真空・各種チャンバ Vacuum Chamber SUS・アルミ・ミューメタルの製作が可能 設計∼製作まで一括受注 特 徴 ● ● Feature 特別鍛造にて超高真空チャンバの製作可能。 様々な材質での製作。 ・SUS304・SUS316L・310 ・アルミニウム ・ミューメタル ・パイレックス・石英 ・アクリル・塩ビ (その他材質はお問い合わせください) ● ● ● 小型から大型まで(∼□2000、φ2000) 設計から製作、リークテストまでの一括受注。 低・極高真空・高圧・湿度 気 製作 ガス雰囲気対応チェンバ製作。 ● 各種コーティング(TiN・テフロン)対応。 ● ベーキングユニットの製作可能。 ● ベーキング後の出荷も承ります。
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