TIA-nano の 多彩な研究成果︓第１期５年目の到達段階
Various achievements of TIA-nano︓Research stage at 5th year
基礎研究
応用研究、開発
実証
事業化
Basic Research
Applied Research & Development
Demonstration
Commercialization
静電貯蔵リングの応用研究
1
1
Researches with electrostatic ion storage ring
宇宙線ミュオンによる非破壊検査
NDI by cosmic-ray muon radiography
2
計測技術
Instrumentation
ＳＯＩ技術による計測技術の革新
Innovation of sensing technology with SOI
固液界面反応、電池反応の
その場追跡法開発
Development of in situ characterization of solid/liquid interfacial reaction and battery reaction
全固体電池材料の単結晶薄膜化
Litium-Air battery demonstration in dry room
Growth of single crystal thin film of all solid-state battery materials
3
新規燃料電池触媒の発見
Discovery of a novel catalyst for fuel cells
リチウム空気二次電池 2
Lithium air rechargeable battery
熱電ナノ材料のボトムアップ創製
Bottom-up synthesis of thermoelectric nanomaterials
世界初High-k/
ダイヤモンドトランジスタ試作
面内型スピンバルブプロセス開発
ナノグリーン
Nano Green
Developing micro-fabrication processes of lateral spin-valve devices Development of the first High-k/diamond transistor
アレイレーザダイオード
ナノワイヤGeトランジスタ 3
Ge nanowire FETs
新構造トランジスタ
縦型トンネルFET提案
Proposal of a new
architechure for vertical
tunneling FET
相変化デバイス
TRAM実証
原子移動型スイッチ
5
試作・実証
Demonstration of TRAM using
phase-change materials
Fabrication and demonstration of an atom
transfer switch device
DSAプロセス開発
hp15nmパターン形成
EUVマスク欠陥検査装置
hp16nm対応 開発
Nanofabrication of DSA patterns of 15 nm hp
Development of EUV mask inspection system for 16 nm hp
Si光インターポーザ 4
Silicon-photonics interposer
三次元ナノカーボン
配線試作
ナノエレクトロニクス
Nanoelectronics
受光器アレイ
4
スピントロニクス集積回路
100万素子超 試作・実証
光変調器アレイ
1Mb prototype chip fabrication demonstration
using spintronic integrated circuits
5
光導波路アレイ
3D nanocarbon interconnection
超低消費電力無線センサ端末
6
セブンイレブン
2000店舗実証
Ultra low power wireless sensor terminal
圧電MEMSプロセス研究開発
Demonstration of wireless sensor network
in about 2000 7-Eleven convenience stores
R&D of Piezoelectric MEMS process
圧電MEMS量産プロセス確立
Mass production process for piezoelectric MEMS
N-MEMS
MNOIC量産試作システム
N-Micro Electro Mechanical System
大面積連続量産
実証プラント
スーパーグロース法発見
Super-growth method was developed
キャパシター開発PJ
カーボンナノチューブ
Carbon nanotubes (CNT)
Carbon Nanotube Capacitor
Development Project
ナノ材料安全性評価
7
the large-area continuous SWCNT
industrial mass production pilot plant
サンプル供給による
アプリケーション開発
日本ゼオン
製造プラント建設
Construction Manufacturing
Plant by Zeon Corporation
7
Development of new applications by providing SWCNT composite samples
500mm
ナノ材料安全性研究
Nano-Material Safety
Nano-material safety research
SiC半導体研究開発
R&D for SiC devices
高耐圧スイッチング
デバイス試作（3.3ｋV
プレーナMOS構造）
6“ウェハ製造技術
High-voltage switching devices
A manufacturing line for SiC devices
超高耐圧デバイス試作
IGBT16kv/PINダイ
オード13kv
mass-pro manufacturing process SiC devices
Ultra-high voltage devices
パワーエレクロトニクス
8
Manufacturing Technology for 6”” SiC wafers
SiCデバイス専用試作ライン構築
量産レベルの素子作製技術確立
9
富士電機
6”量産工場建設
サンプル供給によるアプリケーション開発
Development of innovative power electronics application
through trial sample devices
SiC device
production-line
with 6” wafers in
the MatsumotoWorks of Fuji
Electric Co., Ltd.
9
SiCデバイス用パッケージ 8
Power Electronics
Basic Research
6
MNOIC 8/12 inch MEMS fabrication line
Original packages for SiC power devices
Applied Research
& Development
Demonstration
Commercialization
つくばイノベーションアリーナ ナノテクノロジー拠点（TIA-nano)
Tsukuba Innovation Arena for Nanotechnology (TIA-nano)
2015/01/28-30
nano tech 2015