡍࡿࡢ㸦⎔ቃ᮲௳㸽⤒ኚ㸽ሬ⭷ࡢᒁ㒊◚ቯ㸽㸧ࠋAu ࡵࡗࡁ
⭷ࡣሬᕸ⭷Ḟ㝗ࢆዴఱ⿵㛫ࡍࡿᏑᅾ࡞ࡢ᫂☜࡛࡞࠸ࠋ
PFPE ሬᕸࡀ⤯࡞㜵㣗ຠᯝࢆ᭷ࡍࡿࡢ࡛࠶ࢀࡤ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡣせ㸦ࡢࡵࡗࡁ⭷࡛௦⏝㸽㸧ࡶࡋࢀ࡞࠸ࠋྠᵝ
PFPE ሬᕸࡢ㜵㣗ຠᯝᏳࡀ࠶ࡿࡢ࡛࠶ࢀࡤࠊ⏝⎔ቃ᮲௳ࡼࡗ࡚ࡣ Au ࡵࡗࡁ⭷ࡢ᭦࡞ࡿᨵ㉁ࡀᚲせࡶࡋ
ࢀ࡞࠸ࠋ࠶ࡿ࠸ࡣ PFPE ሬᕸ Au ࡵࡗࡁ⭷㛫ࡢ≉␗࡞྾╔≧ែࡀᏑᅾࡍࡿࡍࢀࡤࠊࡑࡢᏛ⾡ⓗゎ᫂ࡶᚅࡓࢀࡿࠋ
16
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ձᓥ≧⢏ᏊAg3SnࠊSnO2࣭CuOࡀ⾲㠃ࢆそࡗ࡚ᙧᡂ
ղᚑ᮶ࡢSnࡵࡗࡁ⭷ẚ⾲㠃ᑟ㟁ᛶࠊ⪏⇕ᛶࠊ᥋ゐ㟁Ẽ
ᢠᏳᐃᛶࠊ⪏㓟ᛶࠊ⪏◲ᛶࠊ⪏࢘ࢫ࣮࢝ᛶඃࢀࡿ
ճAuࡵࡗࡁࢆ⏝ࡋࡓᚑ᮶ࡢࢥࢿࢡࢱ࣮ẚᏳ౯
մ㧗 㞺ᅖẼ୰࡛⏝ࡉࢀࡿ⮬ື㌴ᐇ㒊ရዲ㐺
Ag3Sn㔠ᒓ㛫ྜ≀
Ag䜑䛳䛝⭷䠖0.05ʅ䡉
䛥䛔䡃䠽䡅䡏䡋䡑
Snࡵࡗࡁ⭷㸸 1Ǎm
Cuୗᆅᮦ
ᅗ5-4 ϫ㸧㔠ᒓ㛫ྜ≀ᵓ㐀㸦Ag3Snࢆ⏝࠸ࡓ᥋Ⅼࡢࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀㸧
࠙ᅗ4-12ཧ↷ࠚ
ḟࠊᅗ 5-4 ࡣ࿋ࡽ
99)㹼101)
ࡀ㛤Ⓨࡋࡓ⮬ື㌴⏝ᐇ᥋Ⅼ㒊ရ࡛࠶ࡿࠝᅗ 4-12 ཧ↷ࠞࠋᮏᡭἲࡣࡵࡗࡁ⭷᭱እᒙࡀᚤ
⣽࡞ Ag3Sn 㔠ᒓ㛫ྜ≀⢏࡛そࢃࢀࡓࡵࡗࡁ⭷ᵓ㐀࡛࠶ࡿࠋAg3Sn ⢏ࡢᙺࡣᅗ୰♧ࡋࡓ࠾ࡾ࡛࠶ࡿࠋᮏࡵࡗࡁ⭷
ࡣ Au ࡸ Pd ࢆ⏝࠸࡞࠸ࡢ࡛ࠊࢥࢫࢺࣃࣇ࢛࣮࣐ࣥࢫࡀ᭱ࡶඃࢀ࡚࠾ࡾࠊࡁ࡞ᑗ᮶ᛶࢆ⛎ࡵ࡚࠸ࡿࠋࡲࡓࠊࡵࡗࡁ⭷ᵓ
ᡂࠊ㔠ᒓ㛫ྜ≀⢏ࡢࢧࢬࡑࡢศᕸ࡞ࢆ᭱㐺ࡍࢀࡤ⏝㏵ࡀᣑࡋ᭦࡞ࡿ㣕㌍ࡀᮇᚅࡉࢀࡿࠋᚋࡣᐇ〇ရ࡛ࡢᐇ
ドヨ㦂ࡀṧࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋ
࠸ࡎࢀࡋ࡚ࡶࠊୖグϨ㹼ϫࢱࣉࡣࠊ㟁Ꮚ㒊ရ⏝㈗㔠ᒓࡵࡗࡁ㒊ရ࠾ࡅࡿ㜵㣗ᵓ㐀ࡢὶ࡞ࡿࡶࡢᛮࢃࢀࡿࠋ
ࡇࢀࡽࡢࡵࡗࡁ⭷ࡣࠊ⭉㣗ᦆയࡢⓎ⏕ࢆᮦᩱ̿⎔ቃ̿ᵓ㐀ࡢྛⅬࡽᩚ⌮ࡍࡿࠊᅗ 5-5-a ࠾ࡼࡧ-b ♧ࡍࡼ࠺ᤊ࠼ࡿ
ࡇࡀฟ᮶ࡿࠋࡍ࡞ࢃࡕࠊࢱࣉϨ㸧࠾ࡼࡧϩ㸧ࡣࠊᮦᩱᅉᏊࢆᨵၿࡍࡿࡇ࡛⭉㣗ᦆയࡢᢚไࢆ┠ᣦࡋࡓᡭἲ࡛࠶
ࡿࠋࡲࡓࠊϪ㸧࠾ࡼࡧϫ㸧ࢱࣉࡣࡑࢀࡒࢀ⎔ቃᅉᏊ࠾ࡼࡧᵓ㐀ᅉᏊࢆᨵၿࡍࡿࡇ࡛⭉㣗ᦆയࡢᢚไࢆ┠ᣦࡋࡓᡭ
ἲ࡛࠶ࡿࠋࡑࡋ࡚ࠊఱࢀࡶࡑࢀࡒࢀ୍ᐃࡢඃࢀࡓᛶ⬟ࢆ☜ಖࡍࡿࡇᡂຌࡋ࡚࠸ࡿぢࡿࡇࡀ࡛ࡁࡿࠋ
ࡋࡋࠊୖ㏙ࡋࡓࡼ࠺㜵㣗ຠᯝࢆࡼࡾ㧗ࡵࡿࡣࠊᮦᩱࠊ⎔ቃࠊᵓ㐀ࡢྛᅉᏊࡢࡳ༢⊂࡛ᨵၿࡍࡿࡢ࡛ࡣ࡞ࡃࠊᮦᩱࠊ
⎔ቃ࠾ࡼࡧᵓ㐀ࡢྛᅉᏊࢆ⥲ືဨࡋࡓᡭἲࢆᶍ⣴ࡍࡁᛮࢃࢀࡿࠋ
ලయⓗࡣࠊᅗ 5-6 ♧ࡍࡼ࠺ᮏሗ࡛㏙ࡓᮦᩱࠊ⎔ቃ࠾ࡼࡧᵓ㐀ࡢྛᅉᏊ࠾ࡅࡿ࠶ࡽࡺࡿᡭἲ㸦⾲ 5-1 ࠾ࡼࡧ
5-2 ཧ↷㸧ࡢྍ⬟ᛶࢆ⣔⤫ⓗ⤌ྜࡏ᳨࡚ウࡍࡁᛮࢃࢀࡿࠋ
ࡑࢀࡽࡢ୰ࡽࠊᶵ⬟ᛶඃࢀࡓᡭἲ࠶ࡿ࠸ࡣࢥࢫࢺࣃࣇ࢛࣮࣐ࣥࢫඃࢀࡿࡵࡗࡁᢏ⾡ࡀ⏕ࡲࢀࡿᛮࢃࢀࡿࠋ
17
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ୰㛫Pd䜑䛳䛝⭷ 䛾
Sn䜑䛳䛝ཌ⭷
ᮦᩱ
ᮦᩱ
⭉㣗ᦆയ
⭉㣗ᦆയ
ᵓ㐀
⎔ቃ
Ϩ)ᚑ᮶ᵓ㐀
Cuୗᆅ/Ni0.5䡚3/Sn2䡚6
ᅗD
ᵓ㐀
⎔ቃ
ϩ)୰㛫Pd䜑䛳䛝⭷ᵓ㐀
Cuୗᆅ/Ni䠍䡚3/Pd0.2䡚1/Au0.03䡚0.05
㟁Ꮚ㒊ရ⏝ࡵࡗࡁ⭷ࡢ⪏㣗ᛶᨵၿ⟇
ᮦᩱ
ᮦᩱ
⭉㣗ᦆയ
⭉㣗ᦆയ
ᵓ㐀
⎔ቃ
⎔ቃ
ᵓ㐀
㔠ᒓ㛫
ྜ≀
PFPEሬᕸ
Ϫ)PFPEሬᕸᵓ㐀
Cuୗᆅ/Ni0.5䡚3/Au0.03䡚1/ PFPE
ϫ)㔠ᒓ㛫ྜ≀ᵓ㐀
Cuୗᆅ/Sn䠍䡚3/Ag0.05
ᅗE 㟁Ꮚ㒊ရ⏝ࡵࡗࡁ⭷ࡢ⪏㣗ᛶᨵၿ⟇
ୗᆅᮦ㸦⪏㣗ᛶ㖡ྜ㔠㸧ࠊ༢ᒙࡵࡗࡁ⭷㸦㈗㔠ᒓ㸧
ྜ㔠ࡵࡗࡁ㸦㔠ᒓ✀㸧ࠊከᒙࡵࡗࡁ⭷㸦㔠ᒓ⤌ྜࡏ㸧
ࣆ࣮ࣥ࣍ࣝᐦᗘῶᑡࡵࡗࡁἲ㸦᪂ῧຍྵ᭷$Xࡵࡗࡁἲ㸧
ᮦᩱ
⭉㣗ᦆയ
⎔ቃ
⾲㠃ฎ⌮ࠝ㓟⭷ࠊᑒᏍฎ⌮ࠊ
᧕Ỉᛶฎ⌮ࠊᢠ⳦ฎ⌮ࠊ
ࢥࣥࢱࢡࢺ࣭࢜ࣝ3)3(ሬᕸࠞ
ᅗ
ᵓ㐀
ศᩓࡵࡗࡁ㸦ศᩓᮦ㸧ࠊ㠀ᬗ㉁ࡵࡗࡁ
ࣃࣝࢫ࣭㉸㡢Ἴ࣭࣮ࣞࢨ࣮ࡵࡗࡁ
㔠ᒓ㛫ྜ≀ࡢᵓ㐀
ᑗ᮶࠾ࡅࡿ㟁Ꮚ㒊ရ⏝ࡵࡗࡁ⭷ࡢ⪏㣗ᛶᨵၿ
ཧ⪃ᩥ⊩
57) 㕥ᮌᬛࠊ㇂ᮏᏲṇ㸸ྂἙ㟁ᕤሗࠊ106ࠊp.46(2000)
58) ᖹᮏᢳ㸸⭉㣗ゎᯒ⭉㣗デ᩿ἲࠊࢸࢡࣀࢩࢫࢸ࣒ࠊp.657㹼666(2008)
59) 㛗㇂ᕝΎࠊ㸸≉㛤ᖹ 9-8438 ྕ㸦1997㸧ࠕ࣡ࣖ࣎ࣥࢹࣥࢢ⏝➃Ꮚࡑࡢ〇㐀᪉ἲࠖ
60) ᩪ⸨ᅖࠊᮏ㛫ⱥኵࠊ㸸ධ㛛࣭᪂ࡵࡗࡁᢏ⾡ࠊᕤᴗㄪᰝࠊp.215㹼220(2007)
18
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ 61) బ⸨㯞㔛ࠊ㧗ᶫ⚽⮧㸸JCU ࢸࢡࢽ࣏࣮࢝ࣝࣞࢺࠊ➨ 94 ྕࠊ(2013)ࠊࠕᇶᯈ⏝㟁ゎ Ni/Pd/Au-Co ࡵࡗࡁࡢ᳨ウࠖ.
http//www.jcu-icom/technical/bknum/vol.94 04.htm
62) 㕥ᮌᬛࠊ㇂ᮏᏲṇ㸸ྂἙ㟁ᕤሗࠊ106ࠊp.46(2000)
63) ᰠ┿Ẏࠊᒣᮏὒ㸸⾲㠃ᢏ⾡ࠊ63ࠊ4ࠊp.215(2012)
64) ᑠ⏣ᖾ㸸⾲㠃ᢏ⾡ࠊ58ࠊ2ࠊp.109(2007)
65) ᅵ⏣ᚭຬ㉳ࠊஂಖ୍㸸࢚ࣞࢡࢺࣟࢽࢡࢫᏛࠊ16ࠊ6ࠊp.1㹼8(2013)
66) ᖹᮏᢳ㸸≉㛤බ 2006-252862,ࠕ࣓࣮࣮ࣔࣜ࢝ࢻࠊࣔࣂࣝሗ➃ᮎཬࡧ㟁ჾࠖ
67) ஂಖ⏣᪼ࠊἑᏹ୍㸸㔠ᒓ⾲㠃ᢏ⾡ࠊ39ࠊ5ࠊp.266~269(1988)
㸴ࠊp.36㹼43(1993)
68) ຍ⸨⌮ࠊΎỈᏕ⣧㸸᪥ᮏ㟁Ꮚᮦᩱᢏ⾡༠ሗࠊ25ࠊ㸴
69) ஂ⡿㐨அࠊἈ⊛㞝㸸⾲㠃ᢏ⾡ࠊ46ࠊ7ࠊp.663~666(1995)
70) ᩪ⸨ᅖࠊᮏ㛫ⱥኵ㸸᪂ࡵࡗࡁᢏ⾡ࠊᕤᴗㄪᰝࠊp.176(2007)
71) Ώ㎶ṇ‶ࠊ༙⏣㝯ኵ㸸⭉㣗ゎᯒ⭉㣗デ᩿ἲࠊࢸࢡࣀࢩࢫࢸ࣒ࠊp.689(2008)
72) ༙⏣㝯ኵࠊᐑ⏣ᜨᏲ㸸ᮦᩱ⎔ቃࠊ49ࠊ11ࠊp.149㹼154(2000)
73) ྂ⸨⏣ဴဢ㸸㈗㔠ᒓࡵࡗࡁࠊᵐ᭩ᗑࠊp. 209~211,(2001)
74) ⾲㠃ᢏ⾡༠⦅㸸⾲㠃ᢏ⾡౽ぴࠊp.272 (1998)
75) 㔜⏣ᾈྖࠊ㧗ᒸὒ୍㸸ᯇୗ㟁ᕤᢏሗࠊ56ࠊ1ࠊp.85㹼87(2008)
76)ᴮᮏⱥᙪ㸸ᮦᩱ⎔ቃࠊࠊࠊS㹼
77) ᩥ⊩ ࠊS
78) ᯘᛅኵ㸸⾲㠃ᢏ⾡ࠊ31ࠊ11ࠊp.635㹼643(1980)
79) ᑿᓮᩄ⠊㸹ኻᩋᏛࡪ㟁Ꮚ㒊ရࡢࡵࡗࡁᢏ⾡ࠊᕤᴗㄪᰝࠊ3㸯
80) ᑠ᪩ᕝ⣫୍ࠊబ⸨♸୍㸸㛵ᮾᏛ㝔Ꮫ⾲㠃ᕤᏛ◊✲ᡤ⦅ࠊ᭱ඛ➃⾲㠃ฎ⌮ࡢࡍ࡚ࠊᕤᴗㄪᰝࠊS
81) ⭉㣗㜵㣗༠⦅㸸⭉㣗㜵㣗ࣁࣥࢻࣈࢵࢡࠊp.395㹼398(2000)
82) ᮧᯇ᐀㡰㸸㔠ᒓ⾲㠃ᢏ⾡ࠊ36ࠊ11ࠊp.443(1985)
83) ㇏⏣⛱㸸⾲㠃ᢏ⾡ࠊ41ࠊp.1101(1990)
84) ᖹᯇᐇࠊ᪥㔝ᐇ㸸ࡲ࡚ࡾ࠶ࠊ44ࠊ11ࠊp.917~924(2005)
85) ᯇᮧ᐀㡰㸸⾲㠃ᢏ⾡ࠊ45ࠊ12ࠊp.1235~1239(1994)
86) ᩥ⊩ 74)ࠊp.282
87) 㟁Ẽ㘡㔠◊✲⦅㸸ḟୡ௦ࡵࡗࡁᢏ⾡ࠊ᪥หᕤᴗ᪂⪺♫ࠊp.26㹼37(2004)
88) ࢼࣀࣉ࣮ࣞࢳࣥࢢࠊ᪥หᕤᴗ᪂⪺♫ࠊp.175(2004)
89) Ύᕝ⫕ࠊ㧗ᓥṇஅ㸸Ꮫᕤᴗࠊ57ࠊ1ࠊp.31㹼34(2004)
90) ᩥ⊩ 74)ࠊp.352
91) ⏣ᡤ⩏ᾈ:Ᏹ㒔ᐑᏛᏛㄽᩥࠕ㟁Ꮚ㒊ရࡢ⪏㣗ᛶⓎ⌧࣓࢝ࢽࢬ࣒⪏㣗ᛶྥୖ㛵ࡍࡿ◊✲ࠖ
ࠊp.63㹼70㸦2013.9㸧
92) ቑᐶ㸸㔠ᒓ⾲㠃ᢏ⾡ࠊ32ࠊ12ࠊ,p.626㹼630(1981)
93) ᴮᮏⱥᙪࠊ㸸㟁Ꮚ㒊ရࡢࡵࡗࡁᢏ⾡ࠊ᪥หᕤᴗ᪂⪺ࠊp.135㸦2002㸧
94) ⌋⏣⪽㸸ᮦᩱ⎔ቃࠊ46ࠊ2ࠊ.p.66㹼75(1997)
95) ୗ᮲Ṋ⨾㸸ᐇົ⾲㠃ᢏ⾡ࠊ32ࠊ12ࠊp.652~658ࠊ(1985)
96) ᑠ㔝ᜤࠊᏳ⏣Ᏺᏹ㸸⾲㠃ᢏ⾡ࠊ53ࠊ10ࠊp.700~701(2002)
97) ቑᐶ㸸㔠ᒓ⾲㠃ᢏ⾡ࠊ32ࠊ12ࠊp.626㹼630(1981)
98) ࿋ᯇ➉ࠊ㸸⾲㠃ᢏ⾡ࠊ62ࠊ1㸯ࠊ,p.27-35(2011)
99) ࿋ᯇ➉ࠊ㸸㖡㖡ྜ㔠ࠊ48ࠊp.219-224(2009)
100) ࿋ᯇ➉ࠊ㸸≉㛤 2010-37629 ྕࠕ➃Ꮚࢥࢿࢡࢱ࣮⏝ᑟ㟁ᮦᩱ࠾ࡼࡧࢇྜᆺ᥋ゐ➃Ꮚࠖ
101) ᱜࠊ㸸≉㛤 2012-122115 ྕࠕ㖡ཪࡣ㖡ྜ㔠ࡢ Ag-Sn ࡵࡗࡁ᪉ἲ࠾ࡼࡧࡑࡢ᪉ἲࡼࡾ〇㐀ࡉࢀࡓ Ag-Sn ࡵࡗࡁࡀ
ࡉࢀࡓ㖡ྜ㔠ᯈࠖ
102) ୰㔝༤ࠊୖᝅࠊ㸸᪥ᮏ㔠ᒓᏛㄅࠊ73ࠊ8ࠊp.622(2009)
103) ࿋ᯇ➉ࠊ⇃㇂῟୍㸸㖡㖡ྜ㔠ࠊ47ࠊ1ࠊp.112㹼116(2008)
104) ࿋ᯇ➉ࠊ㸸≉チฟ㢪␒ྕ 2012-188457ࠕࡵࡗࡁ㒊ᮦࠊࢥࢿࢡࢱ⏝ࡵࡗࡁ➃Ꮚࠊࡵࡗࡁ㒊ᮦࡢ〇㐀᪉ἲ࠾ࡼࡧࢥࢿࢡࢱ⏝ࡵࡗࡁ
➃Ꮚࡢ〇㐀᪉ἲࠖ
105) ᪂㇂၏ᚿ㸸⯟✵㟁Ꮚᢏሗࠊ
ࠕᢏ⾡⤂ 12ࠖNo.31(2008)
106) ὸ┿ࠊ㇂㇏ࠊ㸸⾲㠃ᢏ⾡ࠊ46ࠊ12ࠊ,p.1144~1149(1995)
107) ෆ⏣⿱ᗣ㸸ᐇົ⾲㠃ᢏ⾡ࠊ30ࠊ9ࠊ.p.371~375(1983)
108) ⭉㣗㜵㣗༠⦅㸸㟁Ꮚᶵჾ㒊ရࡢ⭉㣗࣭㜵㣗 Q&Aࠊp.12(2006)
109) ᫍ㔝ⰾ᫂㸸ࡵࡗࡁຍᕤࡢࢺࣛࣈࣝᑐ⟇ࠊ᪥หᕤᴗ᪂⪺♫ࠊp.131(2006)
110) 㧗ⴗὈࠊ㬞ᚿ⏣ᩄ⾜㸸Ⲉᇛ┴ᕤᴗᢏ⾡ࢭࣥࢱ࣮◊✲ሗ࿌ࠊ➨ 18 ྕࠊp.22㹼24㸦1989㸧
111) ∦ᒣ㡰୍㸸㛵ᮾᏛ㝔Ꮫ⾲㠃ᕤᏛ◊✲ᡤ⦅㸸᭱ඛ➃⾲㠃ฎ⌮ࡢࡍ࡚ࠊᕤᴗㄪᰝ㸸p.242(2006)
112) ᶫஓ㸸ᮦᩱ⎔ቃࠊ49ࠊ11ࠊp.664㹼668(2000)
113) ⚟ᓮᬛྖࠊᖹᯇᐇ㸸㛵ᮾᏛ㝔Ꮫ⾲㠃ᕤᏛ◊✲ᡤ⦅᭱ඛ➃⾲㠃ฎ⌮ࡢࡍ࡚ࠊᕤᴗㄪᰝp.216(2006)
114) 㟁Ẽ㘡㔠◊✲⦅㸸⎔ቃㄪᆺࡵࡗࡁᢏ⾡ࠊ᪥หᕤᴗ᪂⪺♫ࠊp.179(2004)
115) ᮧᮌṇⰾ㸸ࢺࣛ࣎ࣟࢪ࣮ࠊᦶ᧿ࡢ⛉Ꮫ₶ᢏ⾡ࠊp.141~143(2007)
116) ㆡཎ㟹ᘯ㸸⯟✵㟁ᏊᢏሗࠊNo.27ࠊp.1㹼13(2004)
117) ᑠ㔝⚽ࠊ⛉ࠊ㸸⾲㠃ᢏ⾡ࠊ64ࠊ2ࠊp.140㹼145(2013)
118) ᩥ⊩ 79)ࠊp.251
119) Ώ㎶ṇ‶ࠊ༙⏣㝯ኵ㸸⭉㣗ゎᯒ⭉㣗デ᩿ἲࠊࢸࢡࣀࢩࢫࢸ࣒ࠊp.694(2008)
120) NTT ᢏ⾡ࢪ࣮ࣕࢼࣝ p.67㹼68ࠕࣉࣜࣥࢺᇶᯈࡢ⭉㣗⭉㣗ᑐ⟇ࡢ᳨ウࠖ(2012.)
www.ntt.co.jp/journal/1204/files/jn20120467.pdf
121) ᩥ⊩ 91)ࠊp.141㹼178
122) ⏣ᡤ⩏ᾈ㸸⚾ಙ㸦2014㸧
19
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ Ⅳ㓟࢞ࢫẼჾࡢ㖡⟶ࡢ⭉㣗ᦆയ
ࢺ࣮࢝ࣟओ 㧗㇂Ὀஅ㸪ᡞ㉺୍㑻
ᾮⅣ㓟࢞ࢫࢆẼࡉࡏ㸪Ⅳ㓟࢞ࢫࢆ౪⤥ࡍࡿẼჾ㸦⺬⟶㸧࠾࠸࡚㸪㖡〇ࡢⓎჾࡀ
◚ᦆࡋࡓࢆ⤂ࡍࡿ㸬
㸯㸬Ⅳ㓟࢞ࢫẼჾࡢᵓ㐀
Ⅳ㓟࢞ࢫẼჾࡣ㸪ᾮⅣ㓟࢞ࢫ㸦&2㸧ࢆ Ỉ࡛ຍ ࡋ㸪࢞ࢫࡉࡏࡿ⨨࡛࠶ࡿ㸬ࡑࡢᴫ␎ᅗࢆᅗ
㸯♧ࡍ㸬Ẽჾࡣᵴ㸪Ⓨჾࢥࣝ㸪㟁⇕ჾ࡛ᵓᡂࡉࢀ࡚࠸ࡿ㸬 Ỉࡣ㟁⇕ჾ㸦9㸧࡛ ᗘࢆୖ
ࡆ㸪 ᗘㄪᩚࡣࢧ࣮࣑ࢫࢱ࣮࡛ ᗘࢆ᳨▱ࡋ㟁⇕ჾࢆ 21㸭2))
ࡉࡏ࡚⾜࠺㸬
ẼჾࡢⓎ⟶ࡢᬒࢆᅗ D♧ࡍ㸬ᮦ㉁ࡣ㸪ࡾࢇ⬺㓟㖡
〇࡛࠶ࡾ㸪᪥ᮏᕤᴗつ᱁㸦-,6+㸧࡛つᐃࡉࢀࡿ㖡ཬࡧ㖡
ྜ㔠ࡢ⥅┠↓⟶࡛࠶ࡿ㸬ࡑࡢᏛ⤌ᡂࡣ &X PDVV௨ୖ㸪
3 㹼PDVV㸧࡛࠶ࡿ㸬㖡⟶ࡢᑍἲࡣእᚄ PP㸪ෆ
ᚄ PP㸪ཌࡉ PP ࡛࠶ࡿ㸬
Ⓨჾࡣ㖡⟶ࢆࢥࣝ≧ ᅇᕳࡁࡋ㸪㹼Υࡢ Ỉ
ₕࡅࡓⓎჾࡢධཱྀࡽ⣙㸫ΥࡢⅣ㓟࢞ࢫᾮࢆࢱࣥࢡࡽ౪
⤥ࡉࢀࡿ㸬Ⅳ㓟࢞ࢫᾮࡀ Ỉࡼࡗ࡚ຍ⇕ࡉࢀ⇕ࡍࡿࡇ
࡛㸪Ⅳ㓟࢞ࢫᾮࡣἛ㦐ࡋ㸪࢞ࢫࡍࡿ㸬Ⅳ㓟࢞ࢫᾮࡣฟཱྀࡼࡾ
ୗὶഃᖖሸࡉࢀ࡚࠸ࡿ㸬
Ⓨჾୗ㒊ࡢ㏆ഐ㟁⇕ࣄ࣮ࢱ࣮ࡀ⤌ࡳ㎸ࡲࢀ࡚࠸ࡿ㸬㟁⇕
㻌
ࣄ࣮ࢱ࣮ࡢឤ⇕㒊ࡣ㖡⟶ࢽࢡ࣒ࣟ⥺ࡀෆⶶࡉࢀ࡚࠸ࡿ㸬⟽ᙧ
ᅗ䠍㻌 Ⅳ㓟䜺䝇Ẽჾ䛾ᵓ㐀㻌
ࡢỈᵴࡣ 686 㗰࡛సࡽࢀ㸪Ⓨჾࡢ㖡⟶ࡣỈᵴ୰タࡅࡓ
Ⓨჾཷࣂ࣮ࡢୖࡏ࡚࠸ࡓ㸬
࡞࠾㸪⏝ࡍࡿỈࡣỈ㐨Ỉࢆ
᮲௳ࡋ࡚࠸ࡓࡀ㸪ᆅୗỈ㸪
ᕤᴗ⏝Ỉࢆ⏝ࡋ࡚࠸ࡿࡇ
ࢁࡶ࠶ࡾ㸪ᮏ௳࡛ࡢ⏝Ỉࡢ
Ỉ㉁ࡘ࠸࡚ࡣㄪᰝࡉࢀ࡚࠸
࡞࠸㸬
㸰㸬Ⓨჾࡢ⭉㣗≧ἣ
ᖹᡂ㸱ᖺ〇సࡋ㸪⏝ᮇ
㛫⣙ ᖺ⤒㐣ࡋࡓⅣ㓟࢞ࢫẼ
ჾࡢⓎჾ㖡〇⺬⟶⭉㣗
ᦆയࡀ⏕ࡌࡓ㸬ᦆയࡋࡓ⺬⟶
ࡢ≧ἣࢆᅗ㸰EF♧ࡍ㸬
Ⓨჾࡢእ㠃ࢹࣥࣉࣝ
≧ࡢ⭉㣗ࡀ↓ᩘⓎ⏕ࡋ࡚࠸ࡓ㸬
≉㸫ΥࡢⅣ㓟࢞ࢫᾮࡀὶ
㻌
ࢀࡇࢇ࡛ప ≧ែ࠶ࡿ࡛࠶
ᅗ 㻞㻌 Ⓨჾ㖡⟶㻌
ࢁ࠺㸪ධཱྀ⟶ࡽࢥࣝ≧
㻔㼍㻕㻌 ᮍ⏝⺬⟶䠈㻔㼎㻕⏝ᚋ䛾⾲㠃≧ែ㻌
ᕳ࠸ࡓⓎჾࡢୗ㒊ࡀⴭࡋࡃ
20
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ 㻌
ᅗ 㻟㻌 Ⅳ㓟䜺䝇Ẽჾ䛾⭉㣗≧ἣ㻌
㻔㼍㻕ୗ᪉䛛䜙䛾㖡⟶䠈㻔㼎㻕㈏㏻Ꮝ㏆䛾⾲㠃㻌
㻌
ᅗ 㻠㻌 Ⅳ㓟䜺䝇Ẽჾ䛾㖡⟶䛾㈏㏻Ꮝ㒊㻌
㻔㼍㻕እ㠃䠈㻔㼎㻕ෆ㠃䠈㻔㼏㻕᩿㠃㻌
⭉㣗ࡋ࡚࠸ࡓ㸬
ᅗ ⟶ࡢᗏ㒊ࡢ⭉㣗≧ἣࢆ♧ࡋ㸪Ⅳ㓟࢞ࢫࡣⓑ
▮༳᪉ྥࡽὶධࡍࡿ㸬⟶ᗏ㒊ࡢࢫࢸࣥࣞࢫ㗰〇ཷ
ࣂ࣮᥋ࡋࡓ⟠ᡤ㈏㏻Ꮝࡀぢࡽࢀࡓ㸬㈏㏻㒊ࡢእ
㠃㸪ෆ㠃ࡑࡢ㏆ࡢ᩿㠃ࢆᅗ ♧ࡋࡓ㸬┿ࡢ
ୖ㒊ࡀୖഃ㸪┿ࡢୗࡀᗏഃ࡛࠶ࡾ㸪᩿㠃࡛ࡣ % ࡀ
ୖ㸪$ ࡀୗഃ࡛࠶ࡾ㸪ᗏ㒊࡛⭉㣗ࡀ㐍ࡳῶ⫗ࡋ࡚࠸
㻌
ࡿࡇࡀゎࡗࡓ㸬⟶ෆ㠃㸦Ⅳ㓟࢞ࢫ᥋ࡋ࡚࠸ࡿ
ഃ㸧ࡣ㯮ࡃኚⰍࡋ࡚࠸ࡿࡀ㸪⭉㣗ࡢ㐍⾜ࡣぢࡽࢀ࡞
ᅗ 㻡㻌 ╔≀䛾 㻱㻰㻿 ศᯒ䠄ᅗ 㻟㻔㼍㻕䠅㻌
ࡗࡓ㸬ᅗ Dࡢ⾲㠃ሁ✚ࡋࡓ⭉㣗⏕ᡂ≀ࢆศᯒ
ࡍࡿ㸪ᅗ ࡢ ('6 ᅗᙧࡢࡼ࠺ &X ࡢࡣ 6L ࡢࡳࡀ᳨ฟࡉࢀࡓ㸬
ࡉࡽ㸪Ỉ୰ᇙἐࡋ㸪㖡⟶ྠኈࡀ㔜࡞ࡗ࡚࠸ࡓ⟠ᡤࡢ⭉㣗≧ἣࢆᅗ ♧ࡍ㸬㔜࡞ࡗࡓ⟠ᡤࡣ⥳
㟷ࡀᖏ≧ሁ✚ࡋ࡚࠸ࡓD㸬㔜࡞ࡾ㒊ࡢୗഃFࡣ⭉㣗⏕ᡂ≀ࡀሁ✚ࡋ㸪ࡑࡢୖഃEࡣ⭉㣗ࡀ㐍⾜
ࡋ㸪ሁ✚≀ࡀᑡ࡞ࡗࡓ㸬
ࡲࡓ㸪⟶ࡢỈ㠃ࡼࡾୖᒙ㒊ࡢ㖡⟶ࡢ⭉㣗≧ἣࢆᅗ㸵♧ࡍ㸬ᓥ≧ศᕸࡋࡓ⭉㣗⏕ᡂ≀ࡀሁ✚ࡋ㸪ࡑ
ࡢࡋࡓ࡛㖡⟶ࡢ⭉㣗ࡀ㐍⾜ࡋ࡚࠸ࡓ㸬ࡑࡢሁ✚≀ࢆ ('6 ศᯒࡍࡿ㸪6L ຍ࠼࡚ 6㸪&O㸪)H㸪&D ࡞ࡀ
᳨ฟࡉࢀ㸪⿵⤥Ỉࡽࡶࡓࡽࡏࡽࢀ㸪⃰⦰ࡋࡓ⤖ᯝ᥎ᐹࡋࡓ㸬
21
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ 㻌
ᅗ 㻢㻌 Ⅳ㓟䜺䝇Ẽჾ䛾㔜䛺䜚㒊㻌
㻔㼍㻕Ⅳ㓟䜺䝇ධཱྀ䠈㻔㼎㻕⦪⟶䛾⭉㣗䠈㻔㼏㻕╔≀䛾 㻱㻰㻿 ศᯒ㻌
㻌
ᅗ䠓㻌 Ⅳ㓟䜺䝇Ẽჾ䛾ධཱྀ㒊⦪⟶䛾⭉㣗≧ἣ㻌
㻔㼍㻕Ⅳ㓟䜺䝇ධཱྀ䠈㻔㼎㻕⦪⟶䛾⭉㣗䠈㻔㼏㻕╔≀䛾 㻱㻰㻿 ศᯒ㻌
㸱㸬ᦆയཎᅉ
Ⓨჾ⟶ࡢ⭉㣗ᦆയࢆほᐹࡍࡿ㸪㖡⟶ࡢෆ㠃ࡣẚ㍑ⓗṇᖖ࡛࠶ࡗࡓ㸬ࡲࡓ㸪⟶ࡢෆ㠃㸪እ㠃ࡶ
₽㣗ࡀⓎ⏕ࡍࡿせᅉࡀぢཷࡅࡽࢀ࡞ࡗࡓ㸬ᾮⅣ㓟࢞ࢫࡢὶධࡼࡿ⟶ᗏ㒊㸦ධཱྀ㸧ࡑࡢࡢ⟠ᡤ
࡛ࡣ ᗘᕪࡀ⏕ࡌ㸪ࡑࢀࡀ⭉㣗せᅉ࡞ࡿᠱᛕࡀ࠶ࡿࡀ㸪 ᗘᕪࡀ⭉㣗ࢆಁ㐍ࡉࡏࡿ࠸࠺ࡼࡾࡶ㖡
⟶⾲㠃ࢩࣜ࢝ࡀሁ✚ࡋࡸࡍࡃ࡞ࡿ⪃࠼ࡽࢀࡓ㸬 ≉㸪㖡⟶ྠኈࡀ᥋ゐࡋ࡚࠸ࡿ㒊ศࡣሁ✚≀ࡀṧࡾࡸࡍࡃ㸪ࡑࡢࡓࡵࡍࡁ㛫⭉㣗ࢆ⏕ࡌࡸࡍࡃ
࡞ࡗࡓ࠸࠼ࡿ㸬㖡⟶ࡀタ⨨ࡉࢀࡓࢫࢸࣥࣞࢫ㗰〇ཷࡅࣂ࣮㒊࡛ࡣሁ✚≀ࡀከࡃ㸪ࡢ㒊ศẚ࡚⭉
㣗ࡀ᪩ࡃ㐍⾜ࡋࡓ⤖ㄽࡉࢀࡓ㸬⭉㣗ᝏᙳ㡪ࢆ࠼ࡿỈ㉁⃰ᗘࡣ㸪Ỉᵴࡢᗏ࡞ࡿ⃰ࡃ࡞ࡗ࡚࠸
ࡓ⪃࠼ࡽࢀࡓ㸬
㸲㸬ᑐ⟇
ỈࡣୖỈ㐨Ỉࢆ⏝㸪ᕤᴗ⏝ỈࡸᡞỈ࡞ࡣ⏝ࢆ㑊ࡅࡿ㸬⭉㣗ࡣỈ㉁ࡁࡃᕥྑࡉࢀ㸪Ỉࡢศ
ᯒࡀྍḞ࡛࠶ࡿ㸬ሁ✚≀ࡀ࠶ࡿ㸪ሷᇶ࡞ࡢᙳ㡪ࢆཷࡅࡸࡍࡃ⭉㣗ࡋࡸࡍ࠸㸬⟶ࡢ⾲㠃ሁ✚≀ࡀ
22
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ╔ࡍࡿ㖡⟶ࡢ⭉㣗㐍⾜ࡀ᪩࠸㸬
ᑐ⟇ࡋ࡚ࡣ㸪ᐃᮇⓗỈᵴෆࡢỈࢆࡋ㸪Ẽჾࡢ࣮࢜ࣂ࣮࣮࣍ࣝࢆᐇࡍࡿࡇ࡛࠶ࡿ㸬ࡲࡓࠊ
ࢫࢸࣥࣞࢫ㗰㖡⟶ࡢ㟁ᕪࡀ⭉㣗ࢆຍ㏿ࡉࡏࡿࡇࡶ࠶ࡿࡢ࡛ࠊ☜ㄆࡋ࡚࠾ࡃᚲせࡀ࠶ࡿࠋ
㸳㸬࠾ࢃࡾ
ᮏ௳ࡢࡣ ᖺ㛫⏝ࡉࢀࡓࡶࡢ࡛࠶ࡾ㸪⏝Ỉࡀㄢ㢟࡛࠶ࡗࡓࡢ࡛ࡣ࡞ࡃ㸪ሁ✚≀ࡢ㝖ཤࡀᚲ
せ࡛࠶ࡗࡓゝ࠼ࡿ㸬
ྠࡌ⨨࡛⏕ࡌࡓࡢᦆയࢆᅗ ♧ࡍ㸨㸰㸬 ᖺ㛫⏝ࡋࡓ㖡⟶ࡢ⭉㣗࡛࠶ࡾ㸪⟶ᗏ㒊࡛⫗ཌ
ࡀⷧࡃ࡞ࡗ࡚◚ࡋ࡚࠸ࡓࠋ⏝ࡋ࡚࠸ࡓ⿵⤥ỈࡢỈ㉁ㄢ㢟ࡀ࠶ࡗࡓ᥎ᐹࡉࢀࡿ㸬
㻌
ᅗ 㻤㻌 Ⅳ㓟䜺䝇Ẽჾ䛾⭉㣗㻌
ᬒ㻔㼍㻕䠈ᾮⅣ㓟䜺䝇ὶධཱྀ㒊㻔㼎㻕䛸䛭䛾ᣑ㻔㼏㻕䠈ᗏ㒊⟶㻔㼐㻕䛸䛭䛾ᣑ㻔㼐㻕㻌
㸨㸯 ➨ ᅇ⭉㣗㜵㣗ࢭ࣑ࢼ࣮බ㛤┦ㄯ 4$㸪S㸪୕Ꮫओ㸦㜰ᗓ㧗▼ᕷ㸧
㸨㸰 ➨㸴ᅇ⭉㣗㜵㣗ࢭ࣑ࢼ࣮බ㛤┦ㄯ 4$㸪S㸪රᗜ┴❧ᕤᴗᢏ⾡ࢭࣥࢱ࣮㸦⚄ᡞᕷ㸧
23
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ➨ ᅇࠕ⭉㣗㜵㣗ࢭ࣑ࢼ࣮ࠖබ㛤┦ㄯ 4$ ࡢࡈෆ
ദ㸸බ♫⭉㣗㜵㣗Ꮫ ⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮
ඹദ㸸බ♫⭉㣗㜵㣗Ꮫ 㛵すᨭ㒊
ẖᖺ㛤ദࡋ࡚ࡲ࠸ࡾࡲࡋࡓࠕ⭉㣗㜵㣗ࢭ࣑ࢼ࣮ࠖࡶⓙᵝࡢࡈ༠ຊࡼࡾ ᖺ┠࡞ࡾࡲࡋࡓࠋ
᪥㡭ࠊ⭉㣗㜵㣗ᦠࢃࡽࢀ࡚࠸ࡿ᪉ࠎࠊࡑࡢ▱㆑ࢆᚓࡓ࠸᪉ࠎࡢࡓࡵࠊᖺᗘࡣୗグ᪥⛬࡛㛤ദ࠸ࡓ
ࡋࡲࡍࠋከᩘࡢࡈཧຍࢆ࠾ᚅࡕࡋ࡚࠾ࡾࡲࡍࠋ
㛤ദ᪥㸸ᖹᡂ ᖺ ᭶ ᪥㸦Ỉ㸧㹼
ሙ㸸୕Ꮫओ㜰ᕤሙ ◊ಟࢭࣥࢱ࣮㸱㝵࣐ࣝࢳ࣮࣍ࣝ
ࠛ㜰ᗓ㧗▼ᕷ㧗◁ 㟁ヰ㸸௦⾲)$;㸸௦⾲
࠙㏻ࢡࢭࢫࠚKWWSMSPLWVXLFKHPFRPFRUSRUDWHPDSPDSBRVDNDKWP
༡ᾏᮏ⥺ࠕ▼ὠᕝࠖ
ࠕ⩚⾰ࠖ㥐ࠊ-5 㜰⥺ࠕ㬅ࠖ㥐ࡲࡓࡣ㬅㥐࡛ -5 ⩚⾰⥺ࠕᮾ⩚⾰ࠖ㥐ࡽ
ࢱࢡࢩ࣮࡛⣙ ศ࡛ࡍࠋ୕Ꮫओṇ㛛ྥࡗ࡚ྑᡭᶓࠊᮏົᡤ๓࡚ୗ㌴ୗࡉ࠸ࠋ
ᙜ᪥ࡣࢱࢡࢩ࣮ΰ㞧ࡀண ࡉࢀࡿࡓࡵࠊࠕ▼ὠᕝࠖ㥐ࡽࡢࡈ⏝ࢆ࠾ዡࡵ⮴ࡋࡲࡍࠋ
ሙࡣ㥔㌴ሙࡀ࠶ࡾࡲࡏࢇࡢ࡛ࠊࡈᢎࡃࡔࡉ࠸ࠋ
ᐃဨ㸸 ྡ㸦㈨ᩱ➼ࡢ‽ഛࡢࡓࡵᐃဨ࡞ࡾࡋࡔ࠸⥾ࡵษࡽࡏ࡚࠸ࡓࡔࡁࡲࡍ㸧
ཧຍ㈝㸸 㸭ே
⥾ษ᪥㸸ᖹᡂ ᖺ ᭶ ᪥㸦㔠㸧
⏦㎸ඛ㸸ᯇ⏣ᏹᗣ ᐄࠛ ⚄ዉᕝ┴ᶓᕷᡞሯ༊ᖹᡞ ┠ ୕Ꮫᮾᡞሯᑅ ྕᐊ
HPDLO㸸PDWVXGD#EPDWFRMS
̿ࣉࣟࢢ࣒ࣛ̿
㸯㸬㛤ࡢᣵᣜ 㹼
㸰㸬බ㛤┦ㄯ㸦4$㸧 㹼 ఇ ᠁㸸㹼
┦ㄯဨ㸦ணᐃ㸧㸸 ㎷ᕝⱱ⏨㸦ᮾிᏛྡᩍᤵ㸧ࠊ▼ᕝ㞝୍㸦⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮㸧
ࠊ㛗㔝༤ኵ㸦ओᮦᩱ࣭⎔ቃ◊✲ᡤ㸧ࠊ
ᖾⱥ㸦᪂᪥㚩ఫ㔠ओ㸧ࠊ⸨⏣ኵ㸦ఫᏛओ㸧ࠊᕝᮧᩥኵ㸦ᰩ⏣ᕤᴗओ㸧ࠊ
ᕝ㎶ඔᚿ㸦ओ㛵す㺡㺖㺧㺔㺻㺨㺽㺤㺎㸧ࠊྡ㸦㛵すᏛ㸧ࠊ㧘㇂Ὀஅ㸦ࢺ࣮࢝ࣟओ㸧
ࠊ
ᯇ⏣ᏹᗣ㸦࣋ࢫࢺ࣐ࢸࣜओ㸧
ࠊୖ༤அ㸦㜰ᗓ❧㸧ࠊ୰ᒣṊ㸦ओ⚄ᡞ〇㗰ᡤ㸧
-6&( ⭉㣗㜵㣗ᑓ㛛ኈ
ͤ⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮+3㸦KWWSZZZFRUURVLRQFHQWHUMS㸧ヲ⣽࣭ཧຍ⏦㎸᭩ࢆᥖ♧ࡋ࡚࠾ࡾࡲࡍࠋ
24
⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ No. 070 2015 ᖺ 4 ᭶ ┠ ḟ
㟁Ꮚ㒊ရ⏝㖡ᮦᩱࡢ⭉㣗ᣲື㜵㣗ᢏ⾡
,,,㸬㈗㔠ᒓࡵࡗࡁࡼࡿ㜵㣗㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃 Ⅳ㓟࢞ࢫẼჾࡢ㖡⟶ࡢ⭉㣗ᦆയ㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃㺃
➨ ᅇࠕ⭉㣗㜵㣗ࢭ࣑ࢼ࣮ࠖබ㛤┦ㄯ 4$ ࡢࡈෆ㺃㺃㺃㺃㺃 ⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫ1R
㸦 ᖺ ᭶ 㸧 Ⓨ⾜⪅㸸බ♫⭉㣗㜵㣗Ꮫ⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮
ࠛ
ᮾி㒔ᩥி༊ᮏ㒓ῦࣅࣝ㝵
7HO㸸㸪)D[㸸
(PDLO㸸[email protected]
85/㸸http://www.corrosion-center.jp/
ࠕ⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫࠖࡢหྕ௨᮶ࡢ
ࣂ ࢵ ࢡ ࢼ ࣥ ࣂ ࣮ ࡣ⭉㣗ࢭࣥࢱ࣮ࡢ
ୖグ࣮࣒࣮࣍࣌ࢪ࡛㜀ぴ࡛ࡁࡲࡍ
ᮏࢭࣥࢱ࣮ࢽ࣮ࣗࢫᥖ㍕ࡉࢀ࡚࠸ࡿグࡣࠊ
ⴭ⪅ࡢពぢࢆ⾲ࡍࡶࡢ࡛࠶ࡾࠊᚲࡎࡋࡶ⭉㣗ࢭ
ࣥࢱ࣮ཬࡧ⭉㣗㜵㣗Ꮫࡢពぢࢆ⾲ࡍࡶࡢࡣ
㝈ࡽ࡞࠸ࠋ
© Copyright 2026 ExpyDoc