Motion Control Products 自動回転ステージ SGSP-YAW ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。 ◦計測・検査・評価装置用の位置決めに適した自動ステージです。 アプリケーション システム ご案内 ▶回転範囲 光学素子 マイナスリミットセンサ：−2.5° 目盛：0° ホルダー 時計CW方向 0° 付近 （−2.5° ） で停止 ベース 反時計 CCW方向∞ ▶自動回転ステージではCWリミットセンサを原点センサとして使用し、 原点復帰 させます。 手動ステージ ▶原点検出は、 ハーフステップ時MINI方式で原点復帰動作を行った時に0度 で停止するよう調整されています。 アクチュエータ 注意 ▶天地逆転や垂直面に取り付けて使用する場合には、注意が必要です。 ▶精度や耐荷重は取り付け方向により、 一部仕様を満たさないことがあります。 自動ステージ 光源 索引 仕様 SGSP-80YAW 品番 価格 〔￥〕 回転範囲 ガイダンス コントローラ/ドライバ 158,000 メカ仕様 移動機構 （減速比） 移動ガイド ステージ材質 ステッピングモータ 質量 〔kg〕 φ120 φ160 φ120 ウォームギア （1:144） ウォームギア （1:144） ウォームギア （1:144） ベアリング方式 クロスローラ クロスローラ クロスローラ アルミ ・アルミニウム青銅 アルミ ・アルミニウム青銅 アルミ ・アルミニウム青銅 アルミ ・アルミニウム青銅 2.0 2.5 5.5 0.005 0.005 0.005 （Half） 〔° /パルス〕 0.0025 0.0025 0.0025 0.0025 30 30 30 30 位置決め精度 〔° 〕 0.15 0.1 0.1 − 繰返し位置決め精度 〔° 〕 0.02 0.02 0.02 0.02 98 （10.0kgf） 196 （20.0kgf） 196 （20.0kgf） 196 （20.0kgf） 0.2 0.1 0.1 − ロストモーション 〔° 〕 0.05 0.05 0.05 − バックラッシ 〔° 〕 0.08 0.08 0.08 0.08 平行度 〔μm〕 50 50 60 − 同心度 〔μm〕 30 30 30 − 0.02 0.02 0.02 − MAXスピード 〔° /sec〕 耐荷重 〔N〕 モーメント剛性 〔″/N･cm〕 面振れ量 〔mm〕 回転系 φ80 ウォームギア （1:144） 1.1 ケーブル センサ品番 直動系 センサ ゴニオ 496,000 0.005 分解能 精度仕様 SGSP-120YAW-W 218,000 （Full） 〔° /パルス〕 ACサーボ ピエゾ SGSP-160YAW 198,000 反時計周りCCW方向は∞、 時計周りCW方向は0度付近 （−2.5° ） で停止 テーブル面サイズ 〔mm〕 ソフトウェア SGSP-120YAW マイクロフォトセンサ：PM-F24 （SUNX㈱） リミットセンサ 有 （NORMAL CLOSE） 有 （NORMAL CLOSE） 有 （NORMAL CLOSE） 有 （NORMAL CLOSE） 原点センサ 無 無 無 無 近接原点センサ 無 無 無 無 真空 オプション □40mm □60mm モータ/センサ仕様 タイプ モータ ステップ角 □80mm 電源電圧 □85mm □100mm モータ品番 センサ □120mm その他 5相ステッピングモータ 0.75A/相 （オリエンタルモーター㈱） PK525HPB-C4 （□28mm） 0.72° DC5～24V±10% 消費電流 15mA以下 制御出力 NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下 出力論理 遮光時：出力トランジスタOFF （非導通） 適応ドライバ/コントローラ 制御系 G076 適応ドライバ 適応コントローラ SG-55M､SG-55MA､SG-514MSC､MC-7514PCL SHOT-702、 GIP-101、 SHOT-302GS、 SHOT-304GS、 HIT-M・HIT-S、 PGC-04 WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] カタログ コード W9028 外形図 SGSP-120YAW 六角穴付ボルト M4×10…3本 （183.5） 32 50 4-M4 深5 4-M3 深5 （17.5） 4-M4 深5 P.C.D.62 70 40 128 ベース 4-M4 深6 P.C.D.100 61 123 35 18 2 （33） 5 17 35 （117） 手動ステージ φ120 2-M6 深5 17 1 3-φ4.5 取付穴 φ8.2ザグリ アクチュエータ 5 （33） ホルダー 4-M4 深6 50 100 80 φ80 SGSP-160YAW ） .05 ＋00.005 ＋ 4（ φ6 61 （68.7） 89 光学素子 40 32 50 70 （98） ＋0.04 φ32 （ ） ＋0.005 50 100 122 （153） アプリケーション システム 六角穴付ボルト M6×10…3本 （137） SGSP-80YAW 3-φ6.5 取付穴 φ11ザグリ SGSP-120YAW-W 六角穴付ボルト M6×10…3本 六角穴付ボルト M6×18…4本 自動ステージ （246） （183.5） （202.5） 50 （183.5） 光源 50 150 170 85 （208） （92.7） 122 8-M4 100 100 4-M4深6 P.C.D.100 （27.5） （83.5） 61 122 M16×1 ソフトウェア φ120 55 101 10 ステッピングモータ 10 28 3-φ6.5 取付穴 φ11ザグリ 56 （99） 43 35 2 18 5 φ160 （33） コントローラ/ドライバ 60 61 123 ■結線図 4-φ6.5 取付穴 コネクタピン番号 ヒロセ電機㈱製 SDAB-15P相当品 1 1 モーターリード 2 2 モーターリード 3 3 モーターリード 4 4 5 5 モーターリード 6 6 GND 7 7 8 8 5相ステッピング モータ E相 9 9 N.C. （未使用） 10 N.C. （未使用） 11 12 12 13 13 14 14 15 15 N.C. （未使用） 機械原点センサ （CWリミットセンサ） GND ピエゾ B相 SUNX㈱製 マイクロフォトセンサ PM-F24 入光時 ON ＋VS 11 ケーブル C相 モーターリード 10 ACサーボ SGSP-120YAW-Wを原点復帰した場合、 下記のような位置になります。 A相 D相 ガイダンス 25 50 25 50 100 （137） 61 4-M4 深6 4-M4 深6 50 索引 25 （68.7） φ64 ＋0.05 （＋ 0.00 5 ） 25 4-M4 深6 （17.5） ） .05 ＋0 .005 ＋0 0（ φ6 5 14 5 11 （156） φ11 取付穴 直動系 機械原点センサ 注1 （CWリミットセンサ） 回転系 ゴニオ 注2 注1 “＋” 方向の移動命令で載物テーブルは上面から見てCCW （反時計） 方向には∞回転 しますが、 CW （時計） 方向は機械原点センサ （CWリミットセンサ） で停止します。 機械原点検出は機械原点センサ （CWリミットセンサ） を使う原点検出する方法 （MINI 方式） で検出してください。 注2 対応ケーブルのコネクタ：第一電子工業㈱製 17JE-13150 ■機械原点検出について Controller SHOT-702 〔2軸〕 GIP-101 〔1軸〕 SHOT-302GS〔2軸〕 SHOT-304GS〔4軸〕 HIT-M・HIT-S 〔8軸〕 PGC-04 〔4軸〕 G100∼G105 MINI方式 機械原点検出命令を出すとステージは､メモリスイッチ にて設定された運転速度 （F） でCW （−） 方向に移動 を開始してCW（−）側リミットセンサにて停止します。 次に運転速度（F） でCCW（＋）方向に1000パルス 移動します。 停止後再度起動速度（S） でCW（−）方向に移動を 開始してCW（−）側リミットセンサにて停止します。 その後､運転速度 （F） でCCW （＋） 方向に1000パルス 移動します。 この位置を機械原点とします。 真空 ■適応コントローラ/ドライバとケーブル 運転速度 （F） CW （−） ステージ 運転速度（F）1000パルス移動 CCW （＋） 起動速度 （S） CW （−） 運転速度（F）1000パルス移動 CCW （＋） CW （−） 側リミットセンサ Driver Cable Stage オプション □40mm □60mm □80mm D15D15A-CA G108 Cable SGSP-80YAW SGSP-120YAW SGSP-160YAW SGSP-120YAW-W □85mm □100mm □120mm その他 各種ドライバ G020∼G021 DAC-SG G108 TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 G077
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